发明创造名称：合金材料的研磨方法和合金材料的制造方法
外观设计名称：
决定号：188029
决定日：2019-08-27
委内编号：1F239602
优先权日：2013-01-04
申请（专利）号：201380069121.5
申请日：2013-12-26
复审请求人：福吉米株式会社
无效请求人：
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：
主审员：路志芳
合议组组长：师广义
参审员：宋卫华
国际分类号：B24B37/00(2012.01)
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求的技术方案相对于最接近的现有技术存在区别技术特征，但该区别技术特征为本领域技术人员根据公知常识容易想到的常规技术手段，则本领域技术人员容易在现有技术中获得与最接近的现有技术相结合的技术启示，那么该权利要求相对于上述最接近的现有技术及公知常识的结合不具备创造性。
全文：
本复审请求涉及申请号为201380069121.5，名称为“合金材料的研磨方法和合金材料的制造方法”的PCT发明专利申请（下称本申请）。本申请国际申请号为PCT/JP2013/084981，申请人为福吉米株式会社，国际申请日为2013年12月26日，优先权日为2013年01月04日，进入中国国家阶段的时间为2015年07月01日，在中国国家阶段的公开日为2015年09月09日。
经实质审查，国家知识产权局原审查部门于2017年09月05日以本申请权利要求1-9不具备专利法第22条第3款规定的创造性为由作出驳回决定，驳回决定所针对的文本为: 2015年07月01日提交的说明书第1-111段（第1-18页）、说明书摘要；2017年05月11日提交的权利要求第1-9项。驳回决定引用了如下对比文件：对比文件1:CN 1371528A，公开日：2002年09月25日。
驳回决定所针对的权利要求书如下：
“1. 一种合金材料的研磨方法，其特征在于，所述合金材料包含主成分和0.5质量％以上的与所述主成分的维氏硬度HV相差5以上的副成分的元素，该方法中，使用含有磨粒和含氧酸系氧化剂的研磨用组合物对所述合金材料的表面进行研磨，所述合金材料的主成分为铝、钛、铁或镍。
2. 根据权利要求1所述的合金材料的研磨方法，其中，所述合金材料的主成分为铝，副成分的元素为选自硅、镁、铁、铜和锌的至少1种。
3. 根据权利要求1或2所述的合金材料的研磨方法，其中，所述含氧酸系氧化剂为选自硝酸、亚硝酸、次氯酸、草酸和它们的盐的至少1种。
4. 根据权利要求1或2所述的合金材料的研磨方法，其中，所述含氧酸系氧化剂为选自硝酸和其盐的至少1种。
5. 根据权利要求1或2所述的合金材料的研磨方法，其中，所述磨粒为胶体二氧化硅。
6. 根据权利要求1或2所述的合金材料的研磨方法，其包括如下工序：在使用所述研磨用组合物对所述合金材料进行研磨前，使用预磨用组合物对所述合金材料进行预磨。
7. 一种合金材料的制造方法，其包括使用权利要求1～6中任一项所述的合金材料的研磨方法对合金材料进行研磨的工序。
8. 一种合金材料，其使用权利要求7所述的制造方法制造。
9. 一种研磨用组合物，其特征在于，该研磨用组合物用于权利要求1～6中任一项所述的合金材料的研磨方法，其含有磨粒和含氧酸系氧化剂。”
驳回决定指出：独立权利要求1要求保护的技术方案与对比文件1公开的内容相比，其区别技术特征在于：所述合金材料包含主成分和0.5质量％以上的与所述主成分的维氏硬度HV相差5以上的副成分的元素；所述合金材料的主成分为铝、钛、铁或镍。但上述区别技术特征是本领域的公知常识，因此，权利要求1相对于在对比文件1和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。从属权利要求2和6的附加技术特征是本领域的公知常识，从属权利要求3-4的附加技术特征部分被对比文件1公开，部分是本领域的公知常识，从属权利要求5的附加技术特征已被对比文件1公开。因此，在其引用的权利要求不具备创造性时，从属权利要求2-6不具备专利法第22条第3款规定的创造性。在权利要求1-6中的合金材料的研磨方法不具备创造性时，独立权利要求7要求保护的合金材料的制造方法也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。在权利要求7不具备创造性时，独立权利要求8要求保护的合金材料也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。在权利要求1～6中任一项所述的合金材料的研磨方法不具备创造性时，独立权利要求9也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。对于申请人的意见陈述，驳回决定进一步指出：本申请采用含有氧化剂和磨粒的组合物进行研磨的研磨方法已被对比文件1公开了；对比文件1公开了合金材料的主成分为选自铜。对于“所述合金材料的主成分为铝、钛、铁或镍” 是本领域常见的合金材料，将已有的研磨方法用于此类合金材料的研磨是本领域技术人员易于想到的，并未产生预料不到的技术效果。
申请人（下称复审请求人）对上述驳回决定不服，于2017年12月07日向国家知识产权局提出了复审请求，同时修改了权利要求书，其中将从属权利要求3中的“所述含氧酸系氧化剂为选自硝酸、亚硝酸、次氯酸、草酸和它们的盐的至少1种”修改为“所述含氧酸系氧化剂为亚硝酸、草酸或它们的盐、或硝酸盐或次氯酸盐”，并将修改后的上述技术特征补入独立权利要求1。复审请求人认为：本申请的研磨对象、氧化剂和解决的技术问题与对比文件1均不同，本申请通过包含上述主成分和与所述主成分的维氏硬度HV相差5以上的副成分的合金材料与含有上述氧化剂的研磨组合物的特定组合，实现了对合金材料表面有效地精加工成优异的镜面的效果，并且提高了研磨用组合物的稳定性。因此，在研磨对象、氧化剂、解决的技术问题与所采用的技术手段完全不同的情况下，本领域技术人员难以想到要解决与对比文件1完全不同的技术问题，也难以想到将对比文件1氧化剂用于与其完全不同的研磨对象及其可能达到的效果。并且，同时更换氧化剂和研磨对象也有违于对比文件1的发明，本领域技术人员基于对比文件1缺乏该动机，而且这种组合能达到何种研磨效果也未可知。 因此，本领域技术人员基于对比文件1难以得到本申请的技术方案。由本申请的实施例和比较例显示了本申请与对比文件1的过氧化氢氧化剂所带来的不同效果，即本申请的氧化剂有提高组合物稳定性的效果，该效果是由氧化剂和研磨对象均不同的对比文件1难以预料的， 对比文件1和现有技术均未关注主副成分的硬度差、及其与特定氧化剂配合使用所带来的研磨效果和稳定研磨组合物的效果，在未关注的情况下，本领域技术人员也没有动机将二者配合使用。综上，本申请的技术方案是非显而易见的，其技术效果也是难以预料的，因此，修改后的权利要求1具有创造性。
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年01月04日依法受理了该复审请求，并将其转送至原审查部门进行前置审查。
原审查部门在前置审查意见书中认为: 本申请权利要求1要求保护的是一种研磨方法和合金材料的制造方法，对比文件1公开了：一种用于铜或铜合金的研磨方法，使用含有磨粒，及导体氧化剂可以是硝酸或次氯酸至少一种（相当于含氧酸系氧化剂）的研磨用组合物对所述合金材料的表面进行研磨，本申请采用的这种构思的研磨方法已被对比文件1公开了。对比文件1公开了导体氧化剂可以是硝酸或次氯酸至少一种。面对含氧酸系氧化剂选择时，选择选自为亚硝酸、草酸或它们的盐、或硝酸盐或次氯酸盐，这种实现方式是本领域技术人员根据需要做出的常规选择。至于研磨对象为合金材料主成分为铝、钛、铁或镍。对比文件1公开了合金材料的主成分为选自铜或钽的启示下，面对铝、钛、铁或镍的合金研磨时，将对比文件1磨研方法，应用于主成分不同的合金材料研磨，对本领域技术人员来说是无需付出创造性劳动。因而坚持原驳回决定。
随后，国家知识产权局成立合议组对本案进行审理。
合议组于2018年10月30日向复审请求人发出复审通知书，指出：权利要求1所要求保护的技术方案相对于对比文件1公开的技术内容相比，其区别技术特征在于：所述合金材料包含主成分和0.5质量％以上的与所述主成分的维氏硬度HV相差5以上的副成分的元素；所述合金材料的主成分为铝、钛、铁或镍，所述含氧酸系氧化剂为亚硝酸、草酸或它们的盐或硝酸盐或次氯酸盐。但上述区别技术特征是本领域的公知常识，因此，权利要求1相对于在对比文件1和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。从属权利要求2-3和5的附加技术特征是本领域的公知常识，从属权利要求4的附加技术特征已被对比文件1公开。因此，在其引用的权利要求不具备创造性时，从属权利要求2-5不具备专利法第22条第3款规定的创造性。在权利要求1-5中的合金材料的研磨方法不具备创造性时，独立权利要求6要求保护的合金材料的制造方法也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。在权利要求6不具备创造性时，独立权利要求7要求保护的合金材料也不具备专利法第22条第3款规定的创造性，在权利要求1～5中任一项所述的合金材料的研磨方法不具备创造性时，独立权利要求8也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。对于复审请求人的意见陈述，合议组进一步指出：首先，对比文件1所要解决的技术问题与本申请不同并不影响对比文件1已经公开了本申请的技术手段；其次，根据原申请文件的记载，研磨用组合物的稳定性是指其在一定的保存期限内组合物是否有变化，即保存稳定性，该性质与所研磨的对象无关，根据原申请文件的记载（参见表2和表3）可知，在研磨用组合物中包含含氧酸系氧化剂的组合物比包含其它氧化剂的稳定性好，而对比文件1公开的研磨用组合物中的氧化剂中含有的硝酸或次氯酸氧化剂也均是含氧酸系氧化剂，与本申请权利要求1中的限定的含氧酸系氧化剂具有相同的技术效果，根据原申请文件的记载，本领域技术人员无法得出权利要求1中限定的氧化剂相对于对比文件1中的硝酸或次氯酸氧化剂具有预料不到的技术效果；最后，根据原申请文件的记载，由于研磨用组合物的稳定性的降低会对研磨特性，如对合金材料的高研磨速度的维持和研磨后的合金材料表面的平滑性造成影响，而稳定性提高后在对合金材料进行研磨时，可以获得更好的研磨效率和研磨效果，这种影响和效果适用于多种合金材料，并不是只有权利要求1中限定的合金材料才具有上述技术效果，没有证据表明必须采用权利要求1中限定的氧化剂和合金材料的组合才具有上述技术效果；研磨对象为权利要求1中的合金材料只是本领域技术人员根据合金材料的使用需求进行选择的。因此，权利要求不具备创造性。
针对上述复审通知书，复审请求人于2018年12月13日提交了意见陈述书，并提交了修改后的权利要求书替换页，其中将从属权利要求2中的技术内容补入独立权利要求1中，并将说明书中的技术内容“研磨用组合物的pH为8以上”补入独立权利要求1和独立权利要求7中。复审请求人认为：本申请与对比文件1的研磨表面不同，本领域技术人员从对比文件1中无法找到任何针对铝合金表面的研磨剂或研磨方法，以期望能够获得无缺陷的铝合金表面；本申请通过特定的合金材料表面匹配特定的氧化性酸的组合，达成特别优异的研磨速度，并且有效地得到带有光泽的优异的镜面，具体地，本申请中的含氧酸系氧化剂能使铝合金表面形成硬度高、脆的氧化皮膜，通过用磨粒对其进行研磨，可以有效地得到没有表面缺陷的优异的镜面。对比文件1未给出上述组合的技术启示以及其所带来的技术效果；如对比文件1中采用的过氧化氢在本申请中由于其导致研磨用组合物的保存稳定性不良将会影响研磨效果。因此，在对比文件1仅公开含氧酸氧化剂对铜和担的合金有期望的研磨效果而未提及是否适合其它合金材料、且根本未提及主副成分具有一定硬度差的合金材料时，无法预知其含氧酸能够适用于本发明的特定的合金材料，并能实现期望的研磨效果；本申请的研磨组合物pH为8以上，为碱性范围，而对比文件1是在pH低于3的酸性环境下研磨。基于对比文件1的技术背景，本领域技术人员不会想到将其研磨组合物用于碱性pH下。
针对上述答复，合议组于2019年04月11日向复审请求人再次发出复审通知书，指出：权利要求1所要求保护的技术方案相对于对比文件1公开的技术内容相比，其区别技术特征在于：所述合金材料包含主成分和0.5质量％以上的与所述主成分的维氏硬度HV相差5以上的副成分的元素；所述合金材料的主成分为铝、钛、铁或镍，所述副成分的元素为选自硅、镁、铁、铜和锌的至少1种；所述含氧酸系氧化剂为亚硝酸、草酸或它们的盐或硝酸盐或次氯酸盐，研磨用组合物的pH为8以上。但上述区别技术特征是本领域的公知常识，因此，权利要求1相对于在对比文件1和本领域公知常识的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
从属权利要求2和4的附加技术特征是本领域的公知常识，从属权利要求3的附加技术特征已被对比文件1公开。因此，在其引用的权利要求不具备创造性时，从属权利要求2-4不具备专利法第22条第3款规定的创造性。在权利要求1-4中的合金材料的研磨方法不具备创造性时，独立权利要求5要求保护的合金材料的制造方法也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。在权利要求5不具备创造性时，独立权利要求6要求保护的合金材料也不具备专利法第22条第3款规定的创造性，在权利要求1～4中任一项所述的合金材料的研磨方法不具备创造性时，独立权利要求7也不具备专利法第22条第3款规定的创造性。对于复审请求人的意见陈述，合议组进一步指出：首先， CMP用研磨剂中的氧化剂能使铝合金表面形成硬度高、脆的氧化皮膜，通过用磨粒对其进行研磨，从而实现优异的研磨表面，是CMP研磨中公知的研磨机理（如对比文件1说明书第1页倒数第2段中记载的：CMP中使用的研磨剂，一般由氧化剂和磨料形成，利用这种CMP用研磨剂进行CMP的基本机理，认为首先由氧化剂氧化金属膜表面，再由磨粒将该氧化层磨削掉），并不是由于本申请特定的合金材料匹配特定的氧化性酸的组合才具有的机理和效果；而采用本申请特定的合金材料表面和特定的氧化性酸的组合也仅仅是利用上述公知的研磨机理实现的，其所达到的技术效果如达到优异的研磨速度以及有效地得到带有光泽的优异的镜面也是本领域人员可预料的技术效果；
根据原申请文件的记载，研磨用组合物的稳定性是指其在一定的保存期限内组合物是否有变化，即保存稳定性，该性质与所研磨的对象无关，研磨用组合物的稳定性的降低会对研磨特性，如对合金材料的高研磨速度的维持和研磨后的合金材料表面的平滑性造成影响，而稳定性提高后在对合金材料进行研磨时，可以获得更好的研磨效率和研磨效果，这种影响和效果适用于多种合金材料，并不是只有权利要求1中限定的合金材料才具有上述技术效果；根据原申请文件的记载（参见表2和表3）可知，在研磨用组合物中包含含氧酸系氧化剂的组合物比包含其它氧化剂的稳定性好，而对比文件1公开的研磨用组合物中的氧化剂中含有的硝酸或次氯酸氧化剂也均是含氧酸系氧化剂，与本申请权利要求1中的限定的含氧酸系氧化剂具有相同的技术效果，根据原申请文件的记载，本领域技术人员无法得出权利要求1中限定的氧化剂相对于对比文件1中的硝酸或次氯酸氧化剂具有预料不到的技术效果；
其次，虽然对比文件1中是在pH低于3的酸性环境下研磨的，但为了使得研磨用组合物中的胶体颗粒分散性良好，使得研磨组合物pH为8以上是本领域的公知常识。
针对上述复审通知书，复审请求人于2019年05月21日提交了意见陈述书，并提交了修改后的权利要求书替换页，其中将独立权利要求6的主题名称“一种合金材料”改为“一种研磨后的合金材料”，修改后的权利要求书如下：
“1. 一种合金材料的研磨方法，其特征在于，所述合金材料包含主成分和0.5质量％以上的与所述主成分的维氏硬度HV相差5以上的副成分的元素，该方法中，使用含有磨粒和含氧酸系氧化剂的pH为8以上的研磨用组合物对所述合金材料的表面进行研磨，所述合金材料的主成分为铝，所述副成分的元素为选自硅、镁、铁、铜和锌的至少1种，所述含氧酸系氧化剂为亚硝酸、草酸或它们的盐、或硝酸盐或次氯酸盐。
2. 根据权利要求1所述的合金材料的研磨方法，其中，所述含氧酸系氧化剂为硝酸盐。
3. 根据权利要求1所述的合金材料的研磨方法，其中，所述磨粒为胶体二氧化硅。
4. 根据权利要求1所述的合金材料的研磨方法，其包括如下工序：在使用所述研磨用组合物对所述合金材料进行研磨前，使用预磨用组合物对所述合金材料进行预磨。
5. 一种合金材料的制造方法，其包括使用权利要求1～4中任一项所述的合金材料的研磨方法对合金材料进行研磨的工序。
6. 一种研磨后的合金材料，其使用权利要求5所述的制造方法制造。
7. 一种研磨用组合物，其特征在于，该研磨用组合物用于权利要求1～4中任一项所述的合金材料的研磨方法， 其含有磨粒和含氧酸系氧化剂，pH为8以上。”
复审请求人认为：1）对比文件1的技术领域与本申请的领域并不相同，对比文件1的领域属于对集成电路板的布线的处理领域，其主要是通过氧化剂的使用，将处于线路凹槽以外的铜或铜基合金氧化（形成氧化物），然后通过研磨进行去除（并且在研磨时也要保证对氧化物去除的同时，不破坏相对脆弱的绝缘层）；没有证据证明这样的技术内容针对所有的研磨状况是普遍适用的；集成电路板中通常作为形成电路的是铜或铜基的合金，而不可能是铝；且对比文件1的研磨通常仅仅能适用于金属氧化物比该金属更容易研磨的情况，而铝的氧化物比铝更加坚硬而更难以研磨。基于对比文件1，本领域技术人员不容易想到本申请的技术问题和解决该问题的方法。本申请权利要求1中涉及的是对铝基合金的镜面研磨领域，其研磨强度并不受对比文件1那样的绝缘层的影响。 因此，二者的研磨场景、面对的研磨对象、所要满足的研磨条件是完全不同； 2）本领域对于研磨组合物的研制首先是基于研磨对象，研磨对象从根本上决定研磨组合物的组成，而针对不同的研磨对象而得到的研磨组合物有些存在保存稳定性的问题，有些并不明显的存在保存稳定性的问题。例如， 同样的研磨组合物保存后对不同表面进行研磨时所达到的研磨效果不同，有的能实现研磨效果，有的不能实现研磨效果，能实现的则保存稳定性相对较好，不能实现的则保存稳定性相对较差。 因此，从基于对比文件1那样的针对铜布线的研磨组合物，在本申请的申请日之前是无法判断本申请中针对铝基基体研磨的研磨组合物是否存在着保存稳定性的问题，更无法判断或预知本申请的研磨组合物能够克服保存稳定性问题而提高与研磨品质的效果。也就是说，没有证据显示在本申请的申请日之前本领域技术人员能够预料到本申请研磨组合物具有优良的保存稳定性的效果（及其附带效果）。虽然原则上认为保存稳定性越好越有利于研磨效果的提高，但也没有证据显示基于对比文件1那样针对铜布线的研磨组合物本领域技术人员能够知道如何得到针对铝基基体研磨的、保存稳定的研磨组合物；3）“为了获得更好的分散性，保持研磨组合物pH值为8以上是公知的”公知常识性证据并没有明确说明针对铝基界面研磨的研磨组合物的pH值为8以上时，能够使得研磨组合物的分散稳定性提高。对比文件1中保持pH值为酸性范围是用于辅助去除金属氧化物，而如果将pH调整到8以上，将无法完成对比文件1原本想要实现的技术效果，如果这样做，也没有证据显示本领域技术人员能够预期到获得的研磨组合物能够实现对何种界面产生何种研磨效果。即这样的调整不仅破坏了原有的技术方案，本领域技术人员也不知道能够获得如何的收益。
在上述程序的基础上，合议组认为本案事实已经清楚，可以依法作出审查决定。
二、决定的理由
1.审查文本的认定
复审请求人在答复复审通知书时于2019年05月21日提交了权利要求书的修改替换页，经核实，该修改符合专利法实施细则第61条第1款和专利法第33条的规定。故本次复审决定针对的审查文本是：2015年07月01日提交的说明书第1-111段（第1-18页）、说明书摘要；2019年05月21日提交的权利要求第1-7项。
2.关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
具体到本案：权利要求1-7不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
1）.权利要求1要求保护一种合金材料的研磨方法。对比文件1公开了一种用于铜或铜合金材料的研磨方法(参见说明书第1页-第8页第3段)，该方法中，使用含有磨粒，及导体氧化剂可以是硝酸或次氯酸至少一种（即含氧酸系氧化剂的一种）的研磨用组合物对所述合金材料的表面进行研磨。
由此可见，权利要求1所要求保护的技术方案相对于对比文件1公开的技术内容相比，其区别技术特征在于：所述合金材料包含主成分和0.5质量％以上的与所述主成分的维氏硬度HV相差5以上的副成分的元素；所述合金材料的主成分为铝，所述副成分的元素为选自硅、镁、铁、铜和锌的至少1种；所述含氧酸系氧化剂为亚硝酸、草酸或它们的盐或硝酸盐或次氯酸盐，研磨用组合物的pH为8以上。
基于上述区别技术特征，确定该权利要求实际要解决的技术问题是：提高该合金材料的研磨效率和研磨效果。
对于合金材料的主成分为铝，副成分的元素为选自硅、镁、铁、铜和锌的至少1种，以及合金材料包含主成分和0.5质量％以上的与所述主成分的维氏硬度HV相差5以上的副成分的元素是本领域常用的合金材料组成，为了提高该合金材料的研磨效率和研磨效果，将对比文件1中公开的上述研磨方法用于该合金材料的研磨是本领域技术人员容易想到的。
对比文件1已经公开了其中的氧化剂可以是含氧酸系氧化剂硝酸或次氯酸中的至少一种，而亚硝酸、草酸或它们的盐或硝酸盐或次氯酸盐也都是本领域熟知的含氧酸系氧化剂，选择这些含氧酸系氧化剂是本领域技术人员的常规选择。
为了使得研磨用组合物中的胶体颗粒分散性良好，使得研磨组合物pH为8以上是本领域的公知常识（参见《荧光增白剂实用技术》，董仲生，中国纺织出版社，2006年9月第1版第1次印刷），第204页：为了保持研磨过程中物料的稳定性和颗粒的胶体分散性处于良好的状态，通常控制PH=8-8.5）。
由此可见，在对比文件1的基础上结合本领域的公知常识以获得权利要求1所要求保护的技术方案，对于本领域技术人员来说是显而易见的。因此，权利要求1不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
2）．权利要求2是权利要求1的从属权利要求，对比文件1公开了导体氧化剂可以是硝酸。而选择硝酸盐只是本领域技术人员对常见的含氧酸系氧化剂的常规选择。因此，在其引用的权利要求不具备创造性的情况下，该权利要求2也不具备创造性。
3）．权利要求3是权利要求1的从属权利要求，对比文件1还公开了（参见说明书第7页倒数第1段）：磨粒可选自平均拉径在50nm以下的胶态氧化硅。因此，在其引用的权利要求不具备创造性的情况下，该权利要求3也不具备创造性。
4）．权利要求4是权利要求1的从属权利要求，根据工件材料具体表面情况，在进行精磨之前，先使用预磨用组合物对合金材料进行预磨以提高研磨效率和研磨效果是研磨领域常用的技术手段，因此，在使用所述研磨用组合物对所述合金材料进行研磨前，使用预磨用组合物对所述合金材料进行预磨是本领域技术人员根据实际需要的常规选择。因此，在其引用的权利要求不具备创造性的情况下，该权利要求4也不具备创造性。
5）.权利要求5要求保护一种合金材料的制造方法。对比文件1也公开了一种用于铜或铜合金材料的制造方法（参见说明书第1页-8页第3段），在权利要求1～4中任一项所述的合金材料的研磨方法不具备创造性的情况下，在对比文件1的基础上结合本领域常规技术手段以获得权利要求5所要求保护的技术方案，对于本领域技术人员来说是显而易见的。因此，权利要求5不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
6）.权利要求6要求保护一种研磨后的合金材料，对比文件1也公开了一种研磨后的铜或铜合金（参见说明书第1页-8页第3段），在权利要求5所述的制造方法不具备创造性的情况下，在对比文件1的基础上结合本领域常规技术手段以获得权利要求6所要保护的技术方案，对于本领域技术人员来说是显而易见的。因此，权利要求6不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
7）.权利要求7要求保护一种研磨用组合物，对比文件1也公开了一种研磨用组合物（参见说明书第1页-8页第3段），其研磨用组合物使用含有磨粒，及导体氧化剂可以是硝酸或次氯酸至少一种（相当于含氧酸系氧化剂）的研磨用组合物。
为了使得研磨用组合物中的胶体颗粒分散性良好，使得研磨组合物pH为8以上是本领域的公知常识（参见《荧光增白剂实用技术》，董仲生，中国纺织出版社，2006年9月第1版第1次印刷，第204页：为了保持研磨过程中物料的稳定性和颗粒的胶体分散性处于良好的状态，通常控制PH=8-8.5）。
在权利要求1～4中任一项所述的合金材料的研磨方法不具备创造性情况下，在对比文件1的基础上结合本领域常规技术手段以获得权利要求7所要求保护的技术方案，对于本领域技术人员来说是显而易见的。因此，权利要求7不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
3.对于复审请求人的意见陈述，合议组认为：
1）虽然对比文件1的研磨对象是集成电路板的布线，但其实质要研磨和去除的材料为铜或铜合金，也是一种合金材料，与本申请一样属于合金材料的研磨，而根据原申请文件的记载“所述合金材料的主成分为选自铝、钛、铁、镍和铜的至少1种”可知，其中的主成分也包括了铜，即根据原申请文件的记载，本申请的研磨方法和研磨组合物对于铝和铜具有基本相同的研磨效果，并不存在复审请求人所说的“铜金属氧化物比铜更容易研磨，而铝的氧化物比铝加坚硬而更难以研磨”，因此，并不存在复审请求人所说的技术障碍；
2）根据原申请文件的记载（参见表2和表3）可知，在研磨用组合物中包含含氧酸系氧化剂的组合物比包含其它氧化剂的稳定性好，而对比文件1公开的研磨用组合物中的氧化剂中含有的硝酸或次氯酸氧化剂也均是含氧酸系氧化剂，与本申请权利要求1中的限定的含氧酸系氧化剂具有相同的技术效果；
研磨用组合物的稳定性是指在保存过程中的稳定性，与研磨组合物的组成有关，与研磨过程和研磨对象无关，而组合物的稳定性将影响研磨效果，并不是研磨对象和研磨效果影响保存稳定性，因此，复审请求人所说的“同样的研磨组合物保存后对不同表面进行研磨时所达到的研磨效果不同，有的能实现研磨效果，有的不能实现研磨效果，能实现的则保存稳定性相对较好，不能实现的则保存稳定性相对较差”不具备说服力；
3）研磨用组合物的分散性的优劣与研磨对象无关，因此，“为了保持研磨过程中物料的稳定性和颗粒的胶体分散性处于良好的状态，通常控制pH=8-8.5”的原理具有普遍适用性，与研磨对象无关；且本申请的研磨对象的主成分为铝，并不是对比文件1中的研磨对象，并不需要辅助去除金属氧化物，不需要解决对比文件1中的技术问题以及实现其中的技术效果，因此，不会阻碍本领域技术人员对pH值进行调整；而保持研磨组合物pH值为8以上使得组合具有更好的分散性是本领域技术人员基于上述公知常识显而易见可获得的，由于分散性良好将获得更好的研磨效果对本领域技术人员来说也是显而易见的，且这种更好的研磨效果是针对任何研磨界面都具有的，因此并不存在复审请求人所说的“本领域技术人员不能够预期到获得的研磨组合物能够实现对何种界面产生何种研磨效果”。
综上，复审请求人关于本申请具备创造性的意见陈述不具备说服力，合议组不予支持。
根据以上事实和理由，本案合议组依法作出以下审查决定。
三、决定
维持国家知识产权局于2017年09月05日对本申请作出的驳回决定。
如对本复审请求审查决定不服,根据专利法第41条第2款的规定，复审请求人可以自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。
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