发明创造名称：用于实时地监测穿过质量流量控制器的流量的系统和方法
外观设计名称：
决定号：186566
决定日：2019-08-09
委内编号：1F255621
优先权日：2012-01-20
申请（专利）号：201380005938.6
申请日：2013-01-09
复审请求人：MKS 仪器公司
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：李涵
合议组组长：舒畅
参审员：付强
国际分类号：G01F25/00,G05D7/06
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求与最接近的对比文件之间存在区别技术特征，但该区别技术特征或是本领域技术人员的常用技术手段或是本领域技术人员容易想到的，那么该项权利要求相对于该对比文件和本领域技术人员的常用技术手段的结合不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201380005938.6，名称为“用于实时地监测穿过质量流量控制器的流量的系统和方法”的发明专利PCT申请（下称本申请）。本申请的申请日为2013年01月09日，优先权日为2012年01月20日，进入中国国家阶段日为2014年07月18日，公开日为2014年10月22日。申请人为MKS 仪器公司。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2018年03月26日发出驳回决定，驳回了本申请，其理由是：权利要求1-15不符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。驳回决定引用如下2篇对比文件：
对比文件1：DE 102009046758 A1， 公开日期为2011年05月19日；
对比文件3：JPH 03211601 A， 公开日期为1991年09月17日。
驳回决定所依据的文本为2014年07月18日进入中国国家阶段时提交的原始国际申请文件的中文译文的说明书第1-31段、说明书附图图1-3、说明书摘要、摘要附图；2017年11月20日提交的权利要求第1-15项。驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种用于控制半导体制造过程期间气体流量的质量流量控制器(MFC)，所述质量流量控制器包括：
包括导管的块，所述导管限定主要流动流经，所述块具有输入端和输出端；
第一流量计，其沿着所述主要流动路径设置，并且用于在过程的运行期间实时测量穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率，并且产生代表穿过所述质量流量控制器的测量流率的第一流量测量信号；
第二流量计，其沿着所述主要流动路径设置，并且用于在过程的运行期间实时测量穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率，并且产生代表穿过所述质量流量控制器的测量流率的第二流量测量信号，其中，所述第一流量计和所述第二流量计同时测量所述质量的流率；
其中，所述第一流量计和所述第二流量计具有不同的类型；
其中，控制阀沿着所述主要流动路径设置，并且用于响应于控制信号来控制穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率；以及
系统控制器，其用于接收分别由所述第一流量计和所述第二流量计产生的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号，基于所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号中的一个产生所述控制信号，其中，所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号中的另一个用于实时验证所述质量流量控制器的准确度，并且其中，所述系统控制器用于提供表示所述第一流量测量信号与所述第二流量测量信号之间的差异何时超过预定阈值的警报信号；其中，所述系统控制器包括：
(i)流量控制单元，其用于接收由所述第一流量计和所述第二流量计产生的两个信号并将这些信号中的一个信号用作所述控制阀的所述控制信号；
(ii)比较器，其用于接收分别由所述第一流量计和所述第二流量计产生的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号，并且产生代表分别从所述第一流量计和所述第二流量计接收的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号之间的差异的差异信号作为输出；
(iii)阈值检测器，其用于将所述差异信号与预定阈值进行比较，并且在所述差异信号超过所述预定阈值时产生所述警报信号。
2. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述流量计中的至少一个是差压流量计。
3. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述流量计中的至少一个是热质量流量计。
4. 根据权利要求3所述的质量流量控制器，其中所述流量计中的另一个是差压流量计。
5. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述流量计中的至少一个是科里奥利流量计。
6. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述流量计中的至少一个是磁性流量计。
7. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述流量计中的至少一个是超声流量计。
8. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述控制信号根据由热质量流量计所测量的流率而产生。
9. 根据权利要求8所述的质量流量控制器，其中另一流量计是差压流量计。
10. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述控制信号根据由差压流量计所测量的流率而产生。
11. 根据权利要求10所述的质量流量控制器，其中另一流量计是热质 量流量计。
12. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述阈值是用户设置的。
13. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述阈值是工厂设置的。
14. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中根据针对过程的质量流量中的可允许容限来设置所述阈值，所述控制器用于利用所述过程来输送气体。
15. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述第一流量计位于所述控制阀的上游。”
驳回决定认为：权利要求1与对比文件3的区别仅在于：第一流量计和第二流量计具有不同的类型。而为了提高准确性，第一流量计和第二流量计具有不同类型是本领域的常规选择，因此在对比文件3的基础上结合本领域的惯用技术手段得到该权利要求1的技术方案对于本领域技术人员而言是显而易见的，权利要求1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。从属权利要求2-15的附加技术特征或被对比文件3公开，或被对比文件1公开，或是本领域的常规选择，因此也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
申请人MKS仪器公司（下称复审请求人）对上述驳回决定不服,于2018年07月10日向国家知识产权局提出了复审请求，同时修改了权利要求书，其中主要在权利要求1中补入技术特征“其中，所述第一流量计沿着所述控制阀的上游的流动路径设置”，删除了从属权利要求15。复审请求时新修改的权利要求1如下：
“1. 一种用于控制半导体制造过程期间气体流量的质量流量控制器(MFC)，所述质量流量控制器包括：
包括导管的块，所述导管限定主要流动流经，所述块具有输入端和输出端；
第一流量计，其沿着所述主要流动路径设置，并且用于在过程的运行期间实时测量穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率，并且产生代表穿过所述质量流量控制器的测量流率的第一流量测量信号；
第二流量计，其沿着所述主要流动路径设置，并且用于在过程的运行期间实时测量穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率，并且产生代表穿过所述质量流量控制器的测量流率的第二流量测量信号，其中，所述第一流量计和所述第二流量计同时测量所述质量的流率；
控制阀，所述控制阀沿着所述主要流动路径设置，并且用于响应于控制信号来控制穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率；以及
系统控制器，其用于接收分别由所述第一流量计和所述第二流量计产生的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号，基于所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号中的一个产生所述控制信号，其中，所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号中的另一个用于实时验证所述质量流量控制器的准确度，并且其中，所述系统控制器用于提供表示所述第一流量测量信号与所述第二流量测量信号之间的差异何时超过预定阈值的警报信号；
其中，所述第一流量计和所述第二流量计具有不同的类型；
其中，所述第一流量计沿着所述控制阀的上游的流动路径设置；并且
其中，所述系统控制器包括：
(i)流量控制单元，其用于接收由所述第一流量计和所述第二流量计产生的两个信号并将这些信号中的一个信号用作所述控制阀的所述控制信号；
(ii)比较器，其用于接收分别由所述第一流量计和所述第二流量计产生的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号，并且产生代表分别 从所述第一流量计和所述第二流量计接收的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号之间的差异的差异信号作为输出；
(iii)阈值检测器，其用于将所述差异信号与预定阈值进行比较，并且在所述差异信号超过所述预定阈值时产生所述警报信号。”
复审请求人认为：根据对比文件1公开的内容，本领域技术人员无需添加其他的流量测量装置至对比文件1的系统的控制装置的上游，对比文件1不关注并且不解决输入端的上游的任何事情，对比文件1对上游测量的忽视使得本领域技术人员不容易想到将对比文件1、3结合；另外，对比文件1也没有公开或教导对于对比文件1的装置来说可以同时使用不同类型的流量测量装置，并且对比文件3中，流量测量装置被示出和描述为对于每个实施例分别是相同的，即对比文件1、3均教导了在相应的装置中使用相同类型的流量测量装置。因此，本申请权利要求1-14具备创造性。
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年07月19日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中仍坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2019年02月02日向复审请求人发出复审通知书，指出：权利要求1请求保护的技术方案与对比文件3的区别仅在于：权利要求1中的第一流量计和第二流量计具有不同的类型，而对比文件3中都为热式流量计。而为了防止相同类型流量计产生相同故障，两个流量传感器显然可采用不同类型的流量传感器，以提高测试的可靠性和准确性，这是本领域技术人员在验证或标定某个流量传感器上的常用技术手段，因此在对比文件3的基础上结合本领域技术人员的常用技术手段得到权利要求1请求保护的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，权利要求1不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备专利法第22条第3款规定的创造性。从属权利要求2-14的附加技术特征或被对比文件3公开或是本领域技术人员的常用技术手段或是本领域技术人员容易想到的，因此也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
复审请求人于2019年05月17日提交了意见陈述书，并提交了权利要求书的全文修改替换页，将权利要求1的技术特征“其中，所述第一流量计和所述第二流量计具有不同的类型；其中，所述第一流量计沿着所述控制阀的上游的流动路径设置”修改为“其中，所述第一流量计是热质量流量计并且所述第二流量计是包括温度传感器的差压流量计；其中，所述第一流量计沿着所述控制阀的上游的流动路径设置并且所述第二流量计沿着所述控制阀的下游的流动路径设置”，并删除了从属权利要求2-7、9、11，并调整了其他权利要求的序号。修改后的权利要求书如下：
“1. 一种用于控制半导体制造过程期间气体流量的质量流量控制器(MFC)，所述质量流量控制器包括：
包括导管的块，所述导管限定主要流动流经，所述块具有输入端和输出端；
第一流量计，其沿着所述主要流动路径设置，并且用于在过程的运行期间实时测量穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率，并且产生代表穿过所述质量流量控制器的测量流率的第一流量测量信号；
第二流量计，其沿着所述主要流动路径设置，并且用于在过程的运行期间实时测量穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率，并且产生代表穿过所述质量流量控制器的测量流率的第二流量测量信号，其中，所述第一流量计和所述第二流量计同时测量所述质量的流率；
控制阀，所述控制阀沿着所述主要流动路径设置，并且用于响应于控制信号来控制穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率；以及
系统控制器，其用于接收分别由所述第一流量计和所述第二流量计产生的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号，基于所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号中的一个产生所述控制信号，其中，所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号中的另一个用于实时验证所述质量流量控制器的准确度，并且其中，所述系统控制器用于提供表示所述第一流量测量信号与所述第二流量测量信号之间的差异何时超过预定阈值的警报信号；
其中，所述第一流量计是热质量流量计并且所述第二流量计是包括温度传感器的差压流量计；
其中，所述第一流量计沿着所述控制阀的上游的流动路径设置并且所述第二流量计沿着所述控制阀的下游的流动路径设置；并且
其中，所述系统控制器包括：
(i)流量控制单元，其用于接收由所述第一流量计和所述第二流量计产生的两个信号并将这些信号中的一个信号用作所述控制阀的所述控制信号；
(ii)比较器，其用于接收分别由所述第一流量计和所述第二流量计产生的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号，并且产生代表分别从所述第一流量计和所述第二流量计接收的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号之间的差异的差异信号作为输出；
(iii)阈值检测器，其用于将所述差异信号与预定阈值进行比较，并且在所述差异信号超过所述预定阈值时产生所述警报信号。
2. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述控制信号根据由所述热质量流量计所测量的流率而产生。
3. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述控制信号根据由所述差压流量计所测量的流率而产生。
4. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述阈值是用户设置的。
5. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中所述阈值是工厂设置的。
6. 根据权利要求1所述的质量流量控制器，其中根据针对过程的质量流量中的可允许容限来设置所述阈值，所述控制器用于利用所述过程来输送气体。”
复审请求人认为：控制阀设置在第一流量计和第二流量计之间，第二流量计位于下游，其为包括温度传感器的差压流量计，差压流量计在其两端具有大的差压时运行最好，因为系统在其输出端通常耦合至真空，所以通过将差压流量计放置到控制阀下游获得最大压差；另一方面，热质量流量计能够在更高压力以及更高气体强度情况下最有效地工作，因此热质量流量计被放置在控制阀的上游（系统的最高压区域）；此外，利用温度传感器，差压流量计在阻塞和非阻塞流动情况下进行测量；对比文件3没有公开不同类型的流量计，且都位于控制阀上游，所引用的对比文件1、3-6没有单独、或者组合教导了位于控制阀上游的热质量流量计以及位于控制阀下游的具有温度传感器的差压流量计的特定配置，其中一个流量计用于进行控制并且另外一个流量计用于进行比较。因此，本申请权利要求1具备创造性。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以依法作出审查决定。
二、决定的理由
（一）审查文本的认定
在复审程序中，复审请求人于2018年07月10日和2019年05月17日分别提交了权利要求书的全文修改替换页。经审查，2019年05月17日所作修改符合专利法第33条和专利法实施细则第61条第1款的规定。本决定以于2014年07月18日进入中国国家阶段时提交的原始国际申请文件的中文译文的说明书第1-31段、说明书附图图1-3、说明书摘要、摘要附图；2019年05月17日提交的权利要求第1-6项为基础作出。
（二）关于专利法第22条第3款的问题
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求与最接近的对比文件之间存在区别技术特征，但该区别技术特征或是本领域技术人员的常用技术手段或是本领域技术人员容易想到的，那么该项权利要求相对于该对比文件和本领域技术人员的常用技术手段的结合不具备创造性。
具体到本案：
权利要求1-6不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
1、权利要求1要求保护一种用于控制半导体制造过程期间气体流量的质量流量控制器（MFC）。对比文件3公开了一种气体流量控制装置，并具体公开了如下内容（第1页第2栏以及第3页最后一栏，附图1-2）：图2为现有技术的质量流量控制器，但如果在传感器管1a中发生堵塞时，传感器管1a中的流量减小，则阀门打开以确保流量，则会出现流量高于设定流量的问题，由此，提供一种气体流量控制装置，特别是一种在半导体装置的制造过程中使用的气体流量控制装置，其能够立即捕获由于气体污染引起的故障并防止损坏。图1示出，装置具有导管，导管具有输入端和输出端，导管限定的路径为主要流动路径。控制装置还具有第一流量传感器1，第二流量传感器2，阀门3，比较电路4，警报装置5和比较控制电路6。第一流量传感器1和第二流量传感器2沿着导管设置，检测气体流量并将其转换为电信号。具体地，图1为质量流量控制器视图，两个传感器分别具有传感器管1a、2a，检测电路1b、2b，放大电路1c、2c，第一传感器管1a和第二传感器管2a都具有形成检测电路1b和2b的桥电路的一部分的热敏电阻，并且将与气体流量成比例的输出电压提供给放大电路1c和2c。阀门3设置在导管上，调节气体流量。比较电路4检测第一流量传感器1的输出电压和第二流量传感器2的输出电压，当差值大于预设值时操作报警装置5，比较控制电路6将第一流量传感器1的输出电压与预设的气体流量的设定电压进行比较并根据差值操作阀门3，以控制气体流量恒定。当警报装置不运行时，气体流量可以保持恒定，一旦警报装置运行，就可以处理该情况。第一流量传感器1和第二流量传感器2安装在阀门3的上游侧，然而第一流量传感器1和第二流量传感器2可以是安装在下游侧，第一流量传感器1和第二流量传感器2可以分别安装在上游侧和下游侧。此外，与电压设定电路7的设定电压进行比较的输出电压可以取自第一流量传感器1或第二流量传感器2。
将本申请权利要求1请求保护的技术方案与对比文件3公开的内容相比，对比文件3为一种气体流量控制装置，该气体流量控制装置为质量流量控制装置，特别是一种在半导体装置的制造过程中使用的气体流量控制装置，因此相当于本申请权利要求1的“一种用于控制半导体制造过程期间气体流量的质量流量控制器（MFC）”。
对比文件3的图1示出，装置具有导管，导管具有输入端和输出端，导管限定的路径为主要流动路径，对比文件3的具有输入端和输出端的导管为一块导管，即相当于本申请权利要求1的“导管的块”，并且对比文件3公开了本申请权利要求1的“所述导管限定主要流动路径，所述块具有输入端和输出端”；对比文件3中，具有第一流量传感器1，第二流量传感器2，第一流量传感器1和第二流量传感器2沿着导管设置，检测气体流量并将其转换为电信号，具体地，两个传感器分别具有传感器管1a、2a，检测电路1b、2b，放大电路1c、2c，第一传感器管1a和第二传感器管2a都具有形成检测电路1b和2b的桥电路的一部分的热敏电阻，并且将与气体流量成比例的输出电压提供给放大电路1c和2c，可见，对比文件3中的第一流量传感器1和第二流量传感器2分别相当于本申请权利要求1的 “第一流量计”和“第二流量计”，对比文件3中，从放大电路1c、2c输出的电压，分别相当于本申请权利要求1的“第一流量测量信号”和“第二流量测量信号”，此外，对比文件3中，两个流量传感器1、2是实时并同时测量质量流量，由此可见，对比文件3公开了本申请权利要求1的“第一流量计，其沿着所述主要流动路径设置，并且用于在过程的运行期间实时测量穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率，并且产生代表穿过所述质量流量控制器的测量流率的第一流量测量信号；第二流量计，其沿着所述主要流动路径设置，并且用于在过程的运行期间实时测量穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率，并且产生代表穿过所述质量流量控制器的测量流率的第二流量测量信号，其中，所述第一流量计和所述第二流量计同时测量所述质量的流率”；对比文件3中，具有阀门3，阀门3设置在导管上，调节气体流量，其中阀门3相当于本申请权利要求1的沿着主要流动路径设置的“控制阀”，对比文件3中，比较控制电路6将第一流量传感器1的输出电压与预设的气体流量的设定电压进行比较并根据差值操作阀门3，以控制气体流量恒定，对比文件3中操作阀门3的信号相当于本申请权利要求1的“控制信号”，因此，对比文件3相当于公开了本申请权利要求1的“并且用于响应于控制信号来控制穿过所述质量流量控制器的气体的质量的流率”。
对比文件3中的比较控制电路6，比较电路4，电压设定电路7和警报装置5共同构成的控制器，相当于本申请权利要求1的“系统控制器”，对比文件3中，比较控制电路6将第一流量传感器1的输出电压与预设的气体流量的设定电压进行比较并根据差值操作阀门3，以控制气体流量恒定，与电压设定电路7的设定电压进行比较的输出电压可以取自第一流量传感器1或第二流量传感器2，比较电路4检测第一流量传感器1的输出电压和第二流量传感器2的输出电压，当差值大于预设值时操作报警装置5，此外，对比文件3中采用两个流量传感器是为了防止一个流量传感器的传感管发生堵塞而导致流过质量流量控制器的流量大于设定值，因此多采用一个流量传感器的用处也是为了验证质量流量控制器的准确度，由此可见，对比文件3公开了本申请权利要求1的“系统控制器，其用于接收分别由所述第一流量计和所述第二流量计产生的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号，基于所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号中的一个产生所述控制信号，其中，所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号中的另一个用于实时验证所述质量流量控制器的准确度，并且其中，所述系统控制器用于提供表示所述第一流量测量信号与所述第二流量测量信号之间的差异何时超过预定阈值的警报信号”；对比文件3的附图1中，第一流量传感器1和第二流量传感器2都为热式流量计，安装在阀门3的上游侧，因此，公开了本申请权利要求1的“第一流量计是热质量流量计”和“所述第一流量计沿着所述控制阀的上游的流动路径设置”，此外，对比文件3中，第一流量传感器1和第二流量传感器2还可以分别安装在上游侧和下游侧，因此相当于公开了本申请权利要求1的“第二流量计沿着控制阀的下游的流动路径设置”；对比文件3中，比较控制电路6将第一流量传感器1的输出电压与预设的气体流量的设定电压进行比较并根据差值操作阀门3，以控制气体流量恒定，与电压设定电路7的设定电压进行比较的输出电压可以取自第一流量传感器1或第二流量传感器2，也就是说对比文件3中，比较控制电路6也可以连接第二流量传感器，将第二流量传感器2输出值与电压设定电路7的设定电压进行比较从而操作阀门，并且对比文件3的比较控制电路6相当于本申请权利要求1的“流量控制单元”，因此，对比文件3公开了本申请权利要求1的“流量控制单元，其用于接收由所述第一流量计和所述第二流量计产生的两个信号并将这些信号中的一个信号用作所述控制阀的所述控制信号”；对比文件3中，比较电路4检测第一流量传感器1的输出电压和第二流量传感器2的输出电压，当差值大于预设值时操作报警装置5，其中比较电路4和报警装置相当于本申请权利要求1的“比较器”和“阈值检测器”，上述差值相当于本申请权利要求1的“差异信号”，上述预设值相当于本申请权利要求1的“预定阈值”，因此相当于公开了本申请权利要求1的“比较器，其用于接收分别由所述第一流量计和所述第二流量计产生的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号，并且产生代表分别从所述第一流量计和所述第二流量计接收的所述第一流量测量信号和所述第二流量测量信号之间的差异的差异信号作为输出；阈值检测器，其用于将所述差异信号与预定阈值进行比较，并且在所述差异信号超过所述预定阈值时产生所述警报信号”。
由此可见，本申请权利要求1请求保护的技术方案与对比文件3的区别仅在于：控制阀下游的第二流量计具有不同的类型，其为包括温度传感器的差压流量计，而对比文件3中两个流量计都为热式流量计。基于该区别技术特征，该权利要求1实际解决的技术问题是提高验证的可靠性和准确性。
对于上述区别技术特征，对比文件3中的流量传感器1、2虽然为相同类型的流量计，但是为了防止相同类型流量计产生相同故障，两个流量传感器显然可采用不同类型的流量传感器，以提高测试的可靠性和准确性，这是本领域技术人员在验证或标定某个流量传感器上的常用技术手段。进而，其中任意一个流量计采用可以不同于热质量流量计的其他常用气体流量传感器，例如差压流量计、科里奥利流量计等等，这是本领域技术人员容易想到的选择。此外，对于差压流量计，其质量流量与气体密度有关，而气体密度又是温压函数，因此，对于差压流量计还设有温度传感器也为本领域技术人员的常用技术手段。而根据差压流量计的工作特点，将其放置在下游，是本领域技术人员容易想到的。
针对复审请求人的意见，合议组认为：
首先，虽然对比文件3中附图示出两个流量计都位于阀门上游，但是对比文件3正文中公开了“第一流量传感器1和第二流量传感器2安装在阀门3的上游侧，然而第一流量传感器1和第二流量传感器2可以是安装在下游侧，第一流量传感器1和第二流量传感器2可以分别安装在上游侧和下游侧”，即对比文件3公开了控制阀可位于第一和第二流量计之间。此外，对比文件3中也公开了一个流量计用于进行控制并且另外一个流量计用于比较。
另外，虽然对比文件3中指出流量测量装置为相同类型的流量计，但是对比文件3中两个流量计都是用于测量管道中的气体流量，用一个流量计测量出的反映气体流量大小的信号与另一流量计测量出的信号相比较，因此，本领域技术人员可知，只要能够测量出管道气体流量的任何一种流量计，即可用来验证另一流量计的计量结果，而并不需要将该两个流量计局限为同种类型。并且，为了提高验证的可靠性和准确性，采用两个不同类型的流量计，本身也属于本领域技术人员的常用技术手段，例如文件4：JPH03166611A（公开日期为1991年07月18日）公开了一种质量流量控制器，在其第2实施例中，作为比较的第二流量传感器2a与流量传感器1即为不同类型（参见附图2，说明书“实施例”部分最后一段）；文件5：CN102224379A（公开日期为2011年10月19日）公开了一种质量流量控制器，其中，MFC100验证热质量流传感器135和压力传感器155中的至少一个的操作，例如，为了确定热传感器135是否经历传感器漂移，将第一质量流率与第二质量流率进行比较（说明书第24段，附图1）；文件6：CN1920498A（公开日期为2007年02月28日）公开了一种天然气流量计的在线实流检定装置，其中标准流量计I、II、III的工作原理不同，其目的是提高检测的准确性，流量计I采用超声波流量计，流量计II、III采用主涡轮流量计，也可以采用其他工作原理的流量计（说明书第5页倒数第3段）。以上三篇文件都公开了在一条管线上，可以采用类型不同的流量计进行流量验证，从而提高准确度，由此可知，为了提高准确性，第一流量计和第二流量计具有不同的类型，为本领域的常用技术手段。
至于当第二流量计采用差压流量计时，哪种流量计位于上游，哪种位于下游，是本领域技术人员可以根据两种流量计所适合的工作环境和检测灵敏度而灵活采用布置方式，例如控制阀下游压差大，而此处差压流量计检测灵敏度高，则适于将差压流量计布置在下游。
最后，差压气体流量计基于流量计限制器（即节流元件），本就可以工作在阻塞和非阻塞流动情况下，不管工作在哪种状态，都需要测量气体温度，这是本领域的公知常识，为了测量温度，因此设有温度传感器，属于本领域技术人员的常用技术手段。
因此，复审请求人的意见不能被接受。
基于上述分析，在对比文件3的基础上结合本领域技术人员的常用技术手段得到权利要求1请求保护的技术方案，对本领域技术人员来说是显而易见的，权利要求1不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2、对于从属权利要求2进一步限定的技术特征，对比文件3还公开了如下内容（说明书第3页的实施例部分，附图1）：两个传感器分别具有传感器管1a、2a，检测电路1b、2b，放大电路1c、2c，第一传感器管1a和第二传感器管2a都具有形成检测电路1b和2b的桥电路的一部分的热敏电阻，并且将与气体流量成比例的输出电压提供给放大电路1c和2c；比较控制电路6将第一流量传感器1的输出电压与预设的气体流量的设定电压进行比较并根据差值操作阀门3，以控制气体流量恒定。由此可知，对比文件3的两个传感器都为热质量流量计，且对阀门的控制信号是根据热质量流量计1或2所测量的流量而产生的。因此，对比文件3公开了权利要求2的附加技术特征，在引用的权利要求1不具备创造性的情况下，权利要求2也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
3、对于从属权利要求3进一步限定的技术特征，对比文件3还公开了如下内容（说明书第3页的实施例部分，附图1）：比较控制电路6将第一流量传感器1的输出电压与预设的气体流量的设定电压进行比较并根据差值操作阀门3，以控制气体流量恒定，与电压设定电路7的设定电压进行比较的输出电压可以取自第一流量传感器1或第二流量传感器2。即，对比文件3公开了可以利用第一流量计或第二流量计来产生操作阀的控制信号，此外，在前述评述中也指出了，两个流量计可以分别为热质量流量计和差压流量计，因此，操作阀的控制信号可为差压流量计是本领域技术人员容易想到的。因此，在其引用的权利要求不具备创造性的情况下，权利要求3也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
4、对于从属权利要求4-6进一步限定的技术特征，对比文件3还公开了如下内容（说明书第3页的实施例部分，附图1）：比较电路4检测第一流量传感器1的输出电压和第二流量传感器2的输出电压，当差值大于预设值（即本申请的阈值）时操作报警装置5。而阈值是用户设置的或是工厂设置的，根据过程的质量流量中的可允许容限来设置阈值是本领域的常规选择。因此，在其引用的权利要求1不具备创造性的情况下，权利要求4-6也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
综上所述，本申请的权利要求1-6不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
基于上述事实和理由，本案合议组依法作出下述审查决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2018年03月26日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服,根据专利法第41条第2款的规定,请求人自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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