发明创造名称：用于从蚀刻基板有效地移除卤素残余物的设备
外观设计名称：
决定号：184784
决定日：2019-07-24
委内编号：1F278196
优先权日：2008-10-07
申请（专利）号：201610266919.4
申请日：2009-10-02
复审请求人：应用材料公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：郭永菊
合议组组长：伊健
参审员：尹璐旻
国际分类号：H01L21/302，H01L21/3065，H01L21/67
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求与作为最接近现有技术的对比文件的一个实施例相比存在区别技术特征，但是该区别技术特征中的一部分在该对比文件的另一个实施例中公开，另一部分是本领域公知常识，本领域技术人员在该对比文件的两个实施例公开内容的基础上结合本领域公知常识无需付出创造性劳动就可以得到该权利要求请求保护的技术方案，而且没有产生预料不到的技术效果，因此该权利要求不具备突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201610266919.4，名称为“用于从蚀刻基板有效地移除卤素残余物的设备”的发明专利申请（下称本申请）。申请人为应用材料公司。本申请为分案申请，分案提交日为2016年04月26日，本申请的优先权日为2008年10月07日，申请日为2009年10月02日，公开日为2016年08月24日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2018年12月24日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：权利要求1-15相对于对比文件1（US2002/0046704A1，公开日2002年04月24日）的实施例2和实施例1以及公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。具体理由为：权利要求1与对比文件1的实施例2相比的区别技术特征在于：凸面部件具有延伸超过环的顶部的高度的顶面，唇状物的下部具有比上部大的半径，凸面部件的顶面和底面所形成的曲率和厚度可承受腔室中利用的真空度。基于上述区别技术特征确定本发明实际要解决的技术问题是如何进一步优化装置性能。但是该区别技术特征是本领域技术人员在对比文件1的实施例1公开的内容基础上再结合本领域公知常识容易想到的，因此在对比文件1的实施例2的基础上结合其实施例1以及本领域公知常识得到权利要求1的技术方案是显而易见的， 因此权利要求1不具备创造性。同理，权利要求2-15相对于对比文件1的实施例2和实施例1以及本领域公知常识的结合也不具备创造性。
驳回决定所依据的文本为：分案递交日2016年04月26日提交的说明书第1-106段、说明书附图图1-12、说明书摘要和摘要附图，2018年10月17日提交的权利要求第1-15项。
驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种圆顶形窗，包含：
凸面部件，具有外部边缘；及
环，连接到所述凸面部件，所述环和所述凸面部件由不同材料制造，其中，所述凸面部件具有延伸超过所述环的顶部的高度的顶面，并且其中，所述凸面部件的所述顶面和所述凸面部件的底面接合在所述外部边缘上，并且所述凸面部件的所述顶面和所述底面形成曲率并且各自具有厚度，所述曲率和所述厚度经配置以承受在腔室中利用的真空度，所述环包含：
外边缘；
内边缘，与所述外边缘相对，其中，所述环具有连接在所述内边缘和所述外边缘之间的顶部和底部，并且其中，所述环的所述底部经配置以与o形环成密封接触；及
唇状物，向上成角度且从所述内边缘向内径向延伸，所述唇状物以密封方式连接到所述凸面部件的所述外部边缘，其中，所述唇状物包含：
下部，将所述唇状物的底侧连接到所述内边缘；及
上部，将所述唇状物的顶侧连接到所述内边缘，所述下部具有比所述上部的半径大的半径。
2. 根据权利要求1所述的圆顶形窗，其中，所述凸面部件包含透明石英材料。
3. 根据权利要求2所述的圆顶形窗，其中，所述环包含不透明石英材料。
4. 根据权利要求1所述的圆顶形窗，其中，所述外部边缘经熔合密封紧固至所述环的所述唇状物。
5. 根据权利要求4所述的圆顶形窗，其中，所述凸面部件为经火研磨的。
6. 根据权利要求1所述的圆顶形窗，其中，所述接合的凸面部件和环为经过退火的。
7. 一种圆顶形窗，包含：
透明凸面部件，具有外部边缘；及
环，连接到所述凸面部件，所述环和凸面部件由不同材料制造，其中，所述凸面部件具有延伸超过所述环的顶部的高度的顶面，其中，所述凸面部件的所述顶面和所述凸面部件的底面接合在所述外部边缘上，所述凸面部件的所述顶面和所述凸面部件的所述底面形成曲率，以承受在腔室中利用的真空度，所述凸面部件具有厚度，以承受在所述腔室中利用的真空度，并且其中，所述外部边缘经熔合密封紧固至所述环的所述唇状物，所述环包含：
外边缘；
内边缘，与所述外边缘相对；及
唇状物，向上成角度且从所述内边缘向内径向延伸，所述唇状物以密封方式连接到所述凸面部件的所述外部边缘。
8. 根据权利要求7所述的圆顶形窗，其中，所述唇状物包含：
下部，将所述唇状物的底侧连接到所述内边缘；及
上部，将所述唇状物的顶侧连接到所述内边缘，所述下部具有比所述上部的半径大的半径。
9. 根据权利要求7所述的圆顶形窗，其中，所述凸面部件包含石英材料。
10. 根据权利要求9所述的圆顶形窗，其中，所述环包含不透明石英材料。
11. 根据权利要求7所述的圆顶形窗，其中，所述环具有连接在所述内边缘和所述外边缘之间的顶部和底部。
12. 根据权利要求11所述的圆顶形窗，其中，所述环的所述底部经配置以与o形环成密封接触。
13. 根据权利要求7所述的圆顶形窗，其中，所述凸面部件为经火研磨的。
14. 根据权利要求7所述的圆顶形窗，其中，所述接合的凸面部件和环为经过退火的。
15. 一种圆顶形窗，包含：
凸面部件，包含透明石英材料且具有外部边缘；及
石英环，连接到所述凸面部件，所述石英环和所述凸面部件由不同材料制造，其中，所述凸面部件具有延伸超过所述石英环的顶部的高度的顶面，其中，所述凸面部件具有接合在所述外部边缘上的所述顶面和底面，并且其中，所述凸面部件的所述顶面和所述底面形成曲率并且各自具有厚度，所述曲率和所述厚度经配置以承受在负载锁定腔室中利用的真空度，所述石英环包含：
外边缘；
内边缘，与所述外边缘相对；及
唇状物，向上成角度且从所述内边缘向内径向延伸，所述唇状物以密封方式连接到所述凸面部件的所述外部边缘，其中，所述唇状物包含：
下部，将所述唇状物的底侧连接到所述内边缘；及
上部，将所述唇状物的顶侧连接到所述内边缘，所述下部具有比所述上部的半径大的半径。”
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2019年04月02日向国家知识产权局提出了复审请求，陈述了意见并修改了权利要求书，将原从属权利要求4的附加技术特征分别补入到独立权利要求1和15中，并删除权利要求4，修改后的权利要求书包括14项权利要求。复审请求人在意见陈述中认为：（1）本申请修改后的权利要求1与对比文件1之间的区别技术特征“所述外部边缘经熔合密封紧固至所述环的所述唇状物”，没有证据表明其是本领域的常规选择；（2）对比文件1中的盖元件206不能应用于本申请公开的真空腔室，对比文件1明确记载了盖元件206典型地用于环境压力或高于环境压力的热反应器中，因此对比文件1的盖元件206不是如本申请教导的设计用于真空腔室，对比文件1也没有公开盖元件206能够承受如本申请采用的严格的真空条件。
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年04月10日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中认为：（1）对比文件1公开了盖元件206包括中心窗部214和外围法兰部分216，盖元件206典型地用于环境压力或高于环境压力的热反应器中，因此可以确定盖元件的中心窗部和外围法兰部分彼此密封连接，以保证可靠地应用于高压环境中。另外，采用熔合的方式对两机械构件进行连接属于常规设置；（2）本申请的窗结构与对比文件1的窗结构基本相同，虽然对比文件1没有公开热反应器100是用于在真空条件下进行热处理，但这些都是本领域处理晶片时可根据需要而采取的常规选择，在选择真空处理时，本领域技术人员在对比文件1公开的内容基础上，根据需要选择窗部的曲率以使其能够承受真空度是容易想到的。此外，对比文件1没有对中心窗部斜率进行限定，因此申请人认为的“对比文件1的圆顶形窗具有更小的斜率”的意见不成立。因此坚持驳回。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年05月15日向复审请求人发出复审通知书，指出权利要求1-14相对于对比文件1的实施例2和实施例1以及本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。对于复审请求人的意见，合议组认为：首先，众所周知，在晶片的处理过程中，通常情况下其工作环境都是需要密封的，不论将盖元件用于热反应器中还是负载锁定腔室中，都需要密封紧固，以保证晶片处理过程中不受外部环境的干扰，这是本领域的公知常识。而本申请的环602和凸面部件604均由石英材料制造，对比文件1的中心窗部分和法兰部分也由石英材料制成，也就是说，本申请与对比文件1使用的材料基本相同。由石英材料制成的两个部件的密封紧固结合方式最常见的就是熔合，这是由石英材料本身的性质决定的，这种熔合方式是本领域非常公知的技术常识。因此，本领域技术人员在对比文件1的基础上并结合公知常识，为了将石英材料制成的凸面部件和环密封紧固在一起，很容易想到熔合密封方式，这是显而易见的。另外，对比文件1已经记载了：晶片处理过程中，由于穿过盖元件的压力差或者由于中心窗部分的加热而产生的热膨胀而在盖元件中产生应力，这些应力使得盖元件的法兰部分局部化；另外，法兰部分用于抑制因穿过盖元件的压力差或者由于中心窗部分114的加热而产生的热膨胀而导致圆形盖元件106向外膨胀，由此可以确定，对比文件1的盖元件的法兰部分和中心窗部分的设计必须使其能够承受因内外压力差等，从而避免盖部件变形等问题，这一点跟本申请将其用于真空腔室中而必须被设计成能够承受真空度是一样的。因此本领域技术人员在对比文件1公开内容基础上，很容易想到将对比文件1的盖元件用于真空腔室中，这无需付出创造性劳动，而且也没有产生预料不到的技术效果。因此复审请求人的陈述意见不具说服力。
复审请求人于2019年06月28日提交了意见陈述书并修改了权利要求书，将原从属权利要求4和12的附加技术特征补入到独立权利要求1、6和14中，并删除从属权利要求4和12，修改后的权利要求书共包括12项权利要求。修改后的独立权利要求1、5和12如下：
“1. 一种圆顶形窗，包含：
凸面部件，具有外部边缘；及
环，连接到所述凸面部件，所述环和所述凸面部件由不同材料制造，其中，所述凸面部件具有延伸超过所述环的顶部的高度的顶面，并且其中，所述凸面部件的所述顶面和所述凸面部件的底面接合在所述外部边缘上，并且所述凸面部件的所述顶面和所述底面形成曲率并且各自具有厚度，所述曲率和所述厚度经配置以承受在腔室中利用的真空度，所述环包含：
外边缘；
内边缘，与所述外边缘相对，其中，所述环具有连接在所述内边缘和所述外边缘之间的顶部和底部，并且其中，所述环的所述底部经配置以与o形环成密封接触；及
唇状物，向上成角度且从所述内边缘向内径向延伸，所述唇状物以密封方式连接到所述凸面部件的所述外部边缘，其中，所述唇状物包含：
下部，将所述唇状物的底侧连接到所述内边缘；及
上部，将所述唇状物的顶侧连接到所述内边缘，所述下部具有比所述上部的半径大的半径，
其中，所述外部边缘经熔合密封紧固至所述环的所述唇状物，并且
其中，所述凸面部件为经火研磨的。
5. 一种圆顶形窗，包含：
透明凸面部件，具有外部边缘；及
环，连接到所述凸面部件，所述环和凸面部件由不同材料制造，其中，所述凸面部件具有延伸超过所述环的顶部的高度的顶面，其中，所述凸面部件的所述顶面和所述凸面部件的底面接合在所述外部边缘上，所述凸面部件的所述顶面和所述凸面部件的所述底面形成曲率，以承受在腔室中利用的真空度，所述凸面部件具有厚度，以承受在所述腔室中利用的真空度，并且其中，所述外部边缘经熔合密封紧固至所述环的所述唇状物，所述环包含：
外边缘；
内边缘，与所述外边缘相对；及
唇状物，向上成角度且从所述内边缘向内径向延伸，所述唇状物以密封方式连接到所述凸面部件的所述外部边缘，
其中，所述凸面部件为经火研磨的。
12. 一种圆顶形窗，包含：
凸面部件，包含透明石英材料且具有外部边缘；及
石英环，连接到所述凸面部件，所述石英环和所述凸面部件由不同材料制造，其中，所述凸面部件具有延伸超过所述石英环的顶部的高度的顶面，其中，所述凸面部件具有接合在所述外部边缘上的所述顶面和底面，并且其中，所述凸面部件的所述顶面和所述底面形成曲率并且各自具有厚度，所述曲率和所述厚度经配置以承受在负载锁定腔室中利用的真空度，所述石英环包含：
外边缘；
内边缘，与所述外边缘相对；及
唇状物，向上成角度且从所述内边缘向内径向延伸，所述唇状物以密封方式连接到所述凸面部件的所述外部边缘，其中，所述唇状物包含：
下部，将所述唇状物的底侧连接到所述内边缘；及
上部，将所述唇状物的顶侧连接到所述内边缘，所述下部具有比所述上部的半径大的半径，
其中，所述外部边缘经熔合密封紧固至所述石英环的所述唇状物，并且
其中，所述凸面部件为经火研磨的。”
复审请求人在意见陈述书中指出：（1）修改后的权利要求1中包括技术特征“所述凸面部件为经耐火研磨的”，该技术特征在对比文件1中没有公开，而且合议组也没有提供诸如教科书或工具书之类任何的确凿证据证明其属于本领域的公知常识。（2）参照对比文件1的图2A和2B，法兰部分216的上部270的半径不延伸到法兰部分216的顶部，上部270（对应本申请的下部612b）不具有第二半径，因为上部270具有直线部分，所述直线部分不具备半径。因此对比文件1的上部270的曲率是截断的。然而本申请的图6明确公开了内边缘612的下部612b延伸至环602的底部608。其中下部612b的半径比上部612a的半径大。（3）根据对比文件1的构造，具有凸的外表面的中心窗部分114也具有法兰部分116，其中下部分的半径小于上部分的半径，以将法兰部分116分为两个相等的部分，但是这种构成不能任意地改变为本申请的圆顶形窗的结构，因为本申请的凸面部件、环、唇状物、外边缘、内边缘、圆顶形窗的下部分和上部分的特定构造不能满足对比文件1限定的“上法兰部分和下法兰部分具有相同质量和/或截面积”的要求，没有证据支持将对比文件1的第一实施例和第二实施例结合在一起仍然可以满足上述要求，并实现对比文件1所述的效果，即解决应力问题。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
审查文本的认定
复审请求人在2019年06月28日答复复审通知书时提交的权利要求书符合专利法第33条和专利法实施细则第61条第1款的规定。本复审决定所依据的文本是：复审请求人于2019年06月28日提交的权利要求第1-12项，分案申请递交日2016年04月26日提交的说明书第1-106段、说明书附图图1-12、说明书摘要和摘要附图。
具体审查意见的阐述
专利法第22条第3款的规定：“创造性，是指同申请日以前已有的技术相比，该发明有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型有实质性特点和进步。”
如果一项权利要求与作为最接近现有技术的对比文件的一个实施例相比存在区别技术特征，但是该区别技术特征中的一部分在该对比文件的另一个实施例中公开，另一部分是本领域公知常识，本领域技术人员在该对比文件的两个实施例公开内容的基础上结合本领域公知常识无需付出创造性劳动就可以得到该权利要求请求保护的技术方案，而且没有产生预料不到的技术效果，因此该权利要求不具备突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性。
本复审决定引用驳回决定和复审通知书中引用的如下对比文件，即：
对比文件1：US2002/0046704A1，公开日为2002年04月25日。
权利要求1-12不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
1、独立权利要求1请求保护一种圆顶形窗，对比文件1（US2002/0046704A1）公开了一种热反应器的盖元件206，并具体公开了如下的技术内容（参见说明书第11-14段，第19-20段，图2A-2B）：图2A-2B所示实施例2公开的盖元件206（相当于本申请的圆顶形窗）包含：
呈凹形的中心窗部214（相当于凸面部件），具有外部边缘；法兰部分216（相当于环），连接到中心窗部214；法兰部分可由不透明石英制成，中心窗部可由透明熔融二氧化硅石英制成，即，法兰部分和中心窗部可由不同材料制造；呈凹形的中心窗部214具有顶面，中心窗部214的顶面和底面接合在所述外部边缘上，中心窗部214的顶面和底面形成曲率并且各自具有厚度；
法兰部分216包含：外边缘；内边缘，其与所述外边缘相对；其中，法兰部分216具有连接在内边缘和外边缘之间的顶部和底部，盖元件由位于夹紧环和法兰部分之间的夹紧密封o形环126支撑，所以，法兰部分216的底部经配置以与基座密封环124（相当于o形环）成密封接触；唇状物，其向上成角度且从内边缘向内径向延伸，所述唇状物以密封方式连接到中心窗部214的外部边缘，其中，唇状物包含：下部，将唇状物的底侧连接到内边缘；上部，将唇状物的顶侧连接到内边缘。另外，从对比文件1的图2A明显看出，唇状物的下部具有比上部大的半径（图2A所示结构与本申请图6所示结构基本相同）。
权利要求1所要求保护的技术方案与对比文件1的实施例2所公开的技术方案相比存在的区别技术特征为：（1）凸面部件具有延伸超过环的顶部的高度的顶面；（2）凸面部件的顶面和底面所形成的曲率和厚度经配置以承受在腔室中利用的真空度；（3）所述外部边缘经熔合密封紧固至所述环的所述唇状物；（4）所述凸面部件为经火研磨的。基于上述区别技术特征可以确定本发明实际所要解决的技术问题是：如何进一步优化装置结构以便于用于真空腔室中。
对于区别技术特征（1），对比文件1的实施例1公开了一种热反应器盖元件106，并具体公开了如下的技术内容（参见说明书第11-18段，图1A-1B）：中心窗部114（相当于凸面部件）具有延伸超过法兰部分116（相当于环）的顶部的高度的顶面，即对比文件1的实施例1公开了区别技术特征（1），且上述区别技术特征在对比文件1的实施例1中可起到与其在本申请中相同的作用，即使其可承受内外压力差，从而优化装置结构。
对于区别技术特征（2），对比文件1已经记载了盖元件206用于环境压力或高于环境压力的的反应器中（参见说明书第19段），在说明书第3段还记载了：“晶片处理过程中，由于穿过盖元件的压力差或者由于中心窗部分的加热而产生的热膨胀而在盖元件中产生应力，这些应力使得盖元件的法兰部分局部化”，而另外17段还记载了：“法兰部分用于抑制因穿过盖元件的压力差或者由于中心窗部分114的加热而产生的热膨胀而导致圆形盖元件106向外膨胀”，通过上述内容可以确定，对比文件1要解决的问题是通过设计盖元件来解决盖元件因内外部的压力差或热膨胀导致的问题。也就是说，在盖元件用于高于环境压力的情况下，由于存在内外压力差，因此其设计即盖元件的曲率和厚度必须配置成使其能够承受这种压力差，这一点与本申请要解决的问题相同，因为本申请在将其用于真空腔室时，所面临的问题也是圆顶形窗的内外存在压力差的问题。因此本领域技术人员在对比文件1公开内容基础上，很容易想到将对比文件1的盖元件用于真空腔室中，这是显而易见的，技术效果也是可以预期的，无需付出创造性劳动。
对于区别技术特征（3），由于在晶片的处理过程中，通常情况下其工作环境都必须是密封的，不论将盖元件用于热反应器中还是真空腔室中，其都需要密封紧固，以保证晶片处理过程中不受外部环境的干扰，这是本领域的众所周知的技术常识。此外，本申请说明书第87段记载了环602和凸面部件604可由透明石英制造，另外，环602的周边部分也可由磨砂白石英或者其他适合的不透明材料制造；而对比文件1的说明书第12段也已经披露了法兰部分由不透明石英构成，中心窗部分由透明熔融二氧化硅石英构成；由此可见，本申请与对比文件1使用的材料基本相同，即均为石英材料，而众所周知，由石英材料制成的两个部件的密封紧固结合方式最常见的就是熔合，这是由石英材料本身的性质决定的，这种熔合方式是本领域的公知常识。因此，本领域技术人员在对比文件1的基础上并结合公知常识，为了将石英材料制成的凸面部件和环密封紧固在一起，很容易想到熔合密封方式，这是显而易见的。
对于区别技术特征（4），在本领域中，在使用石英材料作为凸面部件时，为了提高石英部件的耐应力性能，同时使凸面部件能够承受腔室内外的压力差，在制造过程中对凸面部件进行经火研磨是本领域的惯用手段，这是由石英材料的固有性能决定的，是本领域众所周知的技术常识，属于本领域公知常识。
由此可见，在对比文件1的实施例2的基础上结合其实施例1以及本领域公知常识以得到该权利要求所要求保护的技术方案，对于本领域技术人员来说是显而易见的，而且也没有产生预料不到的技术效果。因此，该权利要求所要求保护的技术方案不具备突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性。
2、从属权利要求2和3的附加技术特征也已经被对比文件1公开（参见说明书第12段），而从属权利要求4的附加技术特征“接合的凸面部件和环为经过退火的”是本领域的公知常识，因此在其引用的权利要求不具备创造性的情况下，权利要求2-4也不具备创造性。
3、独立权利要求5请求保护一种圆顶形窗，对比文件1（US2002/0046704A1）公开了一种热反应器的盖元件206，并且具体公开了如下的技术内容（参见说明书第11-14段，第19-20段，图2A-2B）：图2A-2B所示实施例2公开的盖元件206（相当于本申请的圆顶形窗）包含：
呈凹形的中心窗部214（相当于凸面部件），具有外部边缘；法兰部分216（相当于环），连接到中心窗部214；法兰部分可由不透明石英制成，中心窗部可由透明熔融二氧化硅石英制成，即，法兰部分和中心窗部可由不同材料制造；呈凹形的中心窗部214具有顶面，中心窗部214的顶面和底面接合在所述外部边缘上，中心窗部214的顶面和底面形成曲率并且各自具有厚度；
法兰部分216包含：外边缘；内边缘，其与所述外边缘相对；唇状物，其向上成角度且从内边缘向内径向延伸，所述唇状物以密封方式连接到中心窗部214的外部边缘。另外，法兰部分216具有连接在内边缘和外边缘之间的顶部和底部，盖元件由位于夹紧环和法兰部分之间的夹紧密封o形环126支撑，所以，法兰部分216的底部经配置以与基座密封环124（相当于o形环）成密封接触。
权利要求5所要求保护的技术方案与对比文件1的实施例2所公开的技术方案相比存在的区别技术特征为：（1）凸面部件具有延伸超过环的顶部的高度的顶面；（2）凸面部件的顶面和底面所形成的曲率和厚度能承受在腔室中利用的真空度；（3）所述外部边缘经熔合密封紧固至所述环的所述唇状物；（4）所述凸面部件为经火研磨的。基于上述区别技术特征，本发明实际所要解决的技术问题是：如何进一步优化装置结构以便于用于真空腔室中。
对于区别技术特征（1），对比文件1的实施例1公开了一种热反应器盖元件106，并具体公开了如下的技术内容（参见说明书第11-18段，图1A-1B）：中心窗部114（相当于凸面部件）具有延伸超过法兰部分116（相当于环）的顶部的高度的顶面，即对比文件1的实施例1公开了区别技术特征（1），且上述区别技术特征在对比文件1的实施例1中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同，都是为了优化装置结构以使其可承受内外压力差。
对于区别技术特征（2），对比文件1已经记载了盖元件206用于环境压力或高于环境压力的的反应器中（参见说明书第19段），在说明书第3段还记载了：“晶片处理过程中，由于穿过盖元件的压力差或者由于中心窗部分的加热而产生的热膨胀而在盖元件中产生应力，这些应力使得盖元件的法兰部分局部化”，而另外17段还记载了：“法兰部分用于抑制因穿过盖元件的压力差或者由于中心窗部分114的加热而产生的热膨胀而导致圆形盖元件106向外膨胀”，通过上述内容可以确定，对比文件1要解决的问题是通过设计盖元件来解决盖元件因内外部的压力差或热膨胀导致的问题。也就是说，在盖元件用于高于环境压力的情况下，由于存在内外压力差，因此其设计即盖元件的曲率和厚度必须配置成使其能够承受这种压力差，这一点与本申请要解决的问题相同，因为本申请在将其用于真空腔室时，所面临的问题也是圆顶形窗的内外存在压力差的问题。因此本领域技术人员在对比文件1公开内容基础上，很容易想到将对比文件1的盖元件用于真空腔室中，这是显而易见的，技术效果也是可以预期的，无需付出创造性劳动。
对于区别技术特征（3），由于在晶片的处理过程中，通常情况下其工作环境都是需要密封的，不论将盖元件用于热反应器中还是真空腔室中，其都需要密封紧固，以保证晶片处理过程中不受外部环境的干扰，这是本领域的众所周知的技术常识。此外，本申请说明书第87段记载了环602和凸面部件604可由透明石英制造，另外，环602的周边部分也可由磨砂白石英或者其他适合的不透明材料制造；而对比文件1的说明书第12段也已经披露了法兰部分由不透明石英构成，中心窗部分由透明熔融二氧化硅石英构成；由此可见，本申请与对比文件1使用的材料基本相同，即均为石英材料，而众所周知，由石英材料制成的两个部件的密封紧固结合方式最常见的就是熔合，这是由石英材料本身的性质决定的，这种熔合方式是本领域的公知常识。因此，本领域技术人员在对比文件1的基础上并结合公知常识，为了将石英材料制成的凸面部件和环密封紧固在一起，很容易想到熔合密封方式，这是显而易见的。
对于区别技术特征（4），在本领域中，在使用石英材料作为凸面部件时，为了提高石英部件的耐应力性能，同时使凸面部件能够承受腔室内外的压力差，在制造过程中对凸面部件进行经火研磨是本领域的惯用手段，这是由石英材料的固有性能决定的，是本领域众所周知的技术常识，属于本领域公知常识。
由此可见，在对比文件1的实施例2的基础上结合其实施例1以及本领域公知常识以得到该权利要求所要求保护的技术方案，对于本领域技术人员来说是显而易见的，而且也没有产生预料不到的技术效果。因此，该权利要求所要求保护的技术方案不具备突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性。
4、从属权利要求6-10的附加技术特征也已经被对比文件1公开了（参见说明书第12-14段，图2A-2B），而从属权利要求11的附加技术特征“所述接合的凸面部件和环为经过退火的”是本领域公知常识，因此在其引用的权利要求不具备创造性的情况下，权利要求6-11也不具备创造性。
5、独立权利要求12请求保护一种圆顶形窗，对比文件1（US2002/0046704A1）公开了一种热反应器的盖元件206，并且具体公开了如下的技术内容（参见说明书第11-14段，第19-20段，图2A-2B）：图2A-2B所示实施例2公开的盖元件206（相当于本申请的圆顶形窗）包含：
呈凹形的中心窗部214（相当于凸面部件），具有外部边缘；法兰部分216（相当于环），由不透明石英材料制定并连接到中心窗部214；中心窗部可由透明熔融二氧化硅石英制成，即，法兰部分和中心窗部可由不同材料制造；呈凹形的中心窗部214具有顶面，中心窗部214的顶面和底面接合在所述外部边缘上，中心窗部214的顶面和底面形成曲率并且各自具有厚度；
法兰部分216包含：外边缘；内边缘，其与所述外边缘相对；唇状物，其向上成角度且从内边缘向内径向延伸，所述唇状物以密封方式连接到中心窗部214的外部边缘，其中，唇状物包含：下部，将唇状物的底侧连接到内边缘；上部，将唇状物的顶侧连接到内边缘。另外，从对比文件1的图2A明显看出，唇状物的下部具有比上部大的半径（图2A所示结构与本申请图6所示结构相同）。
权利要求12所要求保护的技术方案与对比文件1的实施例2所公开的技术方案相比存在的区别技术特征为：（1）凸面部件具有延伸超过环的顶部的高度的顶面；（2）凸面部件的顶面和底面所形成的曲率和厚度经配置以承受在负载锁定腔室中利用的真空度；（3）所述外部边缘经熔合密封紧固至所述环的所述唇状物；（4）所述凸面部件为经火研磨的。基于上述区别技术特征，本发明实际所要解决的技术问题是：如何进一步优化装置结构以便于用于真空的负载锁定腔室中。
对于区别技术特征（1），对比文件1的实施例1公开了一种热反应器盖元件106，并具体公开了如下的技术内容（参见说明书第11-18段，图1A-1B）：中心窗部114（相当于凸面部件）具有延伸超过法兰部分116（相当于环）的顶部的高度的顶面，即对比文件1的实施例1公开了区别技术特征（1），且上述区别技术特征在对比文件1的实施例1中所起的作用与其在本申请中所起的作用相同，都是为了优化装置结构以使其可承受内外压力差。
对于区别技术特征（2），对比文件1已经记载了盖元件206用于环境压力或高于环境压力的的反应器中（参见说明书第19段），在说明书第3段还记载了：“晶片处理过程中，由于穿过盖元件的压力差或者由于中心窗部分的加热而产生的热膨胀而在盖元件中产生应力，这些应力使得盖元件的法兰部分局部化”，而另外17段还记载了：“法兰部分用于抑制因穿过盖元件的压力差或者由于中心窗部分114的加热而产生的热膨胀而导致圆形盖元件106向外膨胀”，通过上述内容可以确定，对比文件1要解决的问题是通过设计盖元件来解决盖元件因内外部的压力差或热膨胀导致的问题。也就是说，在盖元件用于高于环境压力的情况下，由于存在内外压力差，因此其设计即盖元件的曲率和厚度必须配置成使其能够承受这种压力差，这一点与本申请要面临的问题相同，因为本申请在将其用于真空的负载锁定腔室时，所面临的问题也是圆顶形窗的内外存在压力差的问题。因此本领域技术人员在对比文件1公开内容基础上，很容易想到将对比文件1的盖元件用于具有真空度的负载锁定腔室中，这是显而易见的，技术效果也是可以预期的，无需付出创造性劳动。
对于区别技术特征（3），由于在晶片的处理过程中，通常情况下其工作环境都是需要密封的，不论将盖元件用于热反应器中还是负载锁定腔室中，其都需要密封紧固，以保证晶片处理过程中不受外部环境的干扰，这是本领域的众所周知的技术常识。此外，本申请说明书第87段记载了环602和凸面部件604可由透明石英制造，另外，环602的周边部分也可由磨砂白石英或者其他适合的不透明材料制造；而对比文件1的说明书第12段也已经披露了法兰部分由不透明石英构成，中心窗部分由透明熔融二氧化硅石英构成；由此可见，本申请与对比文件1使用的材料基本相同，即均为石英材料，而众所周知，由石英材料制成的两个部件的密封紧固结合方式最常见的就是熔合，这是由石英材料本身的性质决定的，这种熔合方式是本领域的公知常识。因此，本领域技术人员在对比文件1的基础上并结合公知常识，为了将石英材料制成的凸面部件和环密封紧固在一起，很容易想到熔合密封方式，这是显而易见的。
对于区别技术特征（4），在本领域中，在使用石英材料作为凸面部件时，为了提高石英部件的耐应力性能，同时使凸面部件能够承受腔室内外的压力差，在制造过程中对凸面部件进行经火研磨是本领域的惯用手段，这是由石英材料的固有性能决定的，是本领域众所周知的技术常识，属于本领域公知常识。
由此可见，在对比文件1的实施例2的基础上结合其实施例1以及本领域公知常识以得到该权利要求所要求保护的技术方案，对于本领域技术人员来说是显而易见的，而且也没有产生预料不到的技术效果。因此，该权利要求所要求保护的技术方案不具备突出的实质性特点和显著的进步，因而不具备创造性。
三、 针对复审请求人的意见陈述
针对复审请求人于2019年06月28日提交的意见陈述，合议组认为：
（1）在本领域中，在使用石英材料作为晶片处理的真空腔室的部件时，为了提高石英部件的耐应力性能和使其可承受环境内外的压力差，常用的技术手段就是在制造过程中对其进行经火研磨，这是由石英材料的固有性能决定的，是本领域众所周知的技术常识，属于本领域公知常识。
（2）虽然对比文件1的图2A和2B中示出了法兰部分216的上部270的半径不延伸到法兰部分216的顶部，上部270具有直线部分。但是，从上部270的整体结构上看，其依然属于一个近似弧形结构，这个弧形结构的平均半径明显大于下部272的半径。此外，虽然本申请图6中示出了内边缘612的下部612b延伸至环602的底部608，但是这一点并未明确限定在权利要求书中。
（3）对比文件1中给出了两种结构即实施例1和实施例2的结构，并通过满足“上法兰部分和下法兰部分具有相同质量和/或截面积”来解决其应力问题，然而这两个实施例只是示例性的，其发明构思并非仅限定在这两个实施例的特定结构，这一点可从对比文件1的权利要求1请求保护的范围明显看出。因此，本领域技术人员在面临本申请要解决的技术问题即如何进一步优化装置结构以使其可以承受环境内外的压力差时，在对比文件1给出的两个实施例的基础上，通过简单变形并结合本领域公知常识，无需付出创造性劳动就可以得到本申请请求保护的技术方案，并且可以达到相同技术效果，即通过将实施例2的中心窗部分214的凸面部分延伸超过环的顶部的高度（即制成实施例1的构造），同时相应调整上部270和下部272的内侧弧形部分的半径，同样可实现两者的截面积和/或质量相同，同时也可满足上部270的半径大于下部272的半径（只是缩小两者的差值而已），即，本领域技术人员在对比文件1的两个实施例的基础上通过以上的简单变形，即可实现“上法兰部分和下法兰部分具有相同质量和/或截面积”，同时即可得到本申请的结构并解决本申请要解决的技术问题，这是很容易想到和做到的，是显而易见的。因此复审请求人的意见陈述不具有说服力。
基于上述理由，合议组依法作出如下决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年12月24日对201610266919.4号发明专利申请做出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服，根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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