发明创造名称：一种电镀槽装置
外观设计名称：
决定号：42478
决定日：2019-11-25
委内编号：5W117797
优先权日：
申请（专利）号：201520025786.2
申请日：2015-01-14
复审请求人：
无效请求人：昆山科比精工设备有限公司
授权公告日：2015-07-01
审定公告日：
专利权人：昆山东威科技股份有限公司
主审员：兰琪
合议组组长：孙丽芳
参审员：姜小薇
国际分类号：C25D17/02,C25D21/06,C25D21/04,C25D21/12,C25D21/02
外观设计分类号：
法律依据：专利法第26条3款、第26条4款、第22条2款、第22条3款
决定要点：如果所属技术领域的技术人员依据说明书公开的内容并结合其所掌握的现有技术知识就能够实现本发明的技术方案，解决其技术问题，并产生预期的技术效果，则应当认为说明书对该发明已作出清楚、完整的说明，符合专利法第26条第3款的规定。
全文：
本专利的专利号为201520025786.2，申请日为2015年01月14日，授权公告日为2015年07月01日。本专利授权公告时的权利要求书如下：
“1. 一种电镀槽装置，包括供待镀板在其中电镀的电镀槽体(A1)，装有电镀药液的回流箱体(A23)，设置在所述电镀槽体(A1)内，对待镀板的表面进行喷镀的喷管(A3)，以及实现电镀槽体(A1)、回流箱体(A23)之间电镀药液循环的过滤循环系统，其特征在于：所述过滤循环系统包括由所述回流箱体(A23)向所述电镀槽体(A1)内供洁净电镀药液的第一循环部分，由所述电镀槽体(A1)向所述喷管(A3)供洁净电镀药液的第二循环部分，以及从所述电镀槽体(A1)中向所述回流箱体(A23)中溢流电镀药液的第三循环部分。
2. 根据权利要求1所述的电镀槽装置，其特征在于，所述第一循环部分包括从所述回流箱体(A23)内抽取电镀药液的第一泵(A20)，与所述第一泵(A20)的出液口连接的第一过滤器(A4)，将所述第一过滤器(A4)与所述电镀槽体(A1)底部连通的第一管路(A5)。
3. 根据权利要求2所述的电镀槽装置，其特征在于，连接在所述第一泵(A20)进液口处的吸液管(A25)伸入所述回流箱体(A23)内的一端还设有吸入口网罩(A6)。
4. 根据权利要求3所述的电镀槽装置，其特征在于，所述第二循环部分包括设置从电镀槽体(A1)内抽取电镀药液的第二泵(A21)，通过第二管路(A22)与所述第二泵(A21)的出液口连通的第二过滤器(A7)，以及连通所述第二过滤器(A7)的出液口与所述喷管(A3)的第三管路(A8)。根据权利要求1-4中任一项所述的电镀槽装置，其特征在于，所述第三循环部分包括成型在所述电镀槽体(A1)的侧壁的上端的溢流孔(A9)，处于所述电镀槽体(A1)的外侧壁上，且围绕所述溢流孔(A9)设置的溢流腔(A10)，以及将所述溢流腔(A10)处的电镀药液导向所述回流箱体(A23)内的回流通道(A11)。
5. 根据权利要求4所述的电镀槽装置，其特征在于，所述溢流腔(A10)由若干溢流板围成。
6. 根据权利要求5所述的电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽体(A1)的侧壁上高于所述溢流孔(A9)的位置处还设有药液气味排出孔(A12)，且所述溢流孔(A9)与所述药液气味排出孔(A12)之间还设有溢流抽风隔板(A13)。
7. 根据权利要求1-6中任一项所述的电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽体(A1)上还设有添加盒，所述添加盒(A26)上分布有若干容纳孔，盛放装有阳极金属材料的钛篮(A24)通过所述容纳孔分布在所述添加盒(A26)上。
8. 根据权利要求7所述的电镀槽装置，其特征在于，所述喷管(A3)也安装在所述添加盒(A26)上。
9. 根据权利要求8所述的电镀槽装置，其特征在于，每个所述喷管(A3)上设置有若干喷嘴(A14)。
10. 根据权利要求9所述的电镀槽装置，其特征在于，分布在所述电镀槽体(A1)一侧的所述喷管(A3)相对于另一侧的所述喷管(A3)对称或是以错位排布的方式布置。
11. 根据权利要求10所述的电镀槽装置，其特征在于，分布在所述电镀槽体(A1)同一侧的相邻的喷嘴(A14)在竖直方向上以错位排布的方式布置。
12. 根据权利要求1-6中任一项所述的电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽体(A1)与所述回流箱体(A23)之间的槽体中间板(A15)上设有循环泄流口(A16)、循环吐出口(A17)，以及铜球排泄口(A18)。
13. 根据权利要求2-6中任一项所述的电镀槽装置，其特征在于，所述 电镀槽体(A1)由多个电镀分槽体首尾相接形成，每个所述电镀分槽体配设有一个分回流箱体，每个所述分回流箱体上设置有连通管(A19)，相邻两所述分回流箱体之间通过所述连通管(A19)连通。
14. 根据权利要求2-6中任一项所述的电镀槽装置，其特征在于，所述回流箱体(A23)、所述第一过滤器(A4)、所述第二过滤器(A7)均设置在所述电镀槽体(A1)下方的下槽体(A2)内，所述第一泵(A20)、所述第二泵(A21)设置在所述下槽体(A2)外，且处于所述下槽体(A2)的两端。”
请求人昆山科比精工设备有限公司于2019年06月12日向国家知识产权局提出了无效宣告请求，其理由是本专利说明书不符合专利法第26条第3款的规定，权利要求1-14得不到说明书的支持，不符合专利法第26条第4款的规定，权利要求1-2不符合专利法第22条第2款的规定，权利要求1-14不符合专利法第22条第3款的规定，请求宣告本专利权利要求1-14无效，同时提交了本专利的授权公告文本，以及如下证据1-4：
证据1：TW200301320A的发明专利说明书，公开日为2003年07月01日，复印件19页；
证据2：TW327898U的发明新型专利说明书，公开日为1998年03月01日，复印件14页；
证据3：授权公告号为CN201201980Y的中国实用新型专利说明书，授权公告日为2009年03月04日，复印件7页；
证据4：授权公告号为CN202202003U的中国实用新型专利，授权公告日为2012年04月25日，复印件6页。
请求人认为：（1）关于专利法第26条第3款，本专利的目的是提供一种结构合理，能够保证喷管单位时间内的喷出量和压力能够均衡稳定的电镀槽装置，本领域技术人员不清楚如何在电镀槽内设计喷管能使得在电镀槽液面稳定的状态下保证喷管单位时间内喷出来的电解液的量，以及液压均衡；实质上喷管的单位时间内电解液流量由第二泵的特性决定，其与电镀槽体内的液面并无任何关联性，因此该手段是含糊不清的，根据说明书记载无法实现，不符合专利法第26条第3款的规定；基于相同的理由，权利要求1-14不符合专利法第26条第4款的规定；
（2）权利要求1不符合专利法第22条第2款的规定，证据1公开了一种电镀设备，其要解决的技术问题是电镀液的循环流动，所述电镀设备包含内槽8，环绕内槽8且接受由内槽流出电镀液之外槽7，用来储存外槽中电镀液的储液槽12，连接储液槽12与内槽8的电镀液输送管21，设置在电镀液输送管21上且用来将电镀液射入内槽8至喷射泵13，喷嘴4 、5由具有过滤器14之第二侧管21分支出来，喷嘴由储液槽12中的电镀液向其提供（参见证据1说明书第7页第1段，第8页第1段，第10页第3段，以及附图1、3），证据1公开了权利要求1中的全部技术特征，二者技术领域相同，要解决的技术问题相同，技术效果也相同，因此不具备新颖性；证据1公开了喷射泵透过过滤器将储液槽中的电镀液注入内槽，以及连接储液槽与内槽的电镀液输送管（参见证据1说明书7页第1段，第8页第1段），权利要求2的附加技术特征也在证据1中公开，不具备新颖性。
（3）关于权利要求1-14不具备创造性
权利要求1与证据1的区别特征为“由所述电镀槽体向所述喷管供洁净电镀药液的第二循环部分”，证据1是喷嘴内的电镀液由位于第二过滤器和内槽之间的第二侧管分支出来提供，而第二侧管内的电镀液是注入内槽的；或者喷嘴内的电镀液由储液槽提供，且内槽内的电镀液溢流至储液槽，本领域技术人员容易想到将内槽内的电镀液直接抽至喷嘴实现循环；证据2公开了电镀槽内部布设有进液管，且设有数支喷管，喷管上设有数个喷嘴，以使经由过滤器送出之电镀液可由喷嘴喷出进入电镀槽的电镀液中（参见证据2的说明书第6页），即证据2公开了电镀槽内电镀液提供至喷管的循环方式，因此权利要求1相对于证据1和公知常识的结合，或证据1、证据2和公知常识的结合均不具备创造性；
权利要求2的附加技术特征在证据1中公开；权利要求3中在喷射泵进液口设置吸入口网罩属于常规技术手段；关于权利要求4，证据1公开了第三循环部分的特征，且溢流孔的设置是公知常识，证据2公开了第二循环部分的特征；关于权利要求5，证据1公开的外槽7相当于溢流腔，其由一块或多块板材合围形成属于公知常识；关于权利要求6，药液气味排出孔及其具体设置方式属于公知常识，此外证据3公开了排气管连通至所述副槽上，其上设有连接所述控制器的电磁阀，本领域技术人员可以将排气管替换为气味排出孔，具体设置属于公知常识；关于权利要求7，证据4公开了一种电镀用添加铜球的装置，其包括添加盒、圆孔、导向管等部件，权利要求7的特征在证据4中公开；关于权利要求8，喷管的安装位置是公知常识；关于权利要求9，证据2公开了喷嘴的设置；关于权利要求10-11，证据2公开了喷嘴在喷管轴上均匀分布，这两种分布方式均属于公知常识；关于权利要求12-14，其附加技术特征均属于公知常识。
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年07月08日受理了上述无效宣告请求并将无效宣告请求书及证据副本转给了专利权人，同时成立合议组对本案进行审查。
请求人于2019年06月28日提交了补充的意见陈述书，以及上述证据1-4和如下证据5-12（编号续前）：
证据5：授权公告号为CN203096220U的实用新型专利，授权公告日为2013年07月31日，复印件5页；
证据6：合同编号为2014047的固定资产采购合同，签订日期为2014年09月09日，复印件4页；
证据7：安捷利（番禹）电子实业有限公司的验收标准，复印件3页；
证据8：昆山科比精工设备有限公司的设备规格说明书，复印件11页；
证据9：据称为本专利涉及垂直连续电镀设备的整线图纸，复印件7页；
证据10：昆山科比精工设备有限公司的报价单，复印件2页；
证据11：据称为安捷利（番禹）电子实业有限公司分四次经中国工商银行向昆山科比精工设备有限公司的网上银行电子回单，复印件4页；
证据12：昆山科比精工设备有限公司向安捷利（番禹）电子实业有限公司开具的江苏增值税专用发票，复印件10页。
请求人除重申上述无效理由外，就创造性的无效理由来说，关于权利要求10-11，从证据5的附图2中可得出喷嘴在竖直方向上交错排列，即喷嘴的对称或错位排布是公知常识；关于权利要求14，证据5公开了过滤装置设置于壳体下方的电镀槽内，循环泵装置位于电镀槽外，且位于其中的一个端部，故设备部件的布局属于公知常识。此外，请求人还认为证据6-12能够形成本专利在其申请日2015年1月14日之前已经被公开销售的完整的证据链，因此权利要求1-14不具备专利法第22条第2款、第3款。
专利权人针对上述无效宣告请求于2019年07月30日提交了意见陈述书，并认为证据6-12内容模糊不清，无法辨认证据所记载的内容，尤其是证据11无法辨认汇款人、收款人、款项数额、日期等实质性内容，证据的合法性、真实性和关联性无法确认。
国家知识产权局本案合议组于2019年08月05日将专利权人于2019年07月30日提交的意见陈述书转送给请求人，同时向双方当事人发出了口头审理通知书，定于2019年09月05日举行口头审理。
专利权人于2019年08月23日提交了意见陈述和经修改的权利要求书（共15项），认为所述修改是对权利要求明显错误的修改，修改后的权利要求书如下：
“1. 一种电镀槽装置，包括供待镀板在其中电镀的电镀槽体(A1)，装有电镀药液的回流箱体(A23)，设置在所述电镀槽体(A1)内，对待镀板的表面进行喷镀的喷管(A3)，以及实现电镀槽体(A1)、回流箱体(A23)之间电镀药液循环的过滤循环系统，其特征在于：所述过滤循环系统包括由所述回流箱体(A23)向所述电镀槽体(A1)内供洁净电镀药液的第一循环部分，由所述电镀槽体(A1)向所述喷管(A3)供洁净电镀药液的第二循环部分，以及从所述电镀槽体(A1)中向所述回流箱体(A23)中溢流电镀药液的第三循环部分。
2. 根据权利要求1所述的电镀槽装置，其特征在于，所述第一循环部分包括从所述回流箱体(A23)内抽取电镀药液的第一泵(A20)，与所述第一泵(A20)的出液口连接的第一过滤器(A4)，将所述第一过滤器(A4)与所述电镀槽体(A1)底部连通的第一管路(A5)。
3. 根据权利要求2所述的电镀槽装置，其特征在于，连接在所述第一泵(A20)进液口处的吸液管(A25)伸入所述回流箱体(A23)内的一端还设有吸入口网罩(A6)。
4. 根据权利要求3所述的电镀槽装置，其特征在于，所述第二循环部分包括设置从电镀槽体(A1)内抽取电镀药液的第二泵(A21)，通过第二管路(A22)与所述第二泵(A21)的出液口连通的第二过滤器(A7)，以及连通所述第二过滤器(A7)的出液口与所述喷管(A3)的第三管路(A8)。
5. 根据权利要求1-4中任一项所述的电镀槽装置，其特征在于，所述第三循环部分包括成型在所述电镀槽体(A1)的侧壁的上端的溢流孔(A9)，处于所述电镀槽体(A1)的外侧壁上，且围绕所述溢流孔(A9)设置的溢流腔(A10)，以及将所述溢流腔(A10)处的电镀药液导向所述回流箱体(A23)内的回流通道(A11)。
6. 根据权利要求5所述的电镀槽装置，其特征在于，所述溢流腔(A10)由若干溢流板围成。
7. 根据权利要求6所述的电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽体(A1)的侧壁上高于所述溢流孔(A9)的位置处还设有药液气味排出孔(A12)，且所述溢流孔(A9)与所述药液气味排出孔(A12)之间还设有溢流抽风隔板(A13)。
8. 根据权利要求1-7中任一项所述的电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽体(A1)上还设有添加盒，所述添加盒(A26)上分布有若干容纳孔，盛放装有阳极金属材料的钛篮(A24)通过所述容纳孔分布在所述添加盒(A26)上。
9. 根据权利要求8所述的电镀槽装置，其特征在于，所述喷管(A3)也安装在所述添加盒(A26)上。
10. 根据权利要求9所述的电镀槽装置，其特征在于，每个所述喷管(A3)上设置有若干喷嘴(A14)。
11. 根据权利要求10所述的电镀槽装置，其特征在于，分布在所述电镀槽体(A1)一侧的所述喷管(A3)相对于另一侧的所述喷管(A3)对称或是以错位排布的方式布置。
12. 根据权利要求11所述的电镀槽装置，其特征在于，分布在所述电镀槽体(A1)同一侧的相邻的喷嘴(A14)在竖直方向上以错位排布的方式布置。
13. 根据权利要求1-7中任一项所述的电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽体(A1)与所述回流箱体(A23)之间的槽体中间板(A15)上设有循环泄流口(A16)、循环吐出口(A17)，以及铜球排泄口(A18)。
14. 根据权利要求2-7中任一项所述的电镀槽装置，其特征在于，所述电镀槽体(A1)由多个电镀分槽体首尾相接形成，每个所述电镀分槽体配设有一个分回流箱体，每个所述分回流箱体上设置有连通管(A19)，相邻两所述分回流箱体之间通过所述连通管(A19)连通。
15. 根据权利要求2-7中任一项所述的电镀槽装置，其特征在于，所述回流箱体(A23)、所述第一过滤器(A4)、所述第二过滤器(A7)均设置在所述电镀槽体(A1)下方的下槽体(A2)内，所述第一泵(A20)、所述第二泵(A21)设置在所述下槽体(A2)外，且处于所述下槽体(A2)的两端。”
合议组于2019年08月29日将专利权人2019年08月23日提交的意见陈述书和修改文本转送给请求人。
口头审理如期举行，双方当事人均委托代理人出席了本次口头审理。在口头审理过程中，合议组调查并记录了如下重要事项：
（1）请求人放弃证据6-12的使用，同时放弃基于证据6-12相关的新颖性和创造性的无效理由；
（2）专利权人放弃2019年08月23日对权利要求书所进行的修改，合议组依据本专利的授权公告文本进行审理；
（3）专利权人认可证据1-5的真实性和公开性；
（4）请求人当庭明确无效宣告理由为：权利要求1-14要求保护的技术方案未在说明书中清楚说明，不符合专利法第26条第3款的规定；权利要求1-14得不到说明书支持，不符合专利法第26条第4款的规定；权利要求1-2相对于证据1不具备新颖性；权利要求1相对于证据1和公知常识的结合、或证据1、证据2和公知常识的结合不具备创造性；权利要求2的附加技术特征被证据1公开，权利要求3、5、8、12-13的附加技术特征为公知常识，权利要求4的附加技术特征被证据1或证据2公开，权利要求6的附加技术特征被证据3公开或为公知常识，权利要求7的附加技术特征被证据4公开，权利要求9的附加技术特征被证据2公开，权利要求10-11的附加技术特征被证据2、证据5公开或为公知常识，权利要求14的附加技术特征被证据5公开。
至此，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
1、关于审查文本
在口头审理中，专利权人放弃了2019年08月23日对权利要求书所进行的修改，故本无效宣告请求审查决定所针对的文本是本专利的授权公告文本。
2、关于证据
证据1-5均为专利文献，专利权人对证据1-5的真实性和公开性无异议。合议组经核实，认可证据1-5的真实性，同时证据1-5的公开日均早于本专利的申请日，因此可以作为评价本专利新颖性或创造性的现有技术。
3、关于专利法第26条第3款
专利法第26条第3款规定，说明书应当对发明或者实用新型作出清楚、完整的说明，以所属技术领域的技术人员能够实现为准。
如果所属技术领域的技术人员依据说明书公开的内容并结合其所掌握的现有技术知识就能够实现本发明的技术方案，解决其技术问题，并产生预期的技术效果，则应当认为说明书对该发明已作出清楚、完整的说明，符合专利法第26条第3款的规定。
请求人认为：本领域技术人员不清楚如何在电镀槽内设计喷管能使得在电镀槽液面稳定的状态下保证喷管单位时间内喷出来的电解液的量以及液压均衡，实质上，喷管的单位时间内电解液流量由第二泵的特性决定，其与电镀槽体内的液面并无任何关联性，因此该技术手段含糊不清。
对此，合议组核实，本专利说明书中记载了“电镀液不仅可以在电镀槽体与回流箱体之间循环流动，同时也使得电镀液可以在电镀槽体内部循环，增加了电镀液的流动性”、“第三循环部分的设置，既能控制电镀槽体A1的液面高度，同时能够实现将溢流出来的电镀药液回流至回流箱体A23”，以及“喷管A3的进液是从液面稳定的电镀槽体A1中提供，而不是直接从液面不稳定的回流箱体A23中提供，因此能够保住喷管A3单位时间内喷出来的电解液的量，以及液压均衡，电镀质量高”；由此可见，本专利的电镀槽装置通过各循环系统的设置在电镀槽体A1和回流箱体A23之间实现了内部循环，并且第三循环部分在控制电镀槽体A1的液面高度的同时也将溢流出的电镀药液回流至回流箱体A23，即控制电镀槽体A1液面始终处于稳定的状态；进一步地，在具体对待镀板在电镀槽体中进行电镀时，从电镀槽体A1中所设置的喷管A3中喷出电镀液，由于整个电镀槽装置实现了内部循环并且电镀槽体A1的液面稳定，使得液面始终高于喷管入口的位置并且供至喷管A3的电镀液保持稳定，进而能够保证喷管单位时间内喷出来的电镀液的量以及保持液压均衡；即，除请求人所强调的喷管的单位时间内电解液流量与相应的泵有关外，为喷管供液的电镀槽体A1的液面稳定性也会影响喷管的单位时间内电解液流量；基于此，本领域技术人员按照说明书所公开的内容能够清楚理解所述电镀槽所包括的各部件及其连接关系，以及电镀槽的工作状态和原理，并且基于各部件的配合来实现对电镀液的量和压力的控制，产生预期的技术效果，因此，权利要求1-14的技术方案已经在说明书中充分公开，符合专利法第26条第3款的规定。
4、关于专利法第26条第4款
专利法第26条第4款规定，权利要求书应当以说明书为依据，清楚、简要地限定要求专利保护的范围。
基于上述评述专利法第26条第3款的相同理由，权利要求1-14的技术方案能够产生预期的技术效果，得到了说明书的支持，符合专利法第26条第4款的规定。
5、关于专利法第22条第2款
专利法第22条第2款规定，新颖性，是指该发明或者实用新型不属于现有技术；也没有任何单位或者个人就同样的发明或者实用新型在申请日以前向国务院专利行政部门提出过申请，并记载在申请日以后公布的专利申请文件或者公告的专利文件中。
就本案而言，权利要求1要求保护一种电镀槽装置，包括供待镀板在其中电镀的电镀槽体(A1)，装有电镀药液的回流箱体(A23)，设置在所述电镀槽体(A1)内，对待镀板的表面进行喷镀的喷管(A3)，以及实现电镀槽体(A1)、回流箱体(A23)之间电镀药液循环的过滤循环系统，其特征在于：所述过滤循环系统包括由所述回流箱体(A23)向所述电镀槽体(A1)内供洁净电镀药液的第一循环部分，由所述电镀槽体(A1)向所述喷管(A3)供洁净电镀药液的第二循环部分，以及从所述电镀槽体(A1)中向所述回流箱体(A23)中溢流电镀药液的第三循环部分。
请求人认为，权利要求1-2的技术方案相对于证据1不具备新颖性。
经核，证据1公开了一种电镀设备，所述电镀设备包含内槽8，环绕内槽8且接受由内槽流出电镀液之外槽7，用来储存外槽中电镀液的储液槽12，连接储液槽12与内槽8的电镀液输送管21，设置在电镀液输送管21上且用来将电镀液射入内槽8至喷射泵13，喷射泵13透过过滤器14将储液槽12中的电镀液注入内槽8中，外槽7在其底表面设有电镀液排放口10及电镀液回流管11；喷嘴4 、5由具有过滤器14之第二侧管21分支出来。在内槽8中，当电镀液由底端往上喷出时，进行被设置在内槽8顶端的晶圆支架6所支撑的半导体基板2的电镀过程，同时作为移除附着在半导体基板2表面的气泡18的复数个喷嘴4、5被设置在内槽8中以便将电镀液由喷嘴射到基板上（参见证据1说明书第7页至第8页第1段，说明书附图1）；此外，证据1的说明书附图3为另一实施方式，其公开了储液槽12中的电镀液使用喷嘴排放泵26、26A供至喷嘴4、5。
将本专利的权利要求1与证据1进行对比可知，证据1的内槽8对应于本专利的电镀槽体A1，证据1的储液槽12对应于本专利的回流箱体A23，证据的1由喷射泵13和过滤器14组成的循环部分对应于本专利的第一循环部分，证据1的由外槽7、排放口10和电镀液回流管11组成的循环部分对应于本专利的第三循环部分；证据1的喷嘴4、5对应于本专利的喷管A3，但就权利要求1所限定的由电镀槽体A1向喷管A3供洁净电镀药液的第二循环部分，证据1图1的喷嘴4、5由具有过滤器14之第二侧管21分支出来，即供至喷嘴的电镀液是来自连接储液槽与内槽之间的第二侧管，同时就证据1图3的另一实施方式中，供至喷嘴的电镀液是从储液槽经喷嘴排放泵26A而来，这与本专利供至喷管的电镀液通过第二循环部分直接从电镀槽而来不同，由此可见，证据1未公开“由所述电镀槽体(A1)向所述喷管(A3)供洁净电镀药液的第二循环部分”，即二者存在区别技术特征，并且该区别技术特征导致二者的技术方案实质上不相同，因此权利要求1相对于证据1具备新颖性，符合专利法第22条第2款的规定。
权利要求2是权利要求1的从属权利要求，在权利要求1具备新颖性的基础上，权利要求2相对于证据1也具备新颖性。
5、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指同申请日以前已有的技术相比，该发明有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型有实质性特点和进步。
如果本专利的技术方案相对于最接近的现有技术存在区别技术特征，同时现有技术中不存在将所述区别技术特征应用到该最接近的现有技术中以解决本发明实际解决的技术问题的技术启示，则该技术方案具备创造性。
5.1关于权利要求1
如上评述新颖性所述，权利要求1与证据1的区别特征为：证据1未公开“由所述电镀槽体(A1)向所述喷管(A3)供洁净电镀药液的第二循环部分”。
请求人认为，（1）权利要求1相对于证据1和公知常识的结合不具备创造性，本领域技术人员容易想到直接将内槽内的电镀液直接抽至喷嘴实现循环；（2）权利要求1相对于证据1、证据2和公知常识的结合不具备创造性，证据2公开了电镀槽内部设有进液管，且设有数支喷管，喷管上设有数个喷嘴，以使经由过滤器送出的电镀液可由喷嘴喷出进入电镀槽的电镀液中，即证据2公开了电镀槽内电镀液提供至喷管的循环方式。
对此，合议组查明，本专利说明书背景技术提及，现有技术中电镀槽装置过滤循环系统仅是喷管喷出的液体经与电镀槽装置底部连接的管道；电镀槽装置内的溶液量和压力，以及喷管单位时间内的喷出量和压力不容易实现稳定和均衡，影响待镀板的电镀质量（参见本专利说明书第0004段），进一步地，在本专利说明书第0040段描述了由第一循环部分、第二循环部分以及第三循环部分组成的过滤循环系统；同时还就该过滤循环系统的设置，具体描述到“电镀液不仅可以在电镀槽体与回流箱体之间循环流动，同时也使得电镀液可以在电镀槽体内部循环，增加了电镀液的流动性”、“第三循环部分的设置，既能控制电镀槽体A1的液面高度，同时能够实现将溢流出来的电镀药液回流至回流箱体A23”，以及“喷管A3的进液是从液面稳定的电镀槽体A1中提供，而不是直接从液面不稳定的回流箱体A23中提供，因此能够保住喷管A3单位时间内喷出来的电解液的量，以及液压均衡，电镀质量高”；即，本专利采用在电镀槽体A1和回流箱体A23之间实现了内部循环的技术手段，使得电镀槽体A1的液面始终处于稳定的状态，在此基础上，通过第二循环部分从电镀槽体向喷管A3供应电镀液，其能够保证喷管单位时间喷出来的电解液的量以及保持液压均衡。而证据1中则明确提及，在内槽8中，当电镀液由底端往上喷出时，进行被设置在内槽8顶端的晶圆支架6所支撑的半导体基板2的电镀过程，同时作为移除附着在半导体基板2表面的气泡18的复数个喷嘴4、5被设置在内槽8中以便将电镀液由喷嘴射到基板上（参见证据1说明书第7页第1段），即证据1是通过将半导体基板2置于晶圆支架6上，内槽8中的电镀液由底端向上喷出接触该半导体基板，进而实现电镀，而喷嘴4、5尽管喷出的是电镀液，但其作用为移除气泡，供至喷嘴4、5的电镀液或来自连接储液槽与内槽之间的第二侧管，或来自储液槽，其并不关注供液稳定性。
由此可见，本专利权利要求1相对于证据1实际解决的技术问题是提供能够保证喷管单位时间喷出来的电解液的量以及保持液压均衡的电解槽装置，在本专利中，上述技术问题的解决是通过在过滤循环系统中设置第二循环部分以及由电镀槽体A1向喷管A3供电镀液来实现的。
证据2公开了一种电镀槽，其内部设有进液管，且在电路板通过的两侧直立设有数支喷管，各喷管上设有数个喷嘴，以使经由过滤器送出的电镀液可由喷嘴喷出进入电镀槽的电镀液中，以提高整个电镀槽内电镀液的流动性（参见证据2的说明书第6页第1段、附图1）。由此可见，尽管证据2中设有与电镀槽直接相连的喷管，电镀槽中的电镀液通过喷管上的喷嘴直接喷镀，然而证据2中是单一的电镀槽，并不涉及电镀槽与其他容器如回流箱的循环，其关注的仅仅是单一电镀槽中电镀液的稳定性，并不关注从包括多个部件的电镀槽装置中供至喷管的电镀液的液面是否处于稳定状态，即证据2并未给出在过滤循环系统中设置第二循环部分以由电镀槽体A1向喷管A3供电镀液替换从第二侧管或储液槽向喷管A3供电镀液，来实现保证喷管单位时间喷出来的电解液的量以及保持液压均衡的技术启示；此外，目前也无证据表明在这类电镀槽装置中通过在过滤循环系统中设置第二循环部分属于本领域技术人员的常规技术手段。
因此，权利要求1相对于证据1与公知常识、证据1、证据2和公知常识的结合均具有实质性特点和进步，符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
5.2关于权利要求2-9
请求人主张，权利要求2的附加技术特征被证据1公开，权利要求3、5、8、12-13的附加技术特征为公知常识，权利要求4的附加技术特征被证据1或证据2公开，权利要求6的附加技术特征被证据3公开或为公知常识，权利要求7的附加技术特征被证据4公开，权利要求9的附加技术特征被证据2公开，权利要求10-11的附加技术特征被证据2、证据5公开或为公知常识，权利要求14的附加技术特征被证据5公开。
合议组查明，证据3公开了一种印制线路板用电镀装置，其包括主槽、副槽、循环过滤泵、控制器、压力表、排气管，所述排气管连通至所述副槽内，其上设有连接所述控制器的电磁阀（参见证据3的说明书第2页第2段）；证据4公开了一种电镀用添加铜球的装置，其包括添加盒、圆孔、导向管等部件，其中添加盒的底面上，开有若干圆孔，圆孔的下方固定有导向管，所述导向管能够插入钛篮内（参见证据4的说明书第0004段）；证据5公开了一种电镀槽过滤循环系统，包括设置在电镀槽内的过滤装置和喷管组件，其中喷管上的喷嘴在竖直方向上交错排列（参见证据5的权利要求1和附图2）。
由此可见，证据2-5均未给出在过滤循环系统中设置第二循环部分以由电镀槽体A1向喷管A3供电镀液替换从第二侧管或储液槽向喷管A3供电镀液，来实现保证喷管单位时间喷出来的电解液的量以及保持液压均衡的技术启示。
故，在独立权利要求1具备创造性时，从属权利要求2-14也具备创造性，符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
基于上述事实和理由，合议组作出如下审查决定。
三、决定
维持201520025786.2号 实用新型专利权有效。
当事人对本决定不服的，可以根据专利法第46条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。根据该款的规定，一方当事人起诉后，另一方当事人作为第三人参加诉讼。
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