发明创造名称：照明装置、曝光装置及微元件的制造方法
外观设计名称：
决定号：18312
决定日：2012-03-21
委内编号：4W100981
优先权日：2004-09-22
申请（专利）号：200580023679.5
申请日：2005-09-21
复审请求人：
无效请求人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
授权公告日：2009-01-14
审定公告日：
专利权人：尼康股份有限公司
主审员：张媛媛
合议组组长：樊晓东
参审员：陶应磊
国际分类号：H01L21/027,G02B27/14,G02B17/00,G02B27/18
外观设计分类号：
法律依据：专利法第26条第4款
决定要点
：在说明书中记载的技术方案中对某些条件需要进行特别限定时才能实现该发明的发明目的，而权利要求中并未对这些条件进行限定时，如果通过合理推导表明没有进行特别限定的条件并不都能实现其发明目的，则认为该权利要求涵盖了不能解决其技术问题、实现发明目的的保护范围，那么该权利要求得不到说明书的支持。
全文：
本无效宣告请求涉及专利号为200580023679.5，发明名称为“照明装置、曝光装置及微元件的制造方法”的发明专利（下称本专利）。本专利的优先权日为2004年09月22日，申请日为2005年09月21日，授权公告日为2009年01月14日，专利权人为尼康股份有限公司。本专利授权公告时的权利要求书如下：
“1. 一种照明装置，是以光源所射出的照明光来照明被照射面，其特征在于，具备：
反射型复眼光学系统，配置于该光源与被照射面间，且由用以将光源的光束波面分割后叠合于被照射面上的复数个部分反射型光学系统所构成；及
反射型光学系统，配置于该光源与反射型复眼光学系统间，用以将该照明光往该反射型复眼光学系统导引；
该反射型光学系统，该反射型光学系统的反射面至少一部分是由扩散面所构成。
2. 如权利要求1所述的照明装置，其特征在于，该扩散面的扩散角形成为通过该扩散面从扩散面的1点所扩散的光束到达该反射型复眼光学系统入射面的范围的半值宽度对该复眼光学系统的入射径D的比值为D/2～D/100的角度。
3. 如权利要求2所述的照明装置，其特征在于，表示与该扩散面形状的PSD(功率谱密度)值高频区域对应的扩散面的表面粗糙度的RMS值，比照明光的波长的1/14小。
4. 如权利要求1或2所述的照明装置，其特征在于，该扩散面形状的PSD值与分形曲线的PSD值的差值，是于高频区域中比高频区域低的其它频率区域为小。
5. 如权利要求3所述的照明装置，其特征在于，若将该反射型复眼光学系统的入射面的直径设为D，从该反射光学系统至该反射型复眼光学系统的入射面的距离设为L，并将该照明光波长设为λ，则该高频区域与比该高频区域低的其它频率区域的边界值，比D/2λL低。
6. 如权利要求3所述的照明装置，其特征在于，若将反射型复眼光学系统的入射面的直径设为D，从该反射光学系统至该反射型复眼光学系统的入射面的距离设为L，并将该照明光的波长设为λ，则该高频区域与中间频率区域的边界值，比D/100λL高。
7. 如权利要求1或2所述的照明装置，其特征在于，该扩散面具有比1mm间距细的间距，粗糙度为0.5～3nmRMS。
8. 如权利要求1或2所述的照明装置，其特征在于，该照射于被照射面的光束是波长为5～40nm的EUV光。
9. 一种曝光装置，用以将掩膜图案转印至感光性基板上，其特征在于，具备：用以照明该掩膜的权利要求1至8项中任一项的照明装置。
10. 一种微元件的制造方法，其特征在于，包含：
曝光步骤，使用权利要求9的曝光装置，将掩膜图案曝光于感光性基板上；及
显影步骤，将该曝光步骤所曝光的该感光性基板显影。”
针对上述发明专利权，卡尔蔡司SMT有限责任公司（下称请求人）于2011年06月09日向专利复审委员会提出了无效宣告请求，其理由是：权利要求2、3和7未清楚限定要求专利保护的范围，不符合专利法实施细则第20条第1款的规定；权利要求1-8得不到说明书的支持，不符合专利法第26条第4款的规定；权利要求1缺乏必要的技术特征，不符合专利法实施细则第21条第2款的规定；权利要求2、7的修改超出了原申请所记载的范围，不符合专利法第33条的规定；权利要求1和8-10不具备新颖性和创造性，不符合专利法第22条第2、3款的规定，请求宣告本专利权利要求1-10无效，同时提交了如下附件：
附件1（下称对比文件1）：公开号为US2003/002022A1、公开日为2003年01月02日的美国专利申请公开说明书全文及其部分中文译文复印件，共49页；
附件2（下称对比文件2）：公开号为CN1400507A、公开日为2003年03月05日的中国发明专利申请公开说明书全文复印件，共44页；
附件3（下称对比文件3）：公开号为US2002/0009178A1、公开号为2002年01月24日的美国专利申请公开说明书全文及其部分中文译文复印件，共10页；
附件4本专利说明书全文复印件，共22页。
请求人认为：（1）权利要求2中的“该扩散面的扩散角形成为通过该扩散面从扩散面的1点所扩散的光束到达该反射型复眼光学系统入射面的范围的半值宽度对该复眼光学系统的入射径D的比值为D/2～D/100的角度”中物理量的量纲存在矛盾，权利要求3中的“高频区域”含义不确切，权利要求10中的“扩散面具有比1mm间距细的间距”含义不确切，因此上述权利要求不符合专利法实施细则第20条第1款的规定。（2）权利要求1、2、3、5-8中均未限定扩散面的特定方式，权利要求4中没有限定分形曲线的特定方式，权利要求7中的附加技术特征与说明书的记载不一致，因此上述权利要求不符合专利法第26条第4款的规定。（3）权利要求1中缺乏解决技术问题所必须的对于扩散面的限定，不符合专利法实施细则第21条第2款的规定。（4）权利要求2中的“该扩散面的扩散角形成为通过该扩散面从扩散面的1点所扩散的光束到达该反射型复眼光学系统入射面的范围的半值宽度对该复眼光学系统的入射径D为D／2-／l00的角度”修改为原说明书和权利要求书没有记载的“该扩散面的扩散角形成为通过该扩散面从扩散面的1点所扩散的光束到达该反射型复眼光学系统入射面的范围的半值宽度对该复眼光学系统的入射径D的比值为D／2-／l00的角度”，权利要求7中修改后的特征“扩散面具有比1mm间距细的间距，粗糙度为0.5～3nmRMS”超出了原始申请文件中记载的“扩散面的面粗糙度比1mm间距细的间距的粗糙度为0.5～3nmRMS”范围，上述权利要求的修改不符合专利法第33条的规定。（5）权利要求1相对于对比文件1或对比文件2不具备新颖性，权利要求1相对于对比文件1和对比文件3的结合、或对比文件2和对比文件3的结合均不具备创造性。权利要求8引用权利要求1或2，其附加技术特征分别被对比文件1和2所披露；权利要求9引用权利要求1-8中任一项，其附加技术特征被对比文件2披露；权利要求10引用权利要求9，其附加技术特征被对比文件2所披露，因此在其引用的权利要求不具备新颖性或创造性时，权利要求8-10也不具备新颖性或创造性。
经形式审查合格，专利复审委员会于2011年06月30日受理了上述无效宣告请求并将无效宣告请求书及证据副本转给了专利权人，同时成立合议组对本案进行审查。
专利权人针对上述无效宣告请求于2011年08月15日提交了意见陈述书，并认为：（1）权利要求2中的“比值”指的是半值宽度对入射径的比值，权利要求3中的“高频区域”在本领域具有公认的确切含义，权利要求7中的“间距”指的是加工表面中多个波峰的两波峰之间的距离，因此上述权利要求的记载是清楚的。（2）本领域技术人员根据说明书第8页第3段中的记载即可理解权利要求1、2、3、5-8中的“扩散面”的构成，根据说明书第9页第2段中的记载即可理解权利要求4中所记载的技术特征的技术意义，根据说明书第5页第3段的记载即可理解权利要求7的内容，因此上述权利要求能够得到说明书的支持。（3）本领域技术人员根据说明书的记载即可明了权利要求1中的“反射面”所能包括的范围，并可得知如何通过权利要求1的技术内容来解决技术问题并达成本专利的技术效果，因此权利要求1已经记载了必要技术特征。（4）权利要求2和7的修改是根据说明书的记载作出的，并于审查过程中已被审查员所允许，因此上述权利要求的修改并不超范围。（5）对比文件1和2中均未揭露或隐含权利要求1的特征“配置于该光源与反射型复眼光学系统间，用以将该照明光往该反射型复眼光学系统导引；该反射型光学系统，该反射型光学系统的反射面至少一部分是由扩散面所构成”，对比文件3中并未揭露或隐含将反射镜如权利要求1般配置与光源与反射性复眼光学系统之间的技术特征，因此，将对比文件1-3加以组合也无法达成权利要求的作用效果，因此权利要求1相对于对比文件1-3均具备新颖性和创造性。在权利要求1具有新颖性及创造性的情形下，引用其的权利要求8-10也具有新颖性和创造性。
专利复审委员会本案合议组于2011年08月26日将专利权人提交的上述意见陈述书转送给请求人，并于同日向双方当事人发出了口头审理通知书，定于2011年10月12日举行口头审理。
口头审理如期举行，双方当事人均出席了本次口头审理。在口头审理过程中，
（1）双方当事人对方出庭人员身份无异议，对合议组成员及书记员无回避请求，对合议组成员变更无异议。
（2）请求人明确其无效理由为：权利要求2、3、7不符合专利法实施细则第20条第1款的规定。权利要求1-8不符合专利法第26条第4款的规定。权利要求1不符合专利法实施细则第21条第2款的规定。权利要求2、7不符合专利法第33条的规定。权利要求1相对于对比文件1或2不具备新颖性；权利要求8相对于对比文件1或2不具备新颖性；权利要求9、10相对于对比文件2不具备新颖性。权利要求1相对于对比文件1、3的结合不具备创造性，权利要求1相对于对比文件2、3结合不具备创造性；权利要求8的附加技术特征被对比文件1或2公开，权利要求9、10的附加技术特征被对比文件2公开，所以也不具备创造性。
（3）专利权人表示：对于对比文件1、2、3的真实性无异议，对于对比文件1和3的中文译文的准确性无异议。
（4）专利权人当庭提交公知常识性证据（下称反证1）：《辞海》（上）、（下），1979年出版，部分复印件共7页，该证据盖有“国家图书馆科技查新中心”红章。合议组当庭将该证据转送给请求人。请求人当庭核实后，表示对该证据的真实性无异议。
（5）针对上述无效理由和证据，双方当事人均结合书面意见进一步陈述意见。
专利复审委员会本案合议组于2012年01月12日向双方当事人发出无效宣告请求审查通知书，指出：请求人以权利要求1得不到说明书的支持、不符合专利法第26条第4款的规定为由请求宣告权利要求1无效，而未指出与权利要求1之间存在引用关系的权利要求2-10也存在相同性质的缺陷。根据《专利审查指南》第四部分第三章第4.1节的相关规定，合议组依职权引入专利法第26条第4款的无效宣告理由对从属权利要求2-10进行审查。双方当事人应当在收到本通知书之日起一个月内答复。期满未答复的，不影响专利复审委员会的审理，并视为当事人已得知本通知书中所涉及的理由、事实和证据，且未提出反对意见。
请求人于2012年02月09日针对无效宣告请求审查通知书提交了意见陈述书，指出：根据本专利的说明书，本专利的扩散面所要完成的功能是以说明书的实施例中记载的特定方式实现的。具体地，本专利所采用的扩散面为柠檬表皮状扩散面，即没有周期性的不规则反射面，且以使扩散面形状PSD相对于k/fn的分形曲线PSD的差值满足一定条件的方式来构成。然而，权利要求1没有限定扩散面的上述特定方式。因此，权利要求1没有以说明书为依据。权利要求2-8是权利要求1的从属权利要求。其中，权利要求2、3、5-8的附加技术特征均未进一步限定扩散面，因此这些权利要求也未得到说明书的支持。权利要求4的附加技术特征与说明书中所记录的扩散面的特征不等同，且未限定扩散面是没有周期性的不规则反射表面，因此权利要求4也得不到说明书的实质上的支持。权利要求9为独立权利要求，其引用权利要求1至8中任一项所述的照明装置，权利要求10为独立权利要求，其引用权利要求9所述的曝光装置。权利要求9和10中均未对照明装置中的扩散面做进一步的限定，因此也未得到说明书的支持。综上所述，权利要求1-10均得不到说明书的支持，不符合专利法第26条第4款的规定。
专利权人于2012年02月27日针对无效宣告请求审查通知书提交了意见陈述书，指出：《专利审查指南》中规定的依职权审查的前提是“其他权利要求也存在相同性质的缺陷”，其含义是，如果在请求人针对部分权利要求提出的无效宣告理由成立的基础上，通过简单的逻辑分析就可以得出未以相同理由被请求宣告无效的权利要求也存在同样的缺陷，专利复审委员会可以引入相同的理由。在本案中，即便权利要求1中的“扩散面”得不到说明书的支持，通过简单的逻辑分析并不能得出从属权利要求2-10存在同样缺陷的结论，因此不能适用依职权审查的规定。此外，还进一步陈述了权利要求1-10符合专利法第26条第4款规定的理由，具体内容与口头审理当庭发表的意见基本一致。
至此，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
1、审查基础
由于专利权人未对授权公告文本作出过修改，因此本决定的审查基础为本专利的授权公告文本。
2、关于专利法第26条第4款
专利法第26条第4款规定：权利要求书应当以说明书为依据，说明要求专利保护的范围。
在说明书中记载的技术方案中对某些条件需要进行特别限定时才能实现该发明的发明目的，而权利要求中并未对这些条件进行限定时，如果通过合理推导表明没有进行特别限定的条件并不都能实现其发明目的，则认为该权利要求涵盖了不能解决其技术问题、实现发明目的的保护范围，那么该权利要求得不到说明书的支持。
（1）关于权利要求1
权利要求1要求保护一种照明装置，其中记载技术特征“该反射型光学系统的反射面至少一部分是由扩散面所构成”。在光学领域中，“扩散面”的含义指的是当光线从某方向入射到该扩散面上时，反射光向各个不同方向散开。至于该面的形状可以是任意形状，只要能够满足上述含义即可。因此权利要求1中所记载的“反射面”，其至少一部分可由任意形状且能够使反射光散开的“扩散面”所构成。
根据说明书的记载，本专利所要解决的技术问题在于“为确保高照度均匀性，需极力使射入入射侧复眼反射镜207的照明光的照度分布，不含有高频的照度分布变化”（参见说明书第2页第2-3行），通过采用如下限定的反射镜：“收集反射镜10的反射面，是由利用化学腐蚀将皱折面的散乱变小而成为如柠檬表皮状的扩散面所构成。或者，将收集反射镜10的基板反射面进行蚀刻处理、压印加工或浮雕加工，据此，也能形成具有柠檬表皮状凹凸的反射面。也即，并非由具有规则性小焦点距离的凸面镜集合所构成的反射面，而是由具有不同焦点距离的凸面镜或凹面镜集合而成的没有周期性的不规则反射面。又，收集反射镜10的扩散面，是以使扩散面形状PSD(Power?Spectral Density)于高频区域中相对于分形曲线PSD的差值小的方式来构成。”（参见说明书第8页第19-26行），从而能够达到“通过使射入收集反射镜10的EUV光扩散，能从EUV光光强度分布去处高频成分的光强度分布，能维持EUV光的光量，且使EUV光的照度分布均匀性提高”的技术效果。
根据说明书记载的上述内容可知，为了解决本专利所要解决的技术问题，必须满足以下条件：①收集反射镜的反射面由具有不同焦点距离的凸面镜或凹面镜集合而成的没有周期性的不规则反射面；②扩散面的形状PSD于高频区域中相对于分型曲线PSD的差值小的方式来构成。只有满足了这两个条件，才能使得从该反射面反射射出的EUV光光强度分布中去除高频成分，从而实现提高光照均匀性的发明目的。然而，权利要求1中并未对“扩散面”做出任何具体限定，其中包含了不能满足上述两个条件的其他形状的扩散面，而这些扩散面虽然能够起到扩散作用，但是并不能解决本专利所要解决的“使射入入射侧复眼反射镜的照明光的照度分布不含有高频的照度分布变化”的技术问题，也不能达到“提高射入入射侧复眼反射镜的照明光的照度分布均匀性”的技术效果。因此，权利要求1中概括的“扩散面”既包含了满足以上两个条件的扩散面、也包含了不满足以上两个条件的扩散面，而不满足以上两个条件的扩散面不能解决本专利所要解决的技术问题。因此权利要求1的技术方案不能从说明书中直接得到或概括得出，得不到说明书的支持，不符合专利法第26条第4款的规定。
专利权人认为：①反证1中有对扩散光的解释，对于本领域技术人员来说， 扩散是指杂乱无章的乱，因此权利要求1中的“扩散面”不涵盖具有规则性小焦点距离的凸面镜的集合。②本专利说明书第11页倒数第4-6行对扩散面进行了解释，扩散面是由具有不同焦点距离的凸面镜或凹面镜的集合而成的没有周期性的不规则反射面。
对此，合议组认为：①虽然反证1中记载了“扩散光”是“由光源发射出的光线，通过媒质或界面的折射或反射向四方散乱射出的光线”，但是，该“散乱”指的是光线向各个不同方向散开，而非专利权人所称的“杂乱无章”。对于本领域技术人员来说，当入射光从某方向入射到由具有规则性小焦点距离的凸面镜的集合所构成的反射面上时，反射光将会向各个不同方向散开，由此可见，该出射光是符合“扩散光”的含义的，该反射面也是符合“扩散面”的含义的。因此反证1并不能说明权利要求1中的“扩散面”不涵盖具有规则性小焦点距离的凸面镜的集合。②《专利审查指南》中规定：权利要求的保护范围应当根据其所用词语的含义来理解。一般情况下，权利要求中的用词应当理解为本领域通常具有的含义。在特定情况下，如果说明书中指明了某词具有特定的含义，并且使用了该词的权利要求的保护范围由于说明书中对该词的说明而被限定得足够清楚，这种情况也是允许的。具体到本专利的权利要求1来说，“扩散面”在光学领域具有公知的含义，即当光线从某方向入射到该扩散面上时，反射光向各个不同方向散开；虽然说明书中记载了“将收集反射镜10的基板反射面进行蚀刻处理、压印加工或浮雕加工，据此，也能形成具有柠檬表皮状凹凸的反射面。也即，并非由具有规则性小焦点距离的凸面镜集合所构成的反射面，而是由具有不同焦点距离的凸面镜或凹面镜集合而成的没有周期性的不规则反射面。”（参见说明书第8页第19-24行），但是该记载仅仅是对“扩散面”的具体说明，其中并未指明“扩散面”这一用词具有某种特定的含义，而且权利要求1的保护范围也并未由于说明书中的上述记载而被限定为“扩散面是由具有不同焦点距离的凸面镜或凹面镜的集合而成的没有周期性的不规则反射面”。因此，在权利要求1中的“扩散面”对于本领域的技术人员而言具有确切的公知含义的前提下，应当根据本领域所公知的含义来理解，说明书中记载的相应内容不能用于限定权利要求1的保护范围。因此，专利权人的主张不能成立，权利要求1不符合专利法第26条第4款的规定。
（2）关于权利要求2-10
《专利审查指南》第四部分第三章第4.1节规定：专利复审委员会在下列情形可以依职权进行审查：…请求人以权利要求之间存在引用关系的某些权利要求存在缺陷为由请求宣告其无效，而未指出其他权利要求也存在相同性质的缺陷，专利复审委员会可以引入与该缺陷相对应的无效宣告理由对其他权利要求进行审查。
根据上述规定，合议组依职权引入权利要求2-10不符合专利法第26条第4款的规定的无效理由。
专利权人认为：本案不属于《专利审查指南》中规定的依职权审查的情形。对此，合议组认为：请求人以权利要求1得不到说明书的支持为由请求宣告其无效，而未指出引用权利要求1的从属权利要求2-10存在相同性质的缺陷。
合议组认为，基于本决定理由部分前述第（1）点的评述，由于独立权利要求1中没有对“扩散面”作出以下限定：“①收集反射镜的反射面由具有不同焦点距离的凸面镜或凹面镜集合而成的没有周期性的不规则反射面；②扩散面的形状PSD于高频区域中相对于分型曲线PSD的差值小的方式来构成”，因而得不到说明书的支持。在此基础上，通过阅读从属权利要求2-10，可得知其也未对“扩散面”作出上述限定，因此不需对从属权利要求2-10作具体审查，仅依据与独立权利要求1得不到说明书支持相同的理由，即可得出权利要求2-10得不到说明书支持的结论。另外，本案属于《专利审查指南》第四部分第三章4.1节中规定的依职权审查的情形，合议组可以依职权引入从属权利要求2-10不符合专利法第26条第4款的规定的无效理由，专利权人的主张不能成立。权利要求2-10均直接或间接引用权利要求1，但是其对“扩散面”的进一步限定仍未克服前述的权利要求1得不到说明书支持的缺陷，因此，权利要求2-10也得不到说明书的支持，不符合专利法第26条第4款的规定。
综上，权利要求1-10全部不符合专利法第26条第4款的规定。
由于根据以上评述已能得出权利要求1-10全部不符合专利法第26条第4款规定的结论，因此合议组对于其他无效理由和证据不予评述。
基于上述理由，合议组作出以下决定。
三、决定
宣告200580023679.5号发明专利权全部无效。
当事人对本决定不服的，可以根据专利法第46条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京市第一中级人民法院起诉。根据该款的规定，一方当事人起诉后，另一方当事人作为第三人参加诉讼。
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