发明创造名称：利用固态UV激光器对蓝宝石衬底划线
外观设计名称：
决定号：13310
决定日：2009-04-24
委内编号：
优先权日：
申请（专利）号：03142382.5
申请日：2003-06-10
复审请求人：
无效请求人：第一请求人：熊艳 第二请求人：吉林市华邦神洲商贸有限责任公司
授权公告日：2006-11-29
审定公告日：
专利权人：新浪潮研究公司
主审员：孙学锋
合议组组长：马昊
参审员：刘微
国际分类号：H01L 21/78，B23K 26/00,H01S 3/16,H01S 3/127
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点：如果一项权利要求的技术方案相对于最接近的现有技术的区别技术特征已经在另外的对比文件中公开，或者该区别技术特征属于本领域的公知常识，且现有技术整体上给出了启示使本领域技术人员可以将该区别技术特征与该最接近的现有技术相结合，则该项权利要求的技术方案对本领域技术人员来说是显而易见的，不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
全文：
一、案由
1．本无效宣告请求涉及申请日为2003年6月10日、授权公告日为2006年11月29日、名称为“利用固态UV激光器对蓝宝石衬底划线”的03142382.5号发明专利（下称本专利），专利权人新浪潮研究公司，其授权公告的权利要求书如下：
“1.一种从一蓝宝石衬底上制造芯片的方法，该方法包括：
在一平台上安装该蓝宝石衬底；
使用一固态激光器将激光能量脉冲引至该蓝宝石衬底的一表面，该脉冲具有足以导致对蓝宝石的切割的低于560纳米的波长、能量密度、光斑尺寸、重复频率和脉冲持续时间；以及
使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底，以在该蓝宝石衬底中割出划线。
2.如权利要求1所述的方法，包括从该蓝宝石衬底上分离由该划线图案定义的芯片。
3.如权利要求1所述的方法，包括引发连续脉冲的重叠。
4.如权利要求1所述的方法，其中该波长在150与560纳米之间。
5.如权利要求1所述的方法，其中该重复频率在10kHz与50kHz之间。
6.如权利要求1所述的方法，其中所述能量密度在10与100焦耳每平方厘米之间，所述脉冲持续时间在10与30纳秒之间，而该光斑尺寸在5与25微米之间。
7.如权利要求1所述的方法，其中该蓝宝石衬底具有一厚度，而该划线被割至大于所述厚度的一半的深度。
8.如权利要求1所述的方法，包括使用一Q开关固态激光器产生激光能量脉冲。
9.如权利要求1所述的方法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底期间，探测该蓝宝石衬底的边缘，并且响应该探测的边缘，防止所述脉冲偏离出该衬底。
10.如权利要求1所述的方法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底之前，将该衬底置于一粘合带上；以及，防止所述脉冲作用于该粘合带。
11.如权利要求1所述的方法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底之前，将该衬底置于一粘合带上；以及
在所述使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底期间，探测蓝宝石衬底的边缘，并且响应该探测的边缘，防止所述脉冲作用于该粘合带。
12.如权利要求1所述的方法，包括使用一Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
13.如权利要求1所述的方法，包括使用一Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
14.如权利要求1所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
15.如权利要求1所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
16.如权利要求1所述的方法，其中该光斑尺寸在5与15微米之间。
17.如权利要求1所述的方法，包括导致连续脉冲的重叠，并且，其中重叠在从50％至99％的范围之内。
18.如权利要求1所述的方法，其中该衬底具有一有源表面和一背面，并且，该方法包括将该衬底的有源表面放置在一粘合带上，以及将该衬底安装在该平台上，以将该脉冲导向该衬底的背面。
19.如权利要求1所述的方法，其中该衬底具有一有源表面和一背面，并且，该方法包括使该脉冲作用于该背面。
20.如权利要求1所述的方法，其中该平台包括一可移动的X/Y平台，并且所述使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底，包括移动该X/Y平台上的该衬底。
21.如权利要求1所述的方法，还包括：
相对于该划线图案中的划线方向控制该激光脉冲的偏振。
22.如权利要求21所述的方法，包括用一固态UV激光器产生脉冲。
23.如权利要求21所述的方法，其中该划线图案包括平行于第一和第二轴的划线，该方法包括控制偏振，使得该偏振为线性的并且对于平行于该第一轴的划线为沿一第一方向排列，对于平行于该第二轴的划线为沿一第二方向排列。
24.如权利要求21所述的方法，包括从该蓝宝石衬底上分离由该划线图案限定的芯片。
25.如权利要求21所述的方法，包括产生连续脉冲的重叠。
26.如权利要求21所述的方法，其中该波长在150与560纳米之间。
27.如权利要求21所述的方法，其中该重复频率在10kHz与50kHz之间。
28.如权利要求21所述的方法，其中所述能量密度在10与100焦耳每平方厘米之间，所述脉冲持续时间在10与30纳秒之间，而该光斑尺寸在5与25微米之间。
29.如权利要求21所述的方法，其中该蓝宝石衬底具有一厚度，而该划线被割至大于所述厚度的一半的深度。
30.如权利要求21所述的方法，包括利用一Q开关固态激光器产生激光能量脉冲。
31.如权利要求21所述的方法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底期间，探测该蓝宝石衬底的边缘，并且响应该探测的边缘，防止所述脉冲偏离出该衬底。
32.如权利要求21所述的方法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底之前，将该衬底置于一粘合带上；以及，防止所述脉冲作用于该粘合带。
33.如权利要求21所述的方法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底之前，将该衬底置于一粘合带上；以及
在所述使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底期间，探测该蓝宝石衬底的边缘，并且响应该探测的边缘，防止所述脉冲作用于该粘合带。
34.如权利要求21所述的方法，包括使用一Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
35.如权利要求21所述的方法，包括使用一Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
36.如权利要求21所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
37.如权利要求21所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
38.如权利要求21所述的方法，其中该光斑尺寸在5与15微米之间。
39.如权利要求21所述的方法，包括导致连续脉冲的重叠，并且，其中重叠在从50％至99％的范围之内。
40.如权利要求21所述的方法，其中该衬底具有一有源表面和一背面，并且，该方法包括将该衬底的有源表面放置在一粘合带上，以及将该衬底安装在该平台上，以将该脉冲导向该衬底的背面。
41.如权利要求21所述的方法，其中该衬底具有一有源表面和一背面，并且，该方法包括使该脉冲作用于该背面。
42.如权利要求21所述的方法，其中该平台包括一可移动的X/Y平台，并且所述使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底包括移动该X/Y平台上的衬底。
43.如权利要求21所述的方法，其中所述偏振控制包括平行于该被刻划的划线排列该脉冲的偏振。
44.如权利要求2所述的方法，还包括：
在该蓝宝石衬底的一有源表面上布置并形成集成器件阵列，其中单个芯片被具有25微米或更小的宽度的迹分隔；且其中：
将该激光能量脉冲引至该蓝宝石衬底的背面。
45.如权利要求44所述的方法，还包括：
控制该脉冲的偏振使得该脉冲为沿着与该被刻划的划线平行的方向的线性偏振。
46.如权利要求45所述的方法，包括使用一Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
47.如权利要求45所述的方法，包括使用一Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
48.如权利要求45所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
49.如权利要求45所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
50.一种用于对一蓝宝石衬底划线的系统，该系统包括：
一激光器，其产生波长小于560纳米、脉冲持续时间小于30纳秒、重复频率大于5kHz的激光能量脉冲；
一平台，用于支撑和移动一蓝宝石衬底；
光学系统，引导该脉冲以作用于安装在该平台上的该蓝宝石衬底；以及
一控制系统，其连接至该固态激光器和该平台，该控制系统控制该激光器和该平台，并使该脉冲在使连续脉冲的重叠足以在该蓝宝石衬底内切割出划线的移动速率下、按一划线图案作用于该蓝宝石衬底。
51.如权利要求50所述的系统，其中该控制系统控制该平台的移动速率，产生连续脉冲的重叠。
52.如权利要求50所述的系统，包括一边缘探测系统，该边缘探测系统在该平台移动期间探测安装在该平台上的衬底的边缘。
53.如权利要求50所述的系统，包括一残余物排出系统。
54.如权利要求50所述的系统，其中该控制系统包括用于建立一划线图案的规则。
55.如权利要求50所述的系统，其中该平台包括一真空吸气装置。
56.如权利要求50所述的系统，包括一用于观察安装在该平台上的衬底的视频系统。
57.如权利要求50所述的系统，其中该控制系统包括用于设定包括脉冲重复频率、脉冲能量和平台速度的参数的规则。
58.如权利要求50所述的系统，其中该激光器包括一Q开关 Nd :YAG激光器。
59.如权利要求50所述的系统，其中该激光器包括一Q开关 Nd : YVO4激光器。
60.如权利要求50所述的系统，其中该激光器包括一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd :YAG激光器。
61.如权利要求50所述的系统，其中该激光器包括一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd : YVO4激光器。
62.如权利要求50所述的系统，其中该光斑的尺寸在5与15微米之间。
63.如权利要求50所述的系统，其中该控制系统控制该平台的移动速率，该速率导致连续脉冲的重叠，其中重叠在从50％至99％的范围之内。
64.如权利要求50所述的系统，其中该脉冲频率在10kHz与50kHz之间。
65.如权利要求50所述的系统，其中所述能量密度在10与100焦耳每平方厘米之间，所述脉冲持续时间在10与30纳秒之间，而该光斑尺寸在5与25微米之间。
66.如权利要求50所述的系统，其中该蓝宝石衬底具有一厚度，而该划线被割至大于所述厚度的一半的深度。
67.如权利要求50所述的系统，包括光学系统，用于线性地偏振该脉冲。
68.如权利要求50所述的系统，包括光学系统，用于调整该脉冲的偏振。
69.如权利要求52所述的系统，其中：
该激光器为Q开关固态激光器，其在大于10kHz的重复频率下产生波长在150与至560纳米之间、光斑尺寸小于25微米的激光能量脉冲；且
该控制系统还连接至该边缘探测系统，并响应该边缘探测系统。
70.如权利要求69所述的系统，包括一残余物排出系统。
71.如权利要求69所述的系统，其中该控制系统包括用于建立一划线图案的规则。
72.如权利要求69所述的系统，其中该平台包括一真空吸气装置。
73.如权利要求69所述的系统，包括一用于观察安装在该平台上的衬底的视频系统。
74.如权利要求69所述的系统，其中该控制系统包括用于设定包括脉冲重复频率、脉冲能量和平台速度的参数的规则。
75.如权利要求69所述的系统，其中该激光器包括一Q开关 Nd :YAG激光器。
76.如权利要求69所述的系统，其中该激光器包括一Q开关 Nd : YVO4激光器。
77.如权利要求69所述的系统，其中该激光器包括一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd :YAG激光器。
78.如权利要求69所述的系统，其中该激光器包括一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd : YVO4激光器。
79.如权利要求69所述的系统，其中该光斑的尺寸在5与15微米之间。
80.如权利要求69所述的系统，其中重叠在从50％至99％的范围之内。
81.如权利要求69所述的系统，其中该脉冲频率在20kHz与50kHz之间。
82.如权利要求69所述的系统，其中所述能量密度在10与100焦耳每平方厘米之间，所述脉冲持续时间在10与30纳秒之间，而该光斑尺寸在5与25微米之间。
83.如权利要求69所述的系统，其中该蓝宝石衬底具有一厚度，而该划线被割至大于所述厚度的一半的深度。
84.如权利要求69所述的系统，包括光学系统，用于线性地偏振该脉冲。
85.如权利要求69所述的系统，包括光学系统，用于调整该脉冲的偏振。”
2．针对上述专利权，熊艳（下称第一请求人）于2007年9月26日向专利复审委员会提出无效宣告请求（案件编号为4W01931），其理由是本专利的权利要求权利要求1、2、4、16相对于附件1不具备新颖性，权利要求1-85相对于附件1-5中的一份或几份的组合不具备创造性。第一请求人提交了如下附件：
附件1、声称为台湾地区出版的期刊《光讯》第93期第37-40页的标题为“镭射成功切割蓝宝石基板”的文献，复印件，共4页；
附件2、美国专利说明书US5214261，公开日为1993年5月25日，复印件，共14页；
附件3、美国专利说明书US4169976，公开日为1979年10月2日，复印件，共7页；
附件4、美国专利说明书US6413839B1，公开日为2002年7月2日，复印件，共11页；
附件5、美国专利说明书US6130403，公开日为2000年10月10日，复印件，共10页；
附件6、上述附件2－5的部分译文，共4页。
第一请求人在无效宣告请求书的意见陈述中结合其提交的上述附件对其无效的理由进行了具体说明，请求宣告专利权全部无效。
经形式审查合格，专利复审委员会受理了该请求，并于2007年10月24日发出了无效宣告请求受理通知书，将无效宣告请求书和上述附件的副本转给了专利权人，要求其在指定的期限内答复，同时成立合议组对本无效宣告请求进行审查。
专利权人于2007年12月7日针对第一请求人的上述无效宣告请求提交了意见陈述书，专利权人不认可附件1的真实性。专利权人认为：1）附件1中至少没有公开使用固态激光器切割蓝宝石基板时所具有的足以导致对蓝宝石的切割的各项特定参数的组合，所达到的技术效果也不同。不能利用对比文件1和/或本领域的公知常识否定本专利的新颖性和创造性。2）附件2和3并未公开独立权利要求50中所具有的各种参数的组合这一技术特征，而本领域技术人员要在众多的参数中作出特定的选择需要付出创造性劳动。在此基础上，所有权利要求均具备新颖性和创造性。
专利复审委员会本案合议组于2008年1月30日向双方发出口头审理通知书，定于2008年3月18日举行口头审理，并将专利权人2007年12月7日提交的意见陈述以及第一请求人提交的附件的部分译文转送给第一请求人。
3．针对上述专利权，吉林市华邦神洲商贸有限责任公司（下称第二请求人）于2008年2月3日向专利复审委员会提出了无效宣告请求，其理由是本专利权利要求1-5、7、8、10、12－20、22、44、46-51不具备新颖性，权利要求1-85不具备创造性，权利要求55不符合专利法第26条第4款以及专利法实施细则第20条第1款的规定。第二请求人提交了如下对比文件：
对比文件1：欧洲专利公开说明书EP0863231A1，公开日：1998年9月9日，复印件，共11页；
对比文件2：声称为《Electronic Journal》，2001年11月版第194-195页，复印件，共2页，相关中文译文4页；
对比文件3：日本专利公开说明书JP特开2000-42768A，公开日：2000年2月15日，复印件，共6页；
对比文件4：美国专利说明书US5516728，公开日：1996年5月14日，复印件，共6页；
对比文件5：美国专利说明书US4336439，公开日：1982年6月22日，复印件，共7页；
对比文件6：声称为台湾地区出版的期刊《光讯》第93期第37-40页的标题为“镭射成功切割蓝宝石基板”的文献，复印件，共4页；声称为公证书的复印件共6页；
对比文件7：日本专利公开说明书JP特开平11-177137A，公开日：1999年7月2日，复印件，共9页；
对比文件8：美国专利说明书US5656186，公开日：1997年8月12日，复印件，共20页；
对比文件9：声称为《Wear》第232卷（1999），第226-230页，“Lubricated sliding performance of laser-patterned sapphire”，ELSEVIER出版，复印件，共5页；
对比文件10：日本专利公开说明书JP昭58-44738A，公开日：1983年3月15日，复印件，共5页；
对比文件11：日本专利公开说明书JP特开平5-32428A，公开日：1993年2月9日，复印件，共8页。
第二请求人在无效宣告请求书中结合上述对比文件具体对权利要求1-85不具备新颖性或创造性的理由进行了详细论述，并认为，权利要求55引用权利要求50，其附加技术特征为该平台包括一真空吸气装置，而说明书中公开了两种真空吸气装置，致使权利要求55的保护范围不清楚，也没有得到说明书的支持。请求宣告专利权全部无效。
经形式审查合格，专利复审委员会于2008年2月26日受理了第二请求人提出的上述无效宣告请求，并将无效宣告请求书和上述证据的副本转给了专利权人，要求其在收到受理通知书一个月内答复，同时成立合议组对本无效宣告请求进行审查。
4、专利复审委员会本案合议组于2008年3月4日向专利权人及第一请求人和第二请求人发出口头审理通知书，定于2008年6月17日举行口头审理。
第二请求人于2008年2月29日补充提交了如下证据：对比文件1的中文译文共10页、对比文件3的中文译文共2页、对比文件4的中文译文共1页、对比文件5的中文译文共1页、对比文件7的中文译文共2页、对比文件8的中文译文共10页、对比文件9的中文译文共1页、对比文件10的中文译文共1页、对比文件11的中文译文共1页，以及声称为对比文件2的公证认证复印件共9页、声称为对比文件9的公证认证复印件共11页。
合议组于2008年3月4日将第二请求人补充的上述证据转送给专利权人。
专利权人针对复审委员会于2008年2月26日转送的第二请求人提交的无效宣告请求受理通知书以及所附的附件，于2008年4月14日提交了意见陈述书，并对权利要求书进行了修改，同时提交了对对比文件3和5的补充翻译。专利权人将权利要求5、6的技术特征添加到权利要求1中，将权利要求52和69的技术特征添加到权利要求50中，形成两个新的独立权利要求，同时删除了原权利要求27、28、69-80，82-85。新的权利要求书包括权利要求1-64。专利权人认为新的权利要求相对于对比文件1-11具备新颖性和创造性，并认为权利要求50（原权利要求55）符合专利法第26条第4款和专利法实施细则第20条第1款的规定，请求专利复审委员会以权利要求1-64为基础维持本专利有效。
专利权人修改后的权利要求书如下：
“1.一种从一蓝宝石衬底上制造芯片的方法，该方法包括：
在一平台上安装该蓝宝石衬底；
使用一固态激光器将激光能量脉冲引至该蓝宝石衬底的一表面，该脉冲具有足以导致对蓝宝石的切割的低于560纳米的波长、10与100焦耳每平方厘米之间的能量密度、5与25微米之间的光斑尺寸、10kHz与50kHz之间的重复频率和10与30纳秒之间的脉冲持续时间；以及
使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底，以在该蓝宝石衬底中割出划线。
2.如权利要求1所述的方法，包括从该蓝宝石衬底上分离由该划线图案定义的芯片。
3.如权利要求1所述的方法，包括引发连续脉冲的重叠。
4.如权利要求1所述的方法，其中该波长在146与560纳米之间。
5.如权利要求1所述的方法，其中该蓝宝石衬底具有一厚度，而该划线被割至大于所述厚度的一半的深度。
6.如权利要求1所述的方法，包括使用一Q开关固态激光器产生激光能量脉冲。
7.如权利要求1所述的方法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底期间，探测该蓝宝石衬底的边缘，并且响应该探测的边缘，防止所述脉冲偏离出该衬底。
8.如权利要求1所述的方法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底之前，将该衬底置于一粘合带上；以及，防止所述脉冲作用于该粘合带。
9.如权利要求1所述的方法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底之前，将该衬底置于一粘合带上；以及
在所述使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底期间，探测蓝宝石衬底的边缘，并且响应该探测的边缘，防止所述脉冲作用于该粘合带。
10.如权利要求1所述的方法，包括使用一Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
11.如权利要求1所述的方法，包括使用一Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
12.如权利要求1所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
13.如权利要求1所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
14.如权利要求1所述的方法，其中该光斑尺寸在5与15微米之间。
15.如权利要求1所述的方法，包括导致连续脉冲的重叠，并且，其中重叠在从46％至99％的范围之内。
16.如权利要求1所述的方法，其中该衬底具有一有源表面和一背面，并且，该方法包括将该衬底的有源表面放置在一粘合带上，以及将该衬底安装在该平台上，以将该脉冲导向该衬底的背面。
17.如权利要求1所述的方法，其中该衬底具有一有源表面和一背面，并且，该方法包括使该脉冲作用于该背面。
18.如权利要求1所述的方法，其中该平台包括一可移动的X/Y平台，并且所述使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底，包括移动该X/Y平台上的该衬底。
19.如权利要求1所述的方法，还包括：
相对于该划线图案中的划线方向控制该激光脉冲的偏振。
20.如权利要求19所述的方法，包括用一固态UV激光器产生脉冲。
21.如权利要求19所述的方法，其中该划线图案包括平行于第一和第二轴的划线，该方法包括控制偏振，使得该偏振为线性的并且对于平行于该第一轴的划线为沿一第一方向排列，对于平行于该第二轴的划线为沿一第二方向排列。
22.如权利要求19所述的方法，包括从该蓝宝石衬底上分离由该划线图案限定的芯片。
23.如权利要求19所述的方法，包括产生连续脉冲的重叠。
24.如权利要求19所述的方法，其中该波长在146与560纳米之间。
25.如权利要求19所述的方法，其中该蓝宝石衬底具有一厚度，而该划线被割至大于所述厚度的一半的深度。
26.如权利要求19所述的方法，包括利用一Q开关固态激光器产生激光能量脉冲。
27.如权利要求19所述的?1法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底期间，探测该蓝宝石衬底的边缘，并且响应该探测的边缘，防止所述脉冲偏离出该衬底。
28.如权利要求19所述的方法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底之前，将该衬底置于一粘合带上；以及，防止所述脉冲作用于该粘合带。
29.如权利要求19所述的方法，包括：
在使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底之前，将该衬底置于一粘合带上；以及
在所述使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底期间，探测该蓝宝石衬底的边缘，并且响应该探测的边缘，防止所述脉冲作用于该粘合带。
30.如权利要求19所述的方法，包括使用一Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
31.如权利要求19所述的方法，包括使用一Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
32.如权利要求19所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
33.如权利要求19所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
34.如权利要求19所述的方法，其中该光斑尺寸在5与15微米之间。
35.如权利要求19所述的方法，包括导致连续脉冲的重叠，并且，其中重叠在从46％至99％的范围之内。
36.如权利要求19所述的方法，其中该衬底具有一有源表面和一背面，并且，该方法包括将该衬底的有源表面放置在一粘合带上，以及将该衬底安装在该平台上，以将该脉冲导向该衬底的背面。
37.如权利要求19所述的方法，其中该衬底具有一有源表面和一背面，并且，该方法包括使该脉冲作用于该背面。
38.如权利要求19所述的方法，其中该平台包括一可移动的X/Y平台，并且所述使该脉冲按一划线图案作用于该蓝宝石衬底包括移动该X/Y平台上的衬底。
39.如权利要求19所述的方法，其中所述偏振控制包括平行于该被刻划的划线排列该脉冲的偏振。
40.如权利要求2所述的方法，还包括：
在该蓝宝石衬底的一有源表面上布置并形成集成器件阵列，其中单个芯片被具有25微米或更小的宽度的迹分隔；且其中：
将该激光能量脉冲引至该蓝宝石衬底的背面。
41.如权利要求40所述的方法，还包括：
控制该脉冲的偏振使得该脉冲为沿着与该被刻划的划线平行的方向的线性偏振。
42.如权利要求41所述的方法，包括使用一Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
43.如权利要求41所述的方法，包括使用一Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
44.如权利要求41所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。
45.如权利要求41所述的方法，包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd : YVO4激光器产生激光能量的脉冲。
46.一种用于对一蓝宝石衬底划线的系统，该系统包括：
一Q开关固态激光器，其产生波长在150与560纳米之间、脉冲持续时间小于30纳秒、光斑尺寸小于25微米、重复频率大于10kHz的激光能量脉冲；
一平台，用于支撑和移动一蓝宝石衬底；
光学系统，引导该脉冲以作用于安装在该平台上的该蓝宝石衬底；以及
一控制系统，其连接至该固态激光器和该平台，该控制系统控制该激光器和该平台，并使该脉冲在使连续脉冲的重叠足以在该蓝宝石衬底内切割出划线的移动速率下、按一划线图案作用于该蓝宝石衬底。
一边缘探测系统，该边缘探测系统在该平台移动期间探测安装在该平台上的衬底的边缘，且该控制系统还连接至该边缘探测系统，并响应该边缘探测系统。
47.如权利要求46所述的系统，其中该控制系统控制该平台的移动速率，产生连续脉冲的重叠。
48.如权利要求46所述的系统，包括一残余物排出系统。
49.如权利要求46所述的系统，其中该控制系统包括用于建立一划线图案的规则。
50.如权利要求46所述的系统，其中该平台包括一真空吸气装置。
51.如权利要求46所述的系统，包括一用于观察安装在该平台上的衬底的视频系统。
52.如权利要求46所述的系统，其中该控制系统包括用于设定包括脉冲重复频率、脉冲能量和平台速度的参数的规则。
53.如权利要求46所述的系统，其中该激光器包括一Q开关 Nd :YAG激光器。
54.如权利要求46所述的系统，其中该激光器包括一Q开关 Nd : YVO4激光器。
55.如权利要求46所述的系统，其中该激光器包括一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd :YAG激光器。
56.如权利要求46所述的系统，其中该激光器包括一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd : YVO4激光器。
57.如权利要求46所述的系统，其中该光斑的尺寸在5与15微米之间。
58.如权利要求46所述的系统，其中该控制系统控制该平台的移动速率，该速率导致连续脉冲的重叠，其中重叠在从46％至99％的范围之内。
59.如权利要求46所述的系统，其中该脉冲频率在10kHz与46kHz之间。
60.如权利要求46所述的系统，其中所述能量密度在10与100焦耳每平方厘米之间，所述脉冲持续时间在10与30纳秒之间，而该光斑尺寸在5与25微米之间。
61.如权利要求46所述的系统，其中该蓝宝石衬底具有一厚度，而该划线被割至大于所述厚度的一半的深度。
62.如权利要求46所述的系统，包括光学系统，用于线性地偏振该脉冲。
63.如权利要求46所述的系统，包括光学系统，用于调整该脉冲的偏振。
64.如权利要求46所述的系统，其中该脉冲频率在20kHz与50kHz之间。”
合议组于2008年5月7日将专利权人提交的上述修改、意见陈述和补充翻译转送给第二请求人，并要求第二请求人于收到上述文件之日起一个月内答复。
5、口头审理于2008年6月17日如期进行，专利权人、第一请求人和第二请求人均参加了口头审理。三方当事人均对合议组成员无回避请求。第二请求人对专利权人的公民代理人王海文的身份有异议，合议组当庭告知第二请求人，如果其在口头审理之后没有出具相应的规定证明王海文不能参加口头审理，则视为第二请求人对其无异议。
在口头审理过程中，合议组当庭将专利权人于2008年4月14日提交的修改后的权利要求书、意见陈述和补充翻译转送给第一请求人，并当庭告知第一请求人针对专利权人提交的新的权利要求书可以当庭陈述意见，也可以在口头审理结束后一个月内补充提交对新的权利要求书的意见陈述。
专利权人对第一请求人提交的附件1的真实性有异议，认为应该履行公证认证手续；对其他证据的真实性和译文的准确性没有异议。专利权人对第一请求人对对比文件5第2栏14行?19行的译文“在对细长形”、“对小方块形”有异议，认为的“对”字不应该有，专利权人表示删除该字。
第二请求人当庭提交了对比文件6的原件，以及经过认证的对比文件2和对比文件9的原件。专利权人对第二请求人提交的对比文件1-5、7-11的真实性、译文的准确性没有异议，对第二请求人提交的对比文件6的真实性有异议，认为应该履行公证认证手续；专利权人对第二请求人提交的对比文件3、4的译文的准确性没有异议，对权利要求书的修改无异议。
在口头审理中，第一请求人当庭明确其无效宣告的理由为：权利要求1-64不具备创造性，放弃权利要求不具备新颖性的理由。具体理由为：独立权利要求1相对于附件1和公知常识的结合不具备创造性，权利要求2的附加技术特征在附件1中公开，权利要求3 的附加技术特征在附件3中公开以及属于本领域的公知常识，权利要求4的附加技术特征在附件1中公开，权利要求5的附加技术特征在附件4中公开，权利要求6的附加技术特征为公知常识，权利要求7-9的附加技术特征在附件4中公开，权利要求10-13的附加技术特征为公知常识，权利要求14的附加技术特征在附件1中公开，权利要求15的附加技术特征在附件3中公开以及属于本领域的公知常识，权利要求16-18的附加技术特征在附件4中公开，权利要求19的附加技术特征在附件5中公开，权利要求20的附加技术特征为公知常识，权利要求21的附加技术特征在附件5中公开，对权利要求22-38的附加技术特征的评述方式与权利要求2-18的附加技术特征的评述方式相同，权利要求39的附加技术特征在附件5中公开，权利要求40的附加技术特征在附件4中公开以及属于本领域的公知常识，权利要求41的附加技术特征在附件5中公开，权利要求42-45的附加技术特征属于本领域的公知常识；独立权利要求46相对于附件1-4以及本领域的公知常识不具备创造性，权利要求47的附加技术特征在附件2和附件3中公开，权利要求48-50、52、59、64的附加技术特征属于本领域的公知常识，权利要求51的附加技术特征在附件2中公开，权利要求53-58的附加技术特征的评价方式与权利要求10-15的附加技术特征的评价方式相同，权利要求60的附加技术特征在附件1中公开以及属于本领域的公知常识，权利要求61的附加技术特征在附件4中公开，权利要求61、63的附加技术特征在附件5中公开。
第二请求人当庭明确其无效宣告的理由为：权利要求50不符合专利法实施细则第20条第1款的规定，权利要求1-64不符合专利法第26条第4款的规定，权利要求1-64不具备创造性。放弃权利要求不具备新颖性的无效理由。其关于创造性的具体理由为：
关于独立权利要求1：以对比文件1作为最接近的现有技术，权利要求1分别相对于对比文件1、2、6的结合、对比文件1、2、7的结合、对比文件1、2、8的结合不具有创造性；以对比文件2作为最接近的现有技术，权利要求1分别相对于对比文件2结合对比文件6、对比文件2结合对比文件7、对比文件2结合对比文件9并结合公知常识不具备创造性；以对比文件6作为最接近的现有技术，权利要求1相对于对比文件6并结合公知常识不具备创造性。
关于独立权利要求46：对比文件1作为最接近的现有技术时，权利要求46相对于对比文件1加对比文件3加公知常识的结合、对比文件1加对比文件3加对比文件2的结合、对比文件1加对比文件3加对比文件6的结合不具备创造性；以对比文件2作为最接近的现有技术时，权利要求46相对于对比文件2加对比文件6加对比文件3的结合、对比文件2加对比文件7加对比文件3的结合、对比文件2加对比文件8的结合不具备创造性。
对于从属权利要求：权利要求2的附加技术特征在对比文件1或6中公开，权利要求3的附加技术特征属于本领域的公知常识，或在对比文件1或6中公开，权利要求4-6的附加技术特征在对比文件1或6或7中公开，权利要求7的附加技术特征在对比文件3中公开，权利要求8的附加技术特征在对比文件1或4中公开，权利要求9的附加技术特征在对比文件3中公开，权利要求10的附加技术特征在对比文件1中公开，权利要求11的附加技术特征在属于对比文件1中公开的特征的等同手段之间的替换，权利要求12的附加技术特征在对比文件1或6或7或11中公开，或者属于本领域的公知常识，权利要求13的附加技术特征是公知常识，或在对比文件1或2或6或11中公开，权利要求14的附加技术特征属于公知常识，或在对比文件1或6或7中公开，权利要求15的附加技术特征属于本领域公知常识，或在对比文件1中公开，权利要求16的附加技术特征在对比文件1结合公知常识公开，或被对比文件7公开，权利要求17的附加技术特征在对比文件7中公开，权利要求18的附加技术特征属于公知常识，或在对比文件6或7或10中公开，权利要求19的附加技术特征在对比文件5中公开，权利要求20的附加技术特征在对比文件1或6中公开，权利要求21的附加技术特征在对比文件5中公开，权利要求22-38的附加技术特征的评价方式与的权利要求2-18的附加技术特征的评价方式相同，权利要求39、41的附加技术特征在对比文件5中公开，权利要求40的附加技术特征为公知常识，或在对比文件1中公开，权利要求42-45的附加技术特的评价方式与权利要求10-13的评价方式相同，权利要求47的附加技术特征在属于本领域的公知常识，或在对比文件1或6中公开，权利要求48的附加技术特征在对比文件1或4中公开，权利要求49的附加技术特征属于本领域的公知常识，权利要求50的附加技术特征在对比文件1或7中公开，权利要求51、52的附加技术特征属于本领域的公知常识，权利要求53-58的附加技术特征的评价方式与权利要求10-15的评价方式相同，权利要求59的附加技术特征在对比文件2或6或10中公开，权利要求60的附加技术特征在对比文件2和6的结合所公开，权利要求61的附加技术特征在对比文件1或6或7中公开，权利要求62、63的附加技术特征在对比文件5中公开，权利要求64的附加技术特征在对比文件2中公开。
对于上述第二请求人提出的无效理由，专利权人的意见如下：
（1）专利权人认为，权利要求50从文字上看是很清楚的：“平台包括一真空吸气装置”，该特征是从说明书中概括得到的。
（2）专利权人认为，权利要求1和46中的参数特征在说明书中的具体描述中有相应的说明，对本领域技术人员来说这些特征都得到了说明书的支持。
（3）专利权人认为：权利要求1-64相对于上述对比文件的结合具备创造性，具体理由概括如下：
对于独立权利要求1，专利权人认为：第二请求人试图组合对比文件1和2以及其它的对比文件从而得到本专利权利要求1的技术方案的思路仅是在了解了权利要求1的技术方案之后得到的，而这种组合在激光切割里面是行不通的：激光切割技术涉及激光种类、加工对象等因素，各参数是不能简单组合的，也不可能只改变一个参数而不改变其他参数。对比文件中没有对激光加工提供一个系统性地公开，没有给出参数的组合，各对比文件之间无法结合从而得到权利要求1的技术方案。因此，权利要求1具备创造性。
对于独立权利要求46，专利权人认为，权利要求46与对比文件进行比较，首先对比文件1没有公开权利要求46中的一些激光的参数特征，即使其它对比文件公开了这些特征，基于与上述第（1）点类似的理由，这些特征也是不能简单组合在一起的。其次，对比文件1没有公开边缘检测系统，虽然对比文件3公开了边缘检测系统，但其没有给出与对比文件1结合、使用在对蓝宝石划线的系统中的启示。因此，权利要求46也具备创造性。
对于权利要求1的从属权利要求2-45，专利权人认为：在权利要求1具有创造性的前提下，权利要求2-4也具有创造性，在没有证据的前提下不认可权利要求3的附加技术特征是公知常识；对比文件1、6均未公开权利要求5的附加技术特征，对比文件7是钻石刀切割而非激光切割；对比文件3公开的是厚板的切割，而不是蓝宝石基板的切割，不适用于本专利的情形，无法与其它对比文件结合得到权利要求7的技术方案；权利要求11中使用YV激光器可以达到更好的效果；权利要求12、13的附加技术特征未在对比文件1、6、7、11中公开；权利要求14的附加技术特征既不属于公知常识，也未被对比文件1、6、7公开；权利要求15的附加技术特征不属于公知常识，也未被对比文件1公开；权利要求16的附加技术特征不属于公知常识，也未被对比文件1和对比文件7公开；权利要求17的附加技术特征未被对比文件1公开；权利要求18的附加技术特征未被对比文件6、7、10所公开；对于权利要求19和21，对比文件5虽然提到了线偏振和激光方向的关系，但该对比文件本身推荐使用圆偏振，且其针对的是二氧化碳激光器，无法应用到蓝宝石切割，因此对比文件5并未给出结合的启示，无法得到权利要求19和21的技术方案；对权利要求22-38的意见与对权利要求2-18的意见相同；权利要求39、41的附加技术特征在对比文件5中虽然有讨论，但是没有使用，没有给出应用到本专利的技术启示；权利要求40的附加技术特征并未在对比文件1中公开；对权利要求42-45的意见与对权利要求10-13的意见相同。
对于权利要求46的从属权利要求47-64，专利权人认为：权利要求47的附加技术特征与权利要求3的相同，意见也相同；权利要求49的附加技术特征不属于公知常识，也未被对比文件1和2公开；权利要求51、52的附加技术特征不属于公知常识；对权利要求53-58的意见与对权利要求10-15的意见相同；对比文件10所公开的方案是一个失败的方案，无法给出的得到权利要求59的技术启示；权利要求64的附加技术特征未被对比文件2所公开。专利权人未在口头审理中对权利要求6、8-10、20、48、50、60-63的创造性发表单独的具体意见。
6、第二请求人于2008年6月23日提交了无效请求补充意见，其中主要新增了权利要求1相对于对比文件1和对比文件2的结合不具备创造性的理由，并进行了具体的特征对比，并对其它权利要求的对比文件使用方式作了调整。第二请求人调整后的对比文件的具体使用方式为：
独立权利要求1相对于对比文件1和2的结合、对比文件2和6的结合、对比文件6与公知常识的结合、对比文件1、2、6的结合、对比文件1、2、7的结合以及对比文件1、2、8的结合不具备创造性。
对于权利要求1的从属权利要求，第二请求人认为，权利要求2的附加技术特征在对比文件1或6中公开，权利要求3的附加技术特征属于本领域的公知常识，或在对比文件1或6中公开，权利要求4的附加技术特征在对比文件1或2或6或7中公开，权利要求5、6的附加技术特征是本领域的公知常识，或者在对比文件1或6或7中公开，权利要求7的附加技术特征在对比文件3中公开，权利要求8的附加技术特征在对比文件1或4中公开，权利要求9的附加技术特征在对比文件3中公开，权利要求10的附加技术特征在对比文件1中公开，或相对于对比文件6或7不具备创造性，或相对于其它对比文件与对比文件6或7的结合不具备创造性，权利要求11的附加技术特征在属于对比文件1中公开的特征的等同手段的直接置换，或相对于对比文件6不具备创造性，或相对于其它对比文件与对比文件6的结合不具备创造性，权利要求12的附加技术特征是公知常识，或在对比文件1或6或7或11中公开，权利要求13的附加技术特征是公知常识，或在对比文件1或2或6或11中公开，权利要求14的附加技术特征属于公知常识，或在对比文件1或6或7中公开，或相对于对比文件6或7不具备创造性，或相对于其它对比文件与对比文件6或7的结合不具备创造性，权利要求15的附加技术特征在对比文件1或6中公开，权利要求16的附加技术特征在对比文件1或7中公开，权利要求17的附加技术特征在对比文件1或7中公开，权利要求18的附加技术特征属于公知常识，权利要求19的附加技术特征在对比文件5中公开，权利要求20的附加技术特征在对比文件1中公开，权利要求21的附加技术特征在对比文件5中公开，权利要求22-38的附加技术特征的评价方式与的权利要求2-18的附加技术特征的评价方式相同，权利要求39、41的附加技术特征在对比文件5中公开，权利要求40的附加技术特征在对比文件1中公开，权利要求42-45的附加技术特的评价方式与权利要求10-13的评价方式相同。
对于独立权利要求46，第二请求人认为，以对比文件1作为最接近的现有技术时，其相对于对比文件1加对比文件3加公知常识的结合、对比文件1加对比文件3加对比文件2的结合、对比文件1加对比文件3加对比文件6的结合不具备创造性；以对比文件2作为最接近的现有技术时，权利要求46相对于对比文件2加对比文件6加对比文件3的结合、对比文件2加对比文件7加对比文件3的结合、对比文件2加对比文件8的结合不具备创造性。
对于权利要求46的从属权利要求，第二请求人认为：权利要求47的附加技术特征属于公知常识，或在对比文件1或6中公开，权利要求48的附加技术特征在对比文件1或4中公开，或相对于对比文件6或对比文件2与公知常识的结合不具备创造性，权利要求49的附加技术特征属于本领域的公知常识，或相对于对比文件2或对比文件6缺乏创造性，或相对于其它对比文件与对比文件8或9之一的结合缺乏创造性，权利要求50的附加技术特征在对比文件1或7中公开，权利要求51的附加技术特征属于公知常识，权利要求52的附加技术特征在对比文件1-8中均有公开，权利要求53-58的附加技术特征的评价方式与权利要求10-15的评价方式相同，权利要求59的附加技术特征在对比文件2或6或10中公开，权利要求60的附加技术特征在对比文件6或7或8中公开，权利要求61的附加技术特征在对比文件6或7中公开，权利要求62、63的附加技术特征的评价与权利要求19和权利要求21的附加技术特征的评价相同，均在对比文件5中公开，或相对对比文件1与对比文件5和公知常识的结合不具备创造性，权利要求64的附加技术特征在对比文件2中公开。
第二请求人认为，新的独立权利要求1和46及其所有从属权利要求仍然得不到说明书的支持，不符合专利法第26条第4款的规定。
第二请求人于2008年6月24日提交了北京市公证协会的针对对比文件6的查证证明。专利权人于2008年7月11日核实后，认可第二请求人提交的对比文件6的真实性、合法性。
合议组于2008年6月27日将第二请求人于2008年6月23日提交了无效请求补充意见转送给专利权人，并要求专利权人在收到上述文件之日起15日内答复。
专利权人于2008年7月17日针对上述意见提交了意见陈述书。专利权人认为，关于权利要求1-64的创造性，其已在口头审理中进行了详细的陈述；专利权人认为，权利要求1-64也得到了说明书的支持。
合议组于2008年8月6日将专利权人2008年7月17日提交的意见陈述书转送给第二请求人。
第二请求人于2008年9月5日再次提交意见陈述书，陈述了权利要求1和权利要求46不符合专利法第26条第4款的理由。
第一请求人于口头审理之后提交了附件1（其与第二请求人提交的对比文件6相同）的广东省公证协会的查证证明。除此之外第一请求人没有在口头审理之后提交任何补充的理由和证据。
第二请求人未在口头审理之后提交关于专利权人的代理人王海文不能出席口头审理的相关规定。合议组视为第二请求人对王海文的出席资格无异议。
基于以上审理，合议组认为，本案事实已经清楚，可以依法作出审查决定。
二、决定的理由
1．本决定针对的文本和使用的证据：
专利权人针对第二请求人提出的无效宣告请求修改了本专利的权利要求书，经审查，该修改符合专利法实施细则第68条的规定以及专利法第33条的规定，因此，本决定所针对的权利要求书为专利权人于2008年4月14日提交的权利要求第1-64项，以及授权公告时的说明书、说明书附图、摘要和摘要附图。
第二请求人提交了对比文件1-11作为评价本专利创造性的现有技术。专利权人认可第二请求人提交的对比文件1-5、7-11的真实性、译文准确性，对上述对比文件构成现有技术无异议，专利权人在核实对比文件6的查证证明后对对比文件6的真实性无异议。合议组经核实，没有发现明显影响对比文件1-11的真实性、合法性和关联性的瑕疵，因此，本决定以第二请求人提交的对比文件1-11作为评价本专利创造性的对比文件。
2．关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定，创造性，是指同申请日以前已有的技术相比，该发明有突出的实质性特点或显著的进步。
如果一项权利要求的技术方案相对于最接近的现有技术的区别技术特征已经在另外的对比文件中公开，或者该区别技术特征属于本领域的公知常识，且现有技术整体上给出了启示使本领域技术人员可以将该区别技术特征与最接近的现有技术相结合，则该项权利要求的技术方案对本领域技术人员来说是显而易见的，不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
本决定采用第二请求人提出的用对比文件1和对比文件2结合评价独立权利要求1的创造性、用对比文件1、对比文件2和对比文件3结合评价独立权利要求46的创造性，在此基础上以第二请求人在口头审理中或在2008年6月23日提交的无效请求补充意见中提出的对比文件的使用方式评价从属权利要求2-45和47-64的创造性。
（1）关于权利要求1：
权利要求1保护一种从蓝宝石衬底上制造芯片的方法，对比文件1公开了一种切割单晶氧化物制成的预成型件的工艺，具体包括（说明书的4栏第31行至第6栏第9行，实施例3、4，附图1-3）：
将晶片1固定在工作台上，实施例3、4公开该晶片可以是氮化铝单晶（即蓝宝石）；
使用波长为266nm的脉冲Nd-YAG激光器（即固态激光器）发出的激光对晶片1的表面1a进行扫描，使得晶片被解理（即能量脉冲足以将蓝宝石衬底切割）；晶片表面上的光斑尺寸为20微米，重复频率为3kHz，脉冲宽度为45纳秒（即脉冲持续时间），且激光束输出功率为350mW（通过与光斑尺寸、脉冲宽度、重复频率等参数计算可知其能量密度约为37J/cm2）；
用激光脉冲对晶片进行预定的烧蚀，从而在表面1a上得到划线（参见对比文件1图1、2）。
将权利要求1与对比文件1相比较可以看出，权利要求1与对比文件1的区别技术特征在于：（1）脉冲的持续频率权利要求1中限定为10-30纳秒之间，而对比文件1公开的为45纳秒；（2）脉冲重复频率权利要求1中限定为10-50kHz，而对比文件1为3kHz。这些特征所起的作用均为实现对蓝宝石衬底的划线。
对比文件2公开了一种固体激发的脉冲UV激光器，该激光器可以切割包括氧化铝等材料，该激光器具有重复频率为10kHz的脉冲能量，脉冲宽度为30ns（参见对比文件2正文第2、3部分）。
由此可见，对比文件2已经公开了上述两个区别技术特征，这些特征在对比文件2中的作用也是实现包括氧化铝在内的原料进行划线等加工。因此，本领域技术人员可以从对比文件2中得到启示，将其中公开的脉冲持续时间和脉冲重复频率的具体选值应用到对比文件1的技术方案中，从而实现对蓝宝石衬底的划线。即对比文件1和2的结合从而得到权利要求1的技术方案对本领域技术人员来说是显而易见的，权利要求1不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
专利权人认为，试图组合对比文件1和2仅是在了解了权利要求1的技术方案之后得到的，激光切割技术涉及激光种类、加工对象等因素，各参数是不能简单组合的，也不可能只改变一个参数而不改变其他参数。
对此，合议组认为，蓝宝石是一种氧化铝材料，对比文件1和2所公开的均是使用固态激光器对氧化铝进行划线等加工的方法，其激光种类和加工对象都是相同的。至于加工参数，本领域技术人员明了各参数之间需要相互配合才能切割，而且，各参数均有一合适可选的数值范围，而并不局限于某一具体数值，这是本领域的公知常识。因此，本领域技术人员在看到激光种类、加工对象均相同的对比文件2中公开的具体的脉冲宽度和重复频率后，容易想到将这些参数应用到对比文件1的技术方案中，并且通过有限次实验得到具体的参数组合，从而实现对蓝宝石的划线。本领域技术人员在对比文件1和2的基础上得到权利要求1的技术方案是显而易见的，无需付出创造性劳动，因此，权利要求1不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
（2）关于权利要求2
权利要求2是权利要求1的从属权利要求，对比文件1公开了切割后的晶片形成多个单独的小的单元并进行分离。由此可见，权利要求2的附加技术特征已在对比文件1中公开，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求2也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（3）关于权利要求3
权利要求3是权利要求1的从属权利要求，其附加技术特征为包括引发连续脉冲的重叠。对本领域技术人员来说，欲在衬底上得到连续的划线，自然能够想到使连续脉冲重叠从而使得相邻的烧蚀部位重叠，得到连续的划线。由此可见，权利要求3的附加技术特征是本领域的公知常识。在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，权利要求3也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（4）关于权利要求4
权利要求4是权利要求1的从属权利要求，对比文件1公开了激光的波长为266nm。由此可见，权利要求4的附加技术特征已在对比文件1中公开，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求4也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（5）关于权利要求5
权利要求5是权利要求1的从属权利要求，对比文件1公开了在0.4毫米的氧化铝晶片上刻出200微米（即0.2毫米）深的槽，也就是说，划线被割至衬底厚度的一半。由此可见，权利要求5的附加技术特征已在对比文件1中公开，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求5也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（6）关于权利要求6
权利要求6是权利要求1的从属权利要求，对比文件1公开了其使用的激光为调Q脉冲激光。由此可见，权利要求6的附加技术特征已在对比文件1中公开，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求6也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（7）关于权利要求7
权利要求7是权利要求1的从属权利要求，对比文件3公开了一种切断材料的端部检测方法和装置，其具体公开了（说明书第13-16段，图1、2、4）：激光割据1（相当于激光切割装置）具有板端检测装置10，当其检测到切割达到被切割板的端部后，停止切割。由此可见，对比文件3已经公开了可以在激光切割装置中设置边缘检测装置以防止激光偏离出被切割物的技术内容，且检测装置在对比文件3中的作用与在权利要求7中的作用相同，因此本领域技术人员在对比文件3的启示下可以将其与对比文件1和2相结合从而得到权利要求7的技术方案。权利要求7相对于对比文件1、2和3的结合不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（8）关于权利要求8
权利要求8是权利要求1的从属权利要求，对比文件1公开了将粘附带2附着到晶片1后表面1b上，而防止激光脉冲作用于粘附带是对比文件1的技术方案必然具备的功能。由此可见，权利要求8的附加技术特征已在对比文件1中公开，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求8也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（9）关于权利要求9
权利要求9是权利要求1的从属权利要求，其附加技术特征实际上是权利要求7和权利要求8的附加技术特征的组合。根据第（7）、（8）点的论述，该区别技术特征已在对比文件3或对比文件1中公开了。因此，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，权利要求9相对于对比文件1、2和3的结合也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（10）关于权利要求10和11
权利要求10为权利要求1的从属权利要求，对比文件1公开了其使用的激光为调Q脉冲Nd-YAG激光器。由此可见，权利要求10的附加技术特征已在对比文件1中公开，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求10也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（11）关于权利要求11
权利要求11为权利要求1的从属权利要求，对比文件1公开了其使用的激光为调Q脉冲Nd-YAG激光器。而对本领域技术人员来说，Nd-YAG激光器和Nd-YVO4激光器均为本领域公知的固态激光器，其特点和带来的效果也是本领域技术人员所公知的，用Nd-YVO4激光器替代Nd-YAG激光器是本领域技术人员容易想到的。因此，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求11也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（12）关于权利要求12
权利要求12为权利要求1的从属权利要求，其附加技术特征为：包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd :YAG激光器产生激光能量的脉冲。对比文件1公开了其使用的激光为调Q脉冲Nd-YAG四次谐波激光器。而对本领域技术人员来说，所需激光的谐波次数以及波长是可以根据实际需要进行选择的，而用二极管泵浦也是本领域的公知常识。因此，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，权利要求12也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（13）关于权利要求13
权利要求13为权利要求1的从属权利要求，其附加技术特征为：包括使用一由二极管泵浦的、运行波长355纳米的第三谐波的Q开关 Nd :YVG激光器产生激光能量的脉冲。可见，其与权利要求12的不同仅在于激光器为Nd:YVO4激光器。然而， Nd:YVO4激光器也是本领域公知的固态激光器，其特点和所能带来的效果也是本领域技术人员所公知的。因此，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，权利要求13也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（14）关于权利要求14
权利要求14为权利要求1的从属权利要求，对比文件1公开了其使用的光斑尺寸为20微米。而对本领域技术人员来说，实际所需的光斑尺寸是本领域技术人员可以根据设备现状和工艺要求进行选择的，属于本领域的常用技术手段，将光斑尺寸调整为5-15nm没有给其技术方案带来任何实质性的改进。因此，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，权利要求14也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（15）关于权利要求15
权利要求15为权利要求1的从属权利要求，其附加技术特征对连续脉冲的重叠率进行了限定。对本领域技术人员来说，连续脉冲的重叠率是可以根据实际需要并配合其他参数进行选择的，属于本领域的常用技术手段，没有给其技术方案带来任何实质性的改进。因此，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，权利要求15也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（16）关于权利要求16
权利要求16为权利要求1的从属权利要求，对比文件1已经公开了晶片1具有表面1a（相当于本利要求中待划线的背面）和背面1b（即有源表面），且将背面1b防止在粘附带2上，然后将晶片固定到工作台上；而将脉冲导向表面1a上是对比文件1必然具有的步骤。由此可见对比文件1已经公开了权利要求16的附加技术特征，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求16也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（17）关于权利要求17
权利要求17为权利要求1的从属权利要求，对比文件1已经公开了晶片1具有表面1a（相当于本利要求中待划线的背面）和背面1b（即有源表面），而将脉冲导向表面1a上是对比文件1必然具有的步骤。由此可见对比文件1已经公开了权利要求17的附加技术特征，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求17也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（18）关于权利要求18
权利要求18为权利要求1的从属权利要求，对本领域技术人员来说，为了安装预定图案对衬底进行划线，则固定衬底的平台包括一可移动的X/Y平台是本领域技术人员自然而然的选择，属于本领域的公知常识。因此，在其引用的权利要求1相对于对比文件1和2的结合不具备创造性的前提下，权利要求18也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（19）关于权利要求19
权利要求19是权利要求1的从属权利要求，其附加技术特征限定了相对于该划线图案中的划线方向控制该激光脉冲的偏振。对比文件5公开了一种用偏振激光对衬底进行加工的方法，其中（说明书第3栏第13-30行，图2）公开了当光的偏振方向与划线方向相同时，可以得到直且具有最大穿透的空洞。由此可见，对比文件5给出了当光的偏振方向与划线方向相同时，能得到直且具有最大穿透的空洞（即较好划线效果），其与该特征在权利要求19中的作用相同。因此，对比文件5给出了将该特征与对比文件1和2相结合，从而得到权利要求19的技术方案的技术启示。权利要求19不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
对于专利权人主张的对比文件5公开的是二氧化碳激光器，不能用于蓝宝石切割的主张，合议组认为，对比文件5公开了激光的偏振方向与划线方向相同时，可以得到更好的划线效果，显然，该效果并不依赖于产生激光的是何种激光器，而是仅仅依赖于激光的偏振方向与划线方向的关系。也就是说，只要使激光的偏振方向与划线方向相同，就能得到好的划线效果。本领域技术人员显然可以直接将该内容应用到固态激光器上，从而实现对蓝宝石的切割。专利权人的主张不成立。
（20）关于权利要求20
权利要求20为权利要求19的从属权利要求，对比文件1已经公开使用固态UV激光器产生脉冲。由此可见对比文件1已经公开了权利要求20的附加技术特征，在其引用的权利要求19相对于对比文件1、2和5的结合不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求20也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（21）关于权利要求21
权利要求21为权利要求19的从属权利要求，其附加技术特征限定了控制偏振方向与划线方向一致的内容。根据对权利要求19的评述，对比文件5已经给出了将偏振方向与划线方向一致进行控制从而得到更好划线效果的内容，因此，当具有多个划线方向时，本领域技术人员自然可以想到令偏振方向与各个划线方向一致。由此可见，权利要求21的附加技术特征是本领域技术人员在对比文件5的基础上容易想到的，在其引用的权利要求19相对于对比文件1、2和5的结合不具备创造性的前提下，权利要求21也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（22）关于权利要求22-38
权利要求22-38均为权利要求19的从属权利要求，其附加技术特征与权利要求2-18的附加技术特征相同。因此，基于上述对权利要求2-18的附加技术特征的评述，权利要求22-38的附加技术特征或者被对比文件1、2或3所公开，或者属于本领域的常规手段、公知常识，因此，在其引用的权利要求19相对于对比文件1、2和5的结合不具备创造性的前提下，权利要求22-38也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（23）关于权利要求39
权利要求39是权利要求19的从属权利要求，对比文件5公开了一种用偏振激光对衬底进行加工的方法，其中（说明书第3栏第13-30行，图2）公开了当光的偏振方向与划线方向相同时，可以得到直且具有最大穿透的空洞。由此可见，对比文件5给出了当光的偏振方向与划线方向相同时，能得到较好划线效果。因此，本领域技术人员可以据此得到启示将偏振控制在平行于被刻划的划线排列，以得到较好划线效果。因此，本领域技术人员可以将对比文件5公开的内容与对比文件1和2相结合，从而得到权利要求39的技术方案。权利要求39不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（24）关于权利要求40
权利要求40是权利要求2的从属权利要求，其附加技术特征限定了在被切割的蓝宝石衬底上形成的集成器件阵列中单个芯片之间被25微米或更小的迹分隔，并将激光能量引导至蓝宝石衬底的背面。对比文件1已经公开了激光脉冲的光斑直径为20微米，显然，划出来的迹线的宽度小于25微米，而将激光能量引导至蓝宝石衬底待切割的背面也是对比文件1必备的技术内容。因此，权利要求40的附加技术特征已在对比文件1中公开，在其引用的权利要求2不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求40不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（25）关于权利要求41
权利要求41是权利要求40的从属权利要求，其附加技术特征与权利要求39的附加技术特征相同，参照对权利要求39的评述，该特征已在对比文件5中给出了启示。因此，在其引用的权利要求40不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求41不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（26）关于权利要求42-45
权利要求42-45均为权利要求41的从属权利要求，其附加技术特征与权利要求10-13的附加技术特征相同。参见对权利要求10-13的评价，这些附加技术特征或者被对比文件1所公开，或者属于本领域的公知常识，因此，在其引用的权利要求41不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求42-45也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（27）关于权利要求46
独立权利要求46请求保护一种用于对蓝宝石衬底划线的系统，对比文件1公开了一种切割单晶氧化物制成的预成型件的工艺，同时公开了实现该工艺的相关的系统，具体包括（说明书的4栏第31行至第6栏第9行，实施例3、4，附图1-3）：
使用调Q脉冲Nd-YAG激光的四次谐波的点扫描系统（相当于对蓝宝石衬底划线的系统以及使用的激光器），其发出的激光波长为266nm，激光在晶片表面上的脉冲宽度为45纳秒（即脉冲持续时间），光斑尺寸为20微米，重复频率为3kHz；
将晶片1固定在工作台上，且该工作台可以以设定的速率移动，实施例3公开该晶片可以是氮化铝单晶（即蓝宝石衬底）；
使用上述激光对晶片1的表面1a进行扫描，形成具有一定深度和宽度的槽，使得晶片被解理（即能量脉冲足以将蓝宝石衬底切割）。由此可见，对比文件1的系统必然包括一光学系统，用来引导脉冲作用在蓝宝石衬底上；以及对比文件1的系统也必然包括一控制系统，其与激光器和工作台相连，并对二者进行控制，使得连续脉冲重叠，并在一定移动速率下对蓝宝石衬底按预定图案进行划线。
由此可见，权利要求46与对比文件1的区别技术特征在于：（1）脉冲的宽度：权利要求1中限定为小于30纳秒，而对比文件1公开的为45纳秒；（2）脉冲重复频率：权利要求1中限定为大于10kHz，而对比文件1为3kHz；（3）权利要求1还包括一与控制系统相连接的边缘探测系统，用来探测衬底的边缘，且控制系统连接该边缘探测系统。这些特征所起的作用为实现对蓝宝石衬底的划线，并防止激光对衬底外的器件造成伤害。
对于区别技术特征（1）、（2），对比文件2公开了一种固体激发的脉冲UV激光器，该激光器可以切割包括氧化铝等材料，该激光器具有重复频率为10kHz或0-100kHz的脉冲能量，其脉冲宽度为30ns（参见对比文件2正文第2、3部分）。
由此可见，对比文件2已经公开了权利要求46的区别技术特征（1）、（2），这些特征在对比文件2中的作用也是实现对包括氧化铝在内的原料进行划线等加工。因此，本领域技术人员可以从对比文件2中得到启示，将其中公开的脉冲持续时间和脉冲重复频率的具体选值应用到对比文件1的技术方案中，从而实现对蓝宝石衬底的划线。即对比文件1和对比文件2中公开的上述特征的相结合对本领域技术人员来说是显而易见的。
对于区别技术特征（3），对比文件3公开了一种切断材料的端部检测方法和装置，其具体公开了（说明书第13-16段，图1、2、4）：激光割据1（相当于权利要求46中的激光划线系统）具有板端检测装置10（相当于边缘探测系统），当其检测到切割达到被切割板（相当于蓝宝石衬底）的端部后，其向驱动控制部分13（相当于控制系统）发出板端检知信号，控制激光割据1结束切割。由此可见，对比文件3已经公开了可以在激光划线系统中设置边缘检测装置，且控制系统响应该边缘检测装置以防止激光偏离出被切割物的技术内容，本领域技术人员可以从对比文件3中得到启示将对比文件3中公开的上述内容应用到对比文件1公开的激光划线系统中，以实现对衬底边缘的检测并进而控制切割的目的。
专利权人认为，试图组合对比文件1和2仅是在了解了权利要求1的技术方案之后得到的，激光切割技术涉及激光种类、加工对象等因素，各参数是不能简单组合的，也不可能只改变一个参数而不改变其他参数。
对此，合议组认为，蓝宝石是一种氧化铝材料，对比文件1和2所公开的均是使用固态激光器对氧化铝进行划线等加工的方法，其激光种类和加工对象都是相同的。至于加工参数，本领域技术人员明了各参数之间需要相互配合才能切割，而且，各参数均有一合适可选的数值范围，而并不局限于某一具体数值，这是本领域的公知常识。因此，本领域技术人员在看到激光种类、加工对象均相同的对比文件2中公开的具体的脉冲宽度和重复频率后，容易想到将这些参数应用到对比文件1的技术方案中，并且通过有限次实验得到具体的参数组合，从而实现对蓝宝石的划线。因此，本领域技术人员在对比文件1、2和3的基础上得到权利要求46的技术方案是显而易见的，无需付出创造性劳动，因此，权利要求46不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性。
综上所述，权利要求46的区别技术特征分别在对比文件2和3中公开，且对比文件2和3均给出了将上述特征应用到对比文件1中的启示。因此，权利要求46的技术方案相对于对比文件1、2、3的结合对本领域技术人员来说是显而易见的，权利要求46不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（28）关于权利要求47
权利要求47是权利要求46的从属权利要求，其附加技术特征为控制系统控制平台的移动速率，产生连续脉冲的重叠。对本领域技术人员来说，欲在衬底上得到连续的划线，自然能够想到根据连续脉冲的重复频率控制平台的移动速率从而使得相邻的烧蚀部位重叠。而且对比文件1第3实施例也公开了具体的扫描速率和脉冲重复频率的参数组合。由此可见，权利要求3的附加技术特征是本领域的公知常识，且对比文件1也给出了具体的应用示例。因此，在其引用的权利要求46相对于对比文件1、2、3的结合不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求47也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（29）关于权利要求48
权利要求48是权利要求46的从属权利要求，对比文件1已经公开了切割后用丙酮洗涤每个切块使抗蚀剂膜溶解从而离开切块表面（相当于一残余物排出系统）的内容，由此可见，权利要求48的附加技术特征已在对比文件1中公开，在其引用的权利要求46相对于对比文件1-3不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求48也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（30）关于权利要求49
权利要求49是权利要求46的从属权利要求，对比文件1已经公开了激光点扫描系统可以在氧化铝衬底上形成一定宽度和深度的槽。由此可见，对比文件1中的控制系统必然包括了一个建立划线图案的规则，从而对衬底进行有目的的划线。因此，权利要求48的附加技术特征是对比文件1必然包括的内容，在其引用的权利要求46相对于对比文件1-3不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求49也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（31）关于权利要求50
权利要求50是权利要求46的从属权利要求，对比文件1（比较例1）已经公开了用真空吸盘将晶片1固定到工作台上的内容，由此可见，权利要求50的附加技术特征“真空吸气装置”已在对比文件1中公开，在其引用的权利要求46相对于对比文件1-3不具备创造性的前提下，基于同样道理，权利要求50也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（32）关于权利要求51
权利要求51是权利要求46的从属权利要求，其附加技术特征为激光划线系统还包括一用于观察安装在该平台上的衬底的视频系统。对本领域技术人员来说，在晶片加工系统中安装视频系统用以观察被加工的对象属于本领域的公知常识，因此，在其引用的权利要求46相对于对比文件1-3不具备创造性的前提下，权利要求51也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（33）关于权利要求52
权利要求52是权利要求46的从属权利要求，其附加技术特征为控制系统还包括一用于设定脉冲重复频率、脉冲能量和平台速度的参数的规则。对本领域技术人员来说，欲实现对衬底的切割，必定要使得脉冲频率、脉冲能量和平台速度等相互配合才能完成，因此，在系统中设定上述参数之间的规则是自然而然的选择，是本领域的公知常识，而且对比文件1也具体给出了一具体的参数组合方式。因此，在其引用的权利要求46相对于对比文件1-3不具备创造性的前提下，权利要求52也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（34）关于权利要求53-56
权利要求53-56均为权利要求46的从属权利要求，其附加技术特征与权利要求10-13相同，均为对激光器的具体选择作出了限定。参照对权利要求10-13的评价，这些附加技术特征或者已被对比文件1所公开，或者属于本领域的常用技术手段，均未对现有技术作出实质性的改进。因此，在其引用的权利要求46相对于对比文件1-3不具备创造性的前提下，权利要求53-56也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（35）关于权利要求57-61、64
权利要求57-61、64均为权利要求46的从属权利要求，其附加技术特征对激光划线系统的光斑尺寸、脉冲重叠速率、脉冲频率、能量密度以及切割深度等参数或参数组合进行了具体的限定。参照对权利要求1、14、15、46等的评价可知，本领域技术人员明了：要实现对蓝宝石衬底的切割，必须对上述参数根据实际需要进行选择，而具体的参数组合是本领域技术人员在具体的切割操作中根据具体情况进行选择的，属于本领域技术人员的常用技术手段。而且，对比文件1的实施例3、4中也都给出了具体参数组合的示例，因此，本领域技术人员可以在对比文件1的基础上结合本领域的常用技术手段得到权利要求57-61中所具体限定的参数或参数组合。因此，在其引用的权利要求46相对于对比文件1-3不具备创造性的前提下，权利要求57-61、64也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
（36）关于权利要求62、63
权利要求62、63均为权利要求46的从属权利要求，其附加技术特征限定了光学系统包括一线性偏振脉冲的功能以及可以调整该脉冲的偏振。对比文件5公开了一种用偏振激光对衬底进行加工的方法，其中（说明书第3栏第13-30行，图2）公开了当光的偏振方向与划线方向相同时，可以得到直且具有最大穿透的空洞。由此可见，对比文件5给出了当光的偏振方向与划线方向相同时，能得到较好划线效果。因此，本领域技术人员可以从对比文件5中得到启示，使光学系统具有使脉冲偏振的功能，并且可以根据不同的划线方向调整偏振的方向。因此，本领域技术人员可以从对比文件5中得到启示，将其中的线性偏振脉冲以及调整偏振方向的功能应用到对比文件1公开的光学系统中，从而得到更好的划线效果。由此可见，权利要求62、63的附加技术特征已在对比文件5中公开并给出了与对比文件1结合的启示。因此，在其引用的权利要求46相对于对比文件1-3不具备创造性的前提下，权利要求62.63也不具有突出的实质性特点和显著进步，不具备创造性。
综上所述，对本领域技术人员来说，本专利的所有权利要求相对于现有技术及其结合均不具备突出的实质性特点和显著的进步，不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
鉴于已经得出所有权利要求均不具备创造性的结论，本决定不再对其它无效宣告理由和证据进行评价。
三、决定
宣告03142382.5号发明专利权全部无效。
当事人对本决定不服的，可以根据专利法第46条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京市第一中级人民法院起诉。根据该款的规定，一方当事人起诉后，另一方当事人应当作为第三人参加诉讼。
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