发明创造名称：用于群集系统的传送室
外观设计名称：
决定号：14967
决定日：2010-06-04
委内编号：4W02929
优先权日：
申请（专利）号：200410046182.2
申请日：
复审请求人：
无效请求人：美国AKT公司
授权公告日：
审定公告日：
专利权人：周星工程股份有限公司
主审员：
合议组组长：朱芳芳
参审员：汤锷
国际分类号：H01L21/00，G03F7/20
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第2款
决定要点：在一件发明专利的新颖性判断中，由他人在该发明的申请日以前向国务院专利行政部门提出并且在申请日以后公布的同样的发明专利文件，破坏该发明的新颖性。这种申请在先、公开在后的破坏一件发明专利新颖性的专利文件称为该发明的“抵触申请”。抵触申请与其所针对的发明相比，二者所属的技术领域、所要解决的技术问题相同、技术方案实质相同，以及预期效果相同。
全文：
一、案由
本无效宣告请求案涉及国家知识产权局于2008年03月12日授权公告的、名称为“用于群集系统的传送室”的第200410046182.2号发明专利（下称本专利），其优先权日为2003年06月02日，申请日为2004年06月02日，专利权人为周星工程股份有限公司。本专利授权公告时的权利要求书如下：
“1．一种用于群集系统的传送室，其特征在于：所述传送室包括：
第一主体；
附着于该第一主体的一个侧面的第二主体；以及
与该第一主体的上部结合的盖。
2．根据权利要求1的传送室，其特征在于：该传送室具有六角柱、七角柱和八角柱的形状之一。
3．根据权利要求1或2的传送室，其特征在于：该第一主体具有六面体的形状。
4．根据权利要求1的传送室，其特征在于：该第二主体具有三角柱和矩形柱的形状之一。
5．根据权利要求1的传送室，其特征在于：该第二主体的上侧和下侧具有梯形的形状。
6．根据权利要求1的传送室，其特征在于：密封圈被插入在该第一主体和该第二主体之间。
7．根据权利要求1的传送室，其特征在于：密封圈被插入在该第一主体和该盖之间。
8．根据权利要求1的传送室，其特征在于：所述传送室进一步包括在面向该第二主体的该第一主体的另一个侧面处的第三主体。
9．根据权利要求8的传送室，其特征在于：该第三主体具有与该第二主体相同的形状。
10、一种用于集群系统的传送室，其包括：
包括上表面和多个侧面的单片形状的第一主体，所述上表面具有第一开口以及至少一个侧面具有第二开口；
与所述第一开口结合的盖；以及
第二主体，其具有与所述第二开口结合的第三开口。
11、如权利要求10所述的传送室，还进一步包括在所述第一开口和所述盖之间的第一密封圈以及在所述第二开口和第三开口之间的第二密封圈。
12、如权利要求11所述的传送室，其中所述第一和第二密封圈可与所述第一主体、盖以及第二主体相分离。
13、如权利要求10所述的传送室，其中所述多个侧面包括两个第一相对侧面和两个第二相对侧面，其中所述的两个第一相对侧面具有所述第二开口并且被连接到所述第二主体的所述第三开口，并且其中所述两个第二相对侧面分别被连接到装载锁定室和处理室。
14、如权利要求10所述的传送室，其中所述第二主体包括第一侧面和至少一个第二侧面，并且其中第一侧面具有所述第三开口以及所述至少一个第二侧面被连接到处理室和预热室的其中之一。
15、如权利要求10所述的传送室，其进一步包括在所述第一主体中的自动传递装置以运输和返回基板。
16、如权利要求10所述的传送室，其中通过结合所述第二开口和所述第三开口所形成的空间作为临时存储的位置和用于运输和返回基板的通道。
17、如权利要求10所述的传送室，其中所述结合的第一和第二主体具有六角柱、七角柱和八角柱形中的其中之一。
18．如权利要求17所述的传送室，其中具有六角形的所述传送室包括六角形的第一主体和三角柱形的两个第二主体。
19、一种用于集群系统的传送室，其包括：
包括上表面和多个侧面的第一主体，所述上表面具有第一开口并且至少一个侧面具有第二开口；
与所述第一开口结合的盖；
单片形状的第二主体，其具有与所述第二开口相对并结合的第三开口。
20、一种用于集群系统的传送室，其包括：
包含上表面和多个侧面的单片形状的第一主体，所述上表面具有第一开口并且至少一个侧面具有第二开口；
与所述第一开口结合的盖；
单片形状的第二主体，其具有与所述第二开口结合的第三开口。
21、一种用于集群系统的传送室，其包括：
包含上表面、第一侧面和第二侧面的单片形状的第一主体，所述上表面具有第一开口并且每个所述第一和第二侧面具有第二开口；
与所述第一开口结合的盖；
两个第二主体，其具有与所述第一和第二侧面的第二开口结合的第三开口。”
针对本专利，应用材料股份有限公司（下称请求人Ⅰ）于2009年11月18日向专利复审委员会提出了无效宣告请求（委内编号为4W02850），美国AKT公司（下称请求人Ⅱ）、应用材料（中国）有限公司（下称请求人Ⅲ）和应用材料东南亚私人有限公司（下称请求人Ⅳ）分别于2010年01月13日同时向专利复审委员会提出了无效宣告请求（委内编号依次为4W02928、4W02929、4W02930）。请求人Ⅰ-Ⅳ所提出的具体无效理由和所提交的附件均相同，具体如下：本专利的权利要求1-21不符合专利法第22条第2款的规定，权利要求1、10、19、20、21不符合专利法第26条第4款的规定，权利要求2、4、10-21不符合专利法第33条的规定，权利要求1、5、8、10、13、17、19、20、21不符合专利法实施细则第20条第1款的规定，权利要求1、10、19、20、21不符合专利法实施细则第21条第2款的规定，据此请求宣告本专利权利要求全部无效，同时提交了以下附件：
附件1：本专利的授权公告文本复印件共12页；
附件2：中国第200410071433.2号发明专利申请公开说明书，优先权日为2003年05月08日，复印件共13页（下称证据1）；
附件3：国家知识产权局专利检索咨询中心针对本专利的检索报告复印件共6页（下称证据2）；
附件4：声称为针对本专利的相应韩国专利的无效决定复印件共9页（下称证据3）；
附件5：声称为针对本专利的相应台湾地区专利的无效决定复印件共7页（下称证据4）。
请求人Ⅰ-Ⅳ均认为：
（1）证据1可以作为本专利的抵触申请，本专利的权利要求1-21相对于证据1不具备新颖性。
（2）权利要求1、10、19、20、21没有限定第一主体的具体形状、第一主体和第二主体的结合方式、且未包含第三主体，但是说明书中仅给出了第一主体为六面体、第一主体和第二主体经由O形环连接、且包含第三主体的实施例，因此上述权利要求概括的保护范围过宽，得不到说明书的支持。
（3）权利要求2、4、10-21中对于具体形状的修改超出了原始申请文件记载的范围。
（4）权利要求1、5、8、10、13、17、19、20、21没有限定第一主体的具体形状，也未限定第一主体和第二主体的结合方式，因此其保护范围不清楚。
（5）权利要求1、10、19、20、21没有限定第一主体和第二主体的形状、构造和功能，也未限定第一主体和第二主体的结合方式，因此缺少用于解决其技术问题的必要技术特征。
经形式审查合格，专利复审委员会于2010年02月01日受理了上述无效宣告请求并将无效宣告请求书及附件副本转给了专利权人，同时成立合议组对本案进行审查。
专利权人针对上述无效宣告请求于2010年03月04日提交了意见陈述书和权利要求书的修改替换页（共8项权利要求），其中专利权人将原权利要求8作为修改后的独立权利要求1、并删除原权利要求1和10-21，并提交以下反证：
反证1：声称为台湾地区智慧财产法院行政判决（98年度行专诉字第75号）复印件共24页；
反证2：公开号为US2006/0051507A1的美国专利申请公开文本复印件共29页；
反证3：中国第200610128922.6号发明专利说明书复印件共22页。
专利权人认为：
（1）证据2不是行政机关的行政行为，因此不能直接作为判断本专利有效或者无效的依据；证据3没有中文译文，应视为未提交；证据4并非最终结论，已被发回重审（参见反证1）。
（2）从反证2和3中可以看出，证据1具有“额外的密封接口会裂化及/或渗漏”以及“开口部周围的强度不足，难以确保作为真空腔室的刚性”等技术缺陷；此外，修改后的权利要求1中的第一、第二、第三主体均为不可拆解的单一构件，而证据1所揭示的主体和侧面机架是可拆解的，且排除固定式组装，因此本专利与证据1揭示的内容不同，其相应的发明目的和技术效果也不同。因此修改后的权利要求1-8具备新颖性。
（3）尽管本专利的说明书仅揭示了第一主体具有六面体的形状，但是说明书在最后一段中同时说明“在不脱离本发明的精神或范围的条件下，对于所属技术领域人员很明显可以进行各种更改和改变”，也就是说第一主体也可以是其它形状的；其次，对于一个具体形状的传送室，如将其分解成三个主体部分分别制造、运输，然后再将各个主体连接组装，本领域技术人员可以想到业内熟知的各种组合方法来实现主体间的结合并实现密封且并不需要付出任何创造性劳动；此外，修改后的权利要求1中加入了包含第三主体的特征。因此，修改后的权利要求1的上述限定能够得到说明书的支持。
（5）修改后的权利要求2和4中对于具体形状的修改并未超出原始申请文件记载的范围。
（6）由于第一主体、第二主体及第三主体都是具有三维形状的物体，本领域人员很容易就能够理解具有三维形状的物体之间如何在侧面处和／或上部进行结合；而且，修改后的权利要求1中新加入的第三主体的位置特征也是清楚的。因此，修改后的权利要求1和5是清楚的。
（7）第一主体、第二主体和第三主体的形状、构造和功能，以及第一主体和第二主体之间的具体连接位置、连接关系对于解决本专利中的技术问题并不是必须的，因此修改后的权利要求1并不缺少必要技术特征。
修改后的权利要求书为：
“1．一种用于群集系统的传送室，其特征在于：所述传送室包括：
第一主体；
附着于该第一主体的一个侧面的第二主体；
在面向该第二主体的该第一主体的另一个侧面处的第三主体；以及
与该第一主体的上部结合的盖。
2．根据权利要求1的传送室，其特征在于：该传送室具有六角柱、七角柱和八角柱的形状的之一。
3．根据权利要求1或2的传送室，其特征在于：该第一主体具有六面体的形状。
4．根据权利要求1的传送室，其特征在于：该第二主体具有三角柱和矩形柱的形状之一。
5．根据权利要求1的传送室，其特征在于：该第二主体的上侧和下侧具有梯形的形状。
6．根据权利要求1的传送室，其特征在于：密封圈被插入在该第一主体和该第二主体之间。
7．根据权利要求1的传送室，其特征在于：密封圈被插入在该第一主体和该盖之间。
8．根据权利要求1的传送室，其特征在于：该第三主体具有与该第二主体相同的形状。”
专利复审委员会本案合议组于2010年04月16日向双方当事人发出了口头审理通知书，定于2010年05月 11日对于针对本专利的四件无效宣告请求（委内编号为4W02850、4W02928、4W02929、4W02930）举行合并口头审理。
口头审理如期举行，双方当事人均出席了本次口头审理。在口头审理过程中：
（1）双方当事人对合议组成员变更无异议，对合议组成员以及书记员没有回避请求，对对方出庭人员身份无异议，对合议组成员变更无异议。
（2）合议组明确本次口头审理的基础为专利权人于2010年03月04日提交的权利要求第1－8项。
(3)请求人Ⅰ-Ⅳ放弃将证据3和4作为证据使用。请求人Ⅰ-Ⅳ对反证2的真实性无异议，但认为专利人在2010年03月04日提交的意见陈述书第3页第1段倒数第7行-最后1行中引用的中文译文不能视为正式提交的反证2的中文译文，在假设其可视为正式提交的译文的情况下，对其准确性无异议。请求人Ⅰ-Ⅳ对反证3的真实性、合法性、公开性无异议。专利权人放弃使用反证1。专利权人对证据1的真实性、合法性、公开性无异议，对证据2的真实性无异议。请求人Ⅰ-Ⅳ放弃本专利不符合专利法第33条的无效理由。请求人Ⅰ-Ⅳ表示已经当庭针对专利权人于2010年3月4日提交的意见陈述以及权利要求的修改替换页充分发表意见，不再提交书面意见答辩。
（4）双方当事人对于专利法第26条第4款、专利法实施细则第20条第1款、专利法实施细则第21条第2款的无效理由的陈述意见与无效宣告请求书和意见陈述书中的书面意见相同。
（5）双方当事人对本专利和证据1的优先权日均无异议。专利权人认为：本专利所解决的技术问题是容易安装和能够运送大尺寸基板，而证据1中除此之外，还有安装后仍可轻易改变真空室的尺寸和形状；为此，本专利将传送室分解成4个单一构件，仅需要三个密封接合，从而可以容易安装及运送，并能轻易达到真空要求，接合面少，故障率低，维修成本低，而证据1中将传送室分解为9个单一构件，需要8个密封接口，运送次数多，不易达到真空要求，安装不易，接合面多，易故障，维修成本高。因此，本专利和证据1的技术问题、技术方案、效果均不同。请求人Ⅰ-Ⅳ认为:本专利和证据1的发明目的实质上相同，均为提供一种可分离的传送室，以简化其制造和运输；从该发明目的出发，本专利将传送室分解为第一主体、第二主体和第三主体，并不涉及主体是否可拆分，而且本专利的说明书和所有权利要求都未限定或教导三个主体是不可拆分的，因此证据1完全公开了权利要求1的技术方案，且能达到相同的效果。此外，反证2和反证3所公开的内容与本专利无关，且其公开日晚于本专利的优先权日，因此不能用于说明本专利所要解决的技术问题。
至此，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
1、关于审查文本
专利权人于2010年03月04日提交了权利要求书的修改替换页（共8项权利要求），其中专利权人将原权利要求8作为修改后的独立权利要求1、并删除原权利要求1和10-21。经审查，上述修改属于权利要求的合并和删除，符合专利法实施细则第69条和审查指南第四部分第三章第4.6节中的关于无效程序中专利权人对权利要求的修改的相关规定。因此，本决定所依据的审查文本是本专利授权公告的说明书第1-5页、附图第1-3页、说明书摘要及摘要附图，和于2010年03月04日提交的权利要求第1-8项。
2、关于证据的认定
证据1是中国发明专利说明书，属于公开出版物，专利权人对证据1的真实性、合法性、公开性无异议，且双方当事人对本专利和证据1的优先权日均无异议，由于证据1的优先权日期2003年05月08日早于本专利的优先权日期2003年06月02日，证据1的公开日期2005年02月02日晚于本专利的优先权日期，并且证据1与本专利的申请人不相同，因此证据1可以用作评述本专利的新颖性的抵触申请。
专利权人共提交了3份反证。专利权人放弃使用反证1，因此合议组对反证1不予评述。反证2是美国专利申请公开文本，反证3是中国发明专利说明书，均属于公开出版物，请求人Ⅰ-Ⅳ对反证2的真实性无异议，对反证3的真实性、合法性、公开性无异议，但认为专利人在2010年03月04日提交的意见陈述书第3页第1段倒数第7行-最后1行中引用的中文译文不能视为正式提交的反证2的中文译文，在假设其可视为正式提交的译文的情况下，对其准确性无异议。对此，合议组认为：专利权人在意见陈述书中所引用的反证2的中文译文可以视为正式提交的中文译文，但是根据审查指南第四部分第八章第2.2.1中关于“当事人可以仅提交外文证据的部分中文译文，该外文证据中没有提交中文译文的部分，不作为证据使用”的规定，反证2中仅提交了中文译文的第[0095]段可以作为证据使用。
3、关于新颖性
专利法第22条第2款规定；新颖性，是指在申请日以前没有同样的发明或者实用新型在国内外出版物上公开发表过、在国内公开使用过或者以其他方式为公众所知，也没有同样的发明或者实用新型由他人向国务院专利行政部门提出过申请并且记载在申请日以后公布的专利申请文件中。
在一件发明专利的新颖性判断中，由他人在该发明的申请日以前向国务院专利行政部门提出并且在申请日以后公布的同样的发明专利文件，破坏该发明的新颖性。这种申请在先、公开在后的破坏一件发明专利新颖性的专利文件称为该发明的“抵触申请”。抵触申请与其所针对的发明相比，二者所属的技术领域、所要解决的技术问题相同、技术方案实质相同，以及预期效果相同。
（1）关于权利要求1
就本案而言，权利要求1请求保护一种用于群集系统的传送室，其特征在于：所述传送室包括：第一主体；附着于该第一主体的一个侧面的第二主体；在面向该第二主体的该第一主体的另一个侧面处的第三主体；以及与该第一主体的上部结合的盖。
证据1中公开了一种用于真空处理装置的真空室，其作为传送室，该传送室（相当于权利要求1中的用于群集系统的传送室）具有装在拥有六个处理室的多室单基片型溅射沉积装置的中心部位的基片自动传送装置（参见说明书第3页第10-13行），通过组装分别分为三组的组件（其中装有自动传送装置的室主体2（相当于权利要求1中的第一主体），及其两侧的侧面机架3a和3b（相当于权利要求1中的第二主体和第三主体））而制得真空室（参见说明书第4页第20-21行），顶板5（相当于权利要求1中的盖）连到室主体2的顶部（参见说明书第4页第3行），而且由图1可以明确看出，侧面机架3a和3b布置在室主体2的相对两侧。于是，即使当制造使用大尺寸基片的大尺寸真空室时，仍然能够保持分开的室主体和侧面机架3a和3b的尺寸很小，由此能够通过常规机床而不用大尺寸的定做的机床来容易地制造大尺寸的真空时，所以能够实现成本降低（参见说明书第22-24行），而且能够容易地通过普通拖车等把每个这些分开的组件运输到安装位置，并能够在安装位置容易地组装它们（参见说明书第4页第30行-第5页第2行）。
由此可见，证据1所公开的技术方案与本专利权利要求1的技术方案实质相同，所属技术领域的技术人员根据两者的技术方案可以确定两者能够适用于相同的技术领域，解决相同的技术问题，并预期具有相同的效果。因此，相对于权利要求1而言，证据1是他人申请在先、公开在后的相同的发明，故构成了权利要求1的抵触申请，破坏了权利要求1的新颖性。
专利权人认为：（1）本专利中将传送室分解为三个主体和一个顶盖，其中三个主体均为单一构件、不可拆分，因此仅需要三个密封接合，从而能够轻易达到真空要求，接合面少，故障率低，维修成本低，而证据1中将传送室分解为9个单一构件，即室主体2和侧面机架3a、3b并非单一构件、可以拆分，因此需要8个密封接口，不易达到真空要求，接合面多，易故障，维修成本高。（2）反证2和反证3用于证明证据1的方案接合面多，因此难以达到真空度的要求，是“不堪用”的方案。
对此，合议组认为：（1）首先，权利要求1中并未明确限定第一、第二和第三主体均为不可拆分的单一构件；其次，本专利说明书第2页最后1行-第3页第1行中记载了其所要解决的技术问题是“很难制造一个主体与其它室的大传送室，即使制造出一个主体与其它室的大传送室，但是有一些缺点，制造成本增加且不容易传送该室”，为此，说明书第4页第8-9行中记载了其所采取的技术方案是“在图3和图4中，传送室300包括第一主体320、盖380、第二主体340和第三主体360，在图的前后关系中该盖380与该第一主体320的上部连接，该第二和第三主体340和360与彼此相对的第一主体320的侧面连接”,并在说明书第5页第25-27行中记载了其所能达到的技术效果是“在本发明中，用于群集系统的传送室被制造成可拆式结构，并且容易获得用于大尺寸基板的间隙。另外，制造成本降低，并且容易安装和输送该群集系统”。由此可见， 本专利通过将传送室分解为多个部件从而能够解决其所要解决的技术问题并获得其所要达到的技术效果，至于分解后的多个部件自身是否可拆分，本专利中的说明书和权利要求书中并未作出相应的限定或教导，此外本专利中也未涉及专利权人所称的真空度、故障率、维修成本等内容。（2）反证2和3仅能说明证据1的技术方案存在未能解决的真空度等问题，但是由于证据1旨在解决且实际上解决了大尺寸真空室的制造和运输问题，因此反证2和3并不能证明证据1的方案“不堪用”；此外，反证2和3并不能证明本专利所要解决的技术问题包括真空度问题。
综上所述，权利要求1不具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
（2）关于权利要求2-8
权利要求2引用权利要求1，进一步限定“该传送室具有六角柱、七角柱和八角柱的形状的之一”。证据1的图1、6和7中分别示出了真空室1（相当于权利要求2中的传送室）具有六角柱、七角柱和八角柱的形状。由此可见，权利要求2的附加技术特征也被证据1公开。因此，当其引用的权利要求不具备新颖性时，权利要求2也不具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
权利要求3引用权利要求1或2，进一步限定“该第一主体具有六面体的形状”。证据1中（参见证据1的说明书第3页第14行、第19行、第5页第5行、第5页第7-8行、第5页第14行、第5页第21行）公开了：矩形空间的中央室主体2、或矩形室主体2；且在图2中明确示出室主体2具有六面体形状。由此可见，权利要求3的附加技术特征也被证据1公开。因此，当其引用的权利要求不具备新颖性时，权利要求3也不具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
权利要求4引用权利要求1，进一步限定“该第二主体具有三角柱和矩形柱的形状之一”。证据1的图1示出了具有三角柱形状的侧面机架3a和3b；证据1的图3示出了具有矩形柱形状的侧面机架12a和l2b。由此可见，权利要求4的附加技术特征也被证据1公开。因此，当其引用的权利要求不具备新颖性时，权利要求4也不具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
权利要求5引用权利要求1，进一步限定“该第二主体的上侧和下侧具有梯形的形状”。证据1的图6示出了侧面机架的上侧和下侧18具有梯形的形状。由此可见，权利要求5的附加技术特征也被证据1公开。因此，当其引用的权利要求不具备新颖性时，权利要求5也不具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
权利要求6引用权利要求1，进一步限定“密封圈被插入在该第一主体和该第二主体之间”。证据1中（参见证据1的说明书第3页第30行-第4页第1行）公开了：通过O形环10a和10b（相当于权利要求6中的密封圈）将这些侧面机架3a和3b分别连到室主体2的两个侧面的各个开口上。由此可见，权利要求6的附加技术特征也被证据1公开。因此，当其引用的权利要求不具备新颖性时，权利要求6也不具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
权利要求7引用权利要求1，进一步限定“密封圈被插入在该第一主体和该盖之间”。证据1中（参见证据1的说明书第4页第3行）公开了：通过O形环10c（相当于权利要求7中的密封圈）把顶板5连到室主体2的顶部。由此可见，权利要求7的附加技术特征也被证据1公开。因此，当其引用的权利要求不具备新颖性时，权利要求7也不具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
权利要求8引用权利要求1，进一步限定“该第三主体具有与该第二主体相同的形状”。证据1的图2中示出了侧面机架3a和3b具有相同的三角柱状，图3中示出了侧面机架12a和12b具有相同的矩形柱状。由此可见，权利要求8的附加技术特征也被证据1公开。因此，当其引用的权利要求不具备新颖性时，权利要求8也不具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
综上所述，权利要求1-8全部不具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
4、关于其他无效宣告的具体理由
由于依据证据1已经得出权利要求1-8不具备新颖性、应当被宣告无效的结论，因此合议组对于请求人提出的其它无效宣告的具体理由和证据不再评述。
根据上述事实和理由，合议组作出如下审查决定。
三、决定
宣告第200410046182.2号发明专利权全部无效。
当事人对本决定不服的，可以根据专利法第46条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京市第一中级人民法院起诉。根据该款的规定，一方当事人起诉后，另一方当事人作为第三人参加诉讼。
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