一种一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈-无效决定


发明创造名称:一种一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈
外观设计名称:
决定号:17071
决定日:2011-08-02
委内编号:5W101374
优先权日:
申请(专利)号:200720089215.0
申请日:2007-01-19
复审请求人:
无效请求人:西安理工晶体科技有限公司
授权公告日:2008-01-02
审定公告日:
专利权人:洛阳金诺工程机械有限公司
主审员:
合议组组长:侯曜
参审员:周子文
国际分类号:C30B 13/20,H05B 6/42
外观设计分类号:
法律依据:专利法第22条第3款;第4款,第26条第3款,专利法实施细则第21条第2款
决定要点:判断一项实用新型专利是否具有实用性,要以权利要求书和说明书所公开的整体技术内容为依据,如果所保护的技术方案具有在产业中被制造或使用的可能性,并且产生了本领域技术人员可以预料的积极和有益的效果,则该实用新型具有实用性。如果实用新型权利要求的技术方案与现有技术相比存在区别特征,并且现有技术中没有给出采用该区别特征以解决该技术方案所实际解决的技术问题的启示,同时该区别特征的引入能够带来有益的技术效果,则该技术方案具有实质性特点和进步,具有创造性。
全文:
一、案由
本无效宣告请求案涉及国家知识产权局于2008年1月2日授权公告的、名称为“一种一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈”的第200720089215.0号实用新型专利(下称本专利),其申请日为2007年1月19日,专利权人为洛阳金诺工程机械有限公司(由刘朝轩变更而来)。本专利授权公告的权利要求书如下:
“1、一种一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:在高频线圈(3)上部设有带斜面的高频线圈上面(9),下部设有梯形的高频线圈下面(10),在高频线圈(3)的中部设有六个内孔(8);其冷却水道(4)环绕高频线圈(3),并在高频线圈(3)斜开口(13)处的两侧与电流输送暨冷却水输送铜管(11)及另一根电流输送暨冷却水输送铜管(12)固定连接。
2、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其高频线圈(3)下部设置的梯形高频线圈下面(10)可由多个阶梯组成。
3、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其高频线圈(3)上部设置的高频线圈上面(9)可由外至内形成一个斜坡。
4、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其冷却水道(4)可以直接在高频线圈(3)上打槽,然后埋入铜管再由金属钎焊固定。
5、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其冷却水道(4)可以直接在高频线圈(3)上打槽,然后利用铜片覆盖并由金属钎焊固定。
6、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其斜开口(13)直接惯通至六个内孔(8)的中心一个。
7、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其六个内孔(8)为中心一个另外五个内孔环绕排列。
8、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其高频线圈(3)中部设置的六个内孔(8)可设计为圆形内孔(14)、方形内孔(15)、长方形内孔(17)、三角形内孔(19)、多边形内孔(21)、不规则边形内孔(22)、菱形内孔(23)、梯形内孔(25)、长圆形内孔(27)及椭圆形内孔(28)。
9、如权利要求8所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其内孔(8)形状设计为带角时可以使用带角度的设计。
10、如权利要求8所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其内孔(8)在设计为带角时同样可以使用内角倒圆。”
针对上述专利权,西安理工晶体科技有限公司(下称请求人)于2011年1月4日向专利复审委员会提出无效宣告请求,并提交了下述证据:
证据1:中国第03819331.0号发明专利申请公开说明书,公开日为2005年9月28日,复印件共76页。
请求人认为:(1)本专利权利要求1-10不符合专利法第22条第3款的规定。证据1公开了一种感应加热线圈的结构(参见附图1、附图4)本专利权利要求1与证据1区别特征在于:“在高频线圈的上部设有带斜面的高频线圈上面9,下部设有梯形的高频线圈下面10”,该区别特征是本领域技术人员容易想到的,因此,权利要求1不具备创造性。权利要求2-10的附加技术特征属于公知常识,在权利要求1不具备创造性的前提下,权利要求2-10也不具备创造性。(2)本专利权利要求1-10不符合专利法第22条第4款的规定。根据原专利权人刘朝轩在2008年11月25日提交的另一份专利申请(注,即在后提交的证据2)的说明书背景技术中的记载,本专利没有设置用于电流导流的结构,使得线圈无法工作,拉制不出硅芯;此外,高频线圈3中间的一个内孔不能拉制出硅芯,不能同时生产出六根硅芯。(3)本专利的说明书不符合专利法第26条第3款的规定。由于没有设置“用于电流导流的结构”的缺陷,不能实现一次生产六根硅芯的发明目的。(4)本专利权利要求1中缺少“设置用于电流导流的结构”这一必要技术特征,不符合专利法实施细则第21条第2款的规定。
经形式审查合格后,专利复审委员会受理了上述请求,于2011年1月4日向双方当事人发出《无效宣告请求受理通知书》,并将《专利权无效宣告请求书》及其附件的副本转送给专利权人,要求其在指定的期限内答复,同时成立合议组对本无效请求案进行审理。
专利权人于2011年1月28日针对上述《无效宣告请求受理通知书》提交了意见陈述书,同时在授权公告文本的基础上,对权利要求书进行了修改,将权利要求6的附加技术特征合并到权利要求1中,将其中的明显错误“惯通”修改为“贯通”,并删除了权利要求6。修改后的权利要求书如下:
“1、一种一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:在高频线圈(3)上部设有带斜面的高频线圈上面(9),下部设有梯形的高频线圈下面(10),在高频线圈(3)的中部设有六个内孔(8);其冷却水道(4)环绕高频线圈(3),并在高频线圈(3)斜开口(13)处的两侧与电流输送暨冷却水输送铜管(11)及另一根电流输送暨冷却水输送铜管(12)固定连接;其斜开口(13)直接贯通至六个内孔(8)的中心一个。
2、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其高频线圈(3)下部设置的梯形高频线圈下面(10)可由多个阶梯组成。
3、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其高频线圈(3)上部设置的高频线圈上面(9)可由外至内形成一个斜坡。
4、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其冷却水道(4)可以直接在高频线圈(3)上打槽,然后埋入铜管再由金属钎焊固定。
5、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其冷却水道(4)可以直接在高频线圈(3)上打槽,然后利用铜片覆盖并由金属钎焊固定。
6、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其六个内孔(8)为中心一个另外五个内孔环绕排列。
7、如权利要求1所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其高频线圈(3)中部设置的六个内孔(8)可设计为圆形内孔(14)、方形内孔(15)、长方形内孔(17)、三角形内孔(19)、多边形内孔(21)、不规则边形内孔(22)、菱形内孔(23)、梯形内孔(25)、长圆形内孔(27)及椭圆形内孔(28)。
8、如权利要求7所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其内孔(8)形状设计为带角时可以使用带角度的设计。
9、如权利要求7所述的一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:其内孔(8)在设计为带角时同样可以使用内角倒圆。”
专利权人认为:(1)本专利与证据1在技术领域、所要解决的技术问题、所采取的技术方案以及技术效果方面均不相同,证据1无法用来评价本专利的创造性。(2)实用性是指该实用新型的技术方案具有在产业中被制造或使用的可能性,满足实用性要求的技术方案不能违背自然规律,并且能够以产业的方式进行实施,而产品的成品率低与不具有再现性有本质的区别。另外,请求人也没有提出任何证据证明本专利的技术方案“无法工作”。(3)设置“电流导流的结构”是为了使线圈上的电流分布更均匀,属于优选的技术方案,而非“必要技术特征”。因此,本专利不存在说明书不符合专利法第26条第3款的规定、权利要求1不符合专利法实施细则第21条第2款规定的问题。
2011年2月8日,请求人提交意见陈述书,其中增加了无效理由,并提供了如下证据(编号续前):
证据2:公开号为CN101487136A的中国第200810181998.4号发明专利申请公布说明书,申请日为2008年11月25日,公开日为2009年7月22日,复印件共10页;
证据3:美国专利US3886509,公开日为1975年5月27日,复印件及其中文译文共9页;
证据4:英国专利GB609157,公开日为1948年9月27日,复印件及其中文译文共14页;
证据5:美国专利US4797525,公开日为1989年1月10日,复印件及其中文译文共9页;
证据6:美国专利US4109128,公开日为1978年8月22日,复印件及其中文译文共14页;
证据7:美国专利US5550354A,公开日为1996年8月27日,复印件及其中文译文共16页;
证据8:西安理工晶体科技有限公司与西安毅丰翻译有限公司签订的笔译服务合同和翻译费发票,复印件共2页;
证据9:公开号为CN1545109A的中国第200310115335.X号发明专利申请公开说明书,公开日为2004年11月10日,复印件共7页。
请求人认为:
(1)本专利与证据1的区别特征在于:①高频线圈(3)上部设有带斜面的高频线圈上面(9);②下部设有梯形的高频线圈下面(10);③在高频线圈(3)的中部设有六个内孔(8);④高频线圈有斜开口。证据1中的绕组线卷绕成多个涡旋状给出了本专利使用多孔(六孔)结构的技术启示。本专利也已经提到阶梯状作用在于尽可能使原料硅棒多靠近高频线圈的下部面。线圈的下部设计通常会根据线圈的磁通等来改变形状,梯形是本领域技术人员惯用的手段,也没有带来预料不到的效果。
(2)证据2是为了证明本专利的技术方案中没有设置用于电流导流的结构,导致专利产品不能工作,根本不能拉制硅芯。
(3)证据3公开了元件3(即高频线圈)上面带有斜面(参见附图2),6和8是两个中空端子,不仅可连接至合适的电势能电源以便在线圈内产生电流,还可分别连接至水以及水槽等热交换媒介。导管通过导电回路形成导电通路,引导热交换媒介从中穿过(参见说明书第2页最后一段、第3页倒数第二段最后两行)。环形区3和7分别还有两套端面9a和10a,保持两者间隔。本专利高频线圈(3)上部设有带斜面的高频线圈上面(9)和斜开口被证据3公开(两套端面9a和10a之间为斜开口)。因此,权利要求1相对于证据3结合证据1不具备创造性。
证据3还公开了高频线圈上面由外到内形成一个斜坡(参见附图2),当权利要求1不具备创造性时,其从属权利要求3也不具备创造性。
证据3公开了高频线圈材质最好为银、铜或者金属混合物(参见第3页倒数第二段),为了加快冷却和防止材料生锈,通常会选择散热好,不容易生锈的铜做管道,在高频线圈上打槽然后埋入铜管、用铜片覆盖并采用金属钎焊固定均为本领域技术人员常用的手段,当权利要求1不具备创造性时,其从属权利要求4-5也不具备创造性。
证据3公开了一种用来熔化原材料生产半导棒(对应于本专利的硅芯或晶体材料)的可调节的感应线圈(对应于本专利的高频线圈),高频线圈包括多匝,线圈上部带有倾斜的斜面,其中连接端子6、8(对应于本专利的电流输送和冷却水输送的管)是空的,可以用来连接电流线圈,也可以通入热交换的媒介例如水等,开口的两侧9a、10a与空的端子6、8连接(参见说明书第1页第13行至第3页第22行,附图1-2)。证据3与本专利的区别在于:①本专利的线圈的下部设有梯形的高频线圈下面,高频线圈的中部设置有6个内孔;②本专利的管道的材质为铜。本专利相对于证据3所解决的问题是采用线圈的下部为设定的结构形状,一次生产多根晶体材料减少能源浪费,选择管道的材料。证据9(参见说明书第1页第10行至第2页24行,附图4、6)公开了采用多目高频线圈4解决单目高频线圈损失磁通的问题,同时加工两个或多个工件,提高生产效率,本领域技术人员容易想到同时加工6个工件,线圈的下部设计通常会根据线圈的磁通等来改变形状,梯形是惯用的技术手段,而为了加快冷却和防止材料生锈,通常会选择散热好,不容易生锈的铜做管道。因此,本专利权利要求1相对于证据3和证据9以及本领域的公知常识不具备创造性。
本专利权利要求2-10分别引用权利要求1,其中,权利要求3的附加技术特征在证据3的图1-2中公开,权利要求8的附加技术特征在证据4的说明书第3页第22-31行和附图8、9中公开,权利要求2、4-7、9、10的附加技术特征是公知常识,因此,在权利要求1不具备创造性的条件下,权利要求2-10也不具备创造性。
(4)证据4公开了一种高频感应加热感应器,根据一次加热工件的数量,感应器(即高频线圈)可由一个或一个以上孔径组成,形成高频电流和循环冷却水通过的感应器连接(参见说明书第1页最后一段3-4行),环形感应器一侧由窄隙组成(参见附图1、7、8、9、10,说明书第3页第一段第1-2行)。斜开口的目的是为了使高频电流在分界处能形成交叉使原料硅棒均匀受热(参见本专利的说明书第5页13-14行),中心内孔四周还有5个孔是为了拉制6根晶体,只要将窄隙开到中间内孔就可以达到均匀受热的目的,所以在权利要求1不具备创造性的基础上,其从属权利要求6也不具备创造性。
证据4还公开了内孔可以为圆形、方形、矩形、多边形、梯形(参见附图2-9以及说明书第4-5页),内孔形状的不同是为了拉制出不同规格的晶体材料,在权利要求1不具备创造性的基础上,权利要求8也不具备创造性。
(5)证据5公开了扁平线圈4和备用加热器6形成公共间隙15,扁平线圈和备用加热器配有冷却通道7和8,相当于权利要求1中的高频线圈具有斜开口、高频线圈设置有冷却通道的技术特征。
(6)证据6公开了大直径半导体晶锭的生产方法及生产装置,正六边形的感应加热线圈向外延伸形成对应于缝隙2的凹陷3,缝隙2在供电线路1之间形成(参见说明书第4页第2-3行,附图1),相当于高频线圈的供电线路之间具有斜开口的技术特征,斜开口贯穿到线圈的中心(参见附图3),在权利要求1不具备创造性的基础上,其从属权利要求6也不具备创造性。
证据6还公开了空心截面可以是长方形、近似三角形或者锥形(参见说明书第2页第6段),在权利要求1不具备创造性的基础上,权利要求8也不具备创造性。
证据6公开了感应加热线圈的内部边缘可以是锐角或者孔径角(参见说明书第2页第6段),可见该证据已经公开了本专利中内孔的形状,其内孔形状的不同是为了拉制出不同规格的晶体材料,在权利要求1不具备创造性的基础上,权利要求9-10也不具备创造性。
(7)证据7公开了一种高频感应加热线圈,电源端子分别连接到环形导体的两端,提供高频电流(参见说明书第4页),冷却水从电源端子一侧进入导体再从另一电源端子流出,有效冷却高频感应加热线圈,可见该证据公开了权利要求1中的高频线圈其冷却水道环绕高频线圈,并在高频线圈斜开口处的两侧与电流输送暨冷却水输送钢管及另一根电流输送暨冷却水输送钢管固定连接的特征。本专利已经提到设计为阶梯状作用在于尽可能使原料硅棒多靠近高频线圈的下部面,线圈的下部设计通常会根据线圈的磁通等来改变形状,设计由多个阶梯组成是本领域技术人员惯用的手段,也没有带来预料不到的效果,当权利要求1不具备创造性的时候,权利要求2也不具备创造性。为了得到一次能拉六根硅芯的高频线圈,同时满足硅棒均匀受热的目的,本领域技术人员很容易联想到在高频线圈中间设置一个孔、外围环绕设置五个孔的方式,在权利要求1不具备创造性的基础上,权利要求7也不具备创造性。
2011年3月4日,本案合议组向双方当事人发出《无效宣告请求口头审理通知书》,定于2011年4月27日对本专利权的无效请求案进行口头审理,同时分别向双方当事人发出《转送文件通知书》,将专利权人于2011年1月28日提交的意见陈述书及其附件转送给请求人,将请求人于2011年2月8日提交的意见陈述书及其附件转送给专利权人。
专利权人于2011年3月25日针对上述《转送文件通知书》提交了意见陈述书,专利权人认为:(1)证据2的申请日和公开日都在本专利的申请日之后,不能作为现有技术使用。证据9公开的是一种用于真空器件中吸气计蒸散及金属热处理、熔炼、焊接、淬火、透热、钎焊的多目高频线圈,与本专利不属于同一技术领域,从证据9的附图5结合说明书公开的内容可知,它是由多个具有中部开口的圆盘通过串联形成高频线圈串,该证据与本专利没有关联性,不能用来评价本专利的创造性。(2)与证据1-9中的任一证据,或者多篇证据的组合相比,本专利权利要求1中仍具有如下区别特征:A在高频线圈(3)下部设有梯形的高频线圈下面(10);B在高频线圈(3)的中部设有六个内孔(8);C斜开口(13)。区别特征A的有益效果在本专利的说明书第8页倒数第4行至第2行中有记载。所有的证据中,高频线圈都仅限于拉制一根硅棒,尽管证据4的图10中公开了一种拉制四根的线圈,但由于高频电流所能到达的区域受到结构的局限,实际上是四个线圈的并联,且每个线圈只拉制一根硅棒,与本专利高频线圈的结构和效果不同。区别特征B在高频线圈的中部设有六个内孔,大大提高了生产效率。对于区别特征C,加热线圈上设置的斜开口,在高频感应电流流过时形成的感应磁场不会垂直于棒料上平面,会成一个角度,使得斜开口处形成磁交叉,克服了直开口的断裂,也就是由于电磁交叉而出现的磁聚集现象所导致的局部过热;本专利会形成一个相互传导磁力线的角度,达到磁力线无缝隙的联通目的;本专利的设置不会在局部形成温度过高的区域,可使熔区更加均匀。另外,斜开口起始位置在有效感应加热面积的边缘处,内部的磁场均处于和被加热表面垂直的状态,减少了全部平行状态可能有的漏磁,加热效果会更加明显。(3)证据2说明书第3页最后1段到第4页第1段记载了“由于电流的走近路现象,所产生的后果是提升起来的籽晶直径悬殊非常大,从而造成残次品数量的增加”,也就是说,本专利所采用的线圈结构,只是造成残次品数量增加,而并非无法实现。
2011年4月27日,口头审理如期进行,双方当事人均委托其代理人出席了口头审理。庭审过程中,合议组就本案的无效宣告理由及证据逐一进行了调查,双方充分陈述了各自的意见。合议组记录了以下事项:
(1)请求人当庭放弃了证据1和相关无效理由,同时放弃了证据8;对专利权人于2011年1月28日提交的权利要求书没有异议。
(2)专利权人对证据2-7、9的真实性和公开性以及证据3-7的中文译文的准确性没有异议,但认为证据3、9与本专利没有关联性,证据2的公开日在本专利申请日之后,因此不能使用。
(3)合议组当庭将专利权人于2011年3月25日提交的意见陈述书转送给请求人。
(4)请求人明确其无效宣告请求的范围、理由和使用的证据为:
A、权利要求1-9不符合专利法第22条第4款的规定;
B、说明书不符合专利法第26条第3款的规定;
C、权利要求1不符合专利法实施细则第21条第2款的规定,以上均使用证据2;
D、权利要求1-9不符合专利法第22条第3款的规定,以证据3为最接近的现有技术,其结合方式为:证据3和公知常识;证据3、9、4和公知常识;证据3、5、6、7和公知常识。
2011年5月17日,请求人补交了如下证据(编号续前):
证据10:江苏中能光伏发展有限公司硅芯炉高频电源技术协议书,供方为九江市庐山新华电子设备厂,设计方为华陆工程科技有限责任公司,复印件共8页;
证据11:请求人声称的区熔炉线圈照片,复印件共3页;
证据12:请求人声称的丹麦公司区熔炉照片,复印件共7页;
证据13:请求人声称的俄罗斯公司加热线圈图,复印件共3页。
请求人将上述证据用于证明本专利权利要求1-9不具有实用性、新颖性和创造性。另外,请求人认为,斜开口可以是直切口,也可以是斜切口,切开是必须的特征,斜切口是有益的特征。
至此,合议组认为本案事实已经清楚,可以作出审查决定。
二、决定的理由
1、关于审查文本
专利权人于2011年1月28日提交了修改后的权利要求书,在本专利授权公告文本的基础上,将权利要求6的附加技术特征合并到权利要求1中,同时删除了权利要求6,并将修改后权利要求中的“惯通”修改为“贯通”。请求人对修改后的权利要求书没有异议,经核实,上述修改方式仅涉及权利要求的合并和删除,以及明显打字错误的修改,符合《审查指南》第四部分第三章第4.6.2节关于“修改方式”的规定,合议组对此予以认可。因此,本无效宣告请求审查决定所针对的是专利权人于2011年1月28日提交的权利要求书以及授权公告文本的说明书、说明书附图及说明书摘要。
2、关于证据
请求人当庭放弃了证据1和相关无效理由以及证据8,故合议组对其不再予以评述。
证据2和9是中国专利文献,证据3-7是外国专利文献,专利权人对证据2-7和9的真实性及证据3-7中文译文的准确性没有异议,经核实,合议组对证据2-7和9的真实性以及证据3-7中文译文的准确性亦予以确认;证据2的公开日虽然在本专利的申请日之后,但请求人是利用该证据来证明本专利不具有实用性,并不作为现有技术使用,因此,合议组对证据2予以接受;证据3-7和9的公开日早于本专利的申请日,且均属于高频线圈领域,与本专利具有关联性,故可以作为现有技术来评价本专利的创造性。
证据10-13是请求人在口头审理之后于2011年5月17日补交的证据,由于其提交日期超出了《审查指南》规定的举证期限,合议组对其不予接受。
3、关于专利法第22条第4款
专利法第22条第4款规定:实用性,是指该发明或者实用新型能够制造或者使用,并且能够产生积极效果。
判断一项实用新型专利是否具有实用性,要以权利要求书和说明书所公开的整体技术内容为依据,如果所保护的技术方案具有在产业中被制造或使用的可能性,并且产生了本领域技术人员可以预料的积极和有益的效果,则该实用新型具有实用性。
本专利权利要求1保护一种一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈;从属权利要求2-9对权利要求1作了进一步限定(具体参加案由部分)。
请求人认为:证据2背景技术中记载了本专利没有设置用于电流导流的结构,使得线圈无法工作,拉制不出硅芯;此外,高频线圈3中间的一个内孔不能拉制出硅芯,不能同时生产出六根硅芯。
对此,合议组认为:(1)如本专利说明书背景技术所述,现有的“高频线圈的缺点是一次只能拉制一根硅芯或其他材料晶体,效率太低,造成人力及能源的大量浪费”,本专利为了克服现有技术的不足,提供了一种一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈。其具体采用了如权利要求1所述的技术方案,其工作原理及其使用方法是:先将原料硅棒(1)送至高频线圈(3)下部,然后在高频线圈(3)上的电流输送暨冷却水输送铜管(11)通电送水及另一根电流输送暨冷却水输送铜管(12)通电排水,促使高频线圈(3)产生强大的磁力线(2),使原料硅棒(1)上端头靠近线圈的部分利用磁力线进行感应加热,冷却水给高频线圈(3)降温,斜开口(13)做成斜口并通至六个内孔(8)中心的一个,使高频电流在分界处能形成交叉使原料硅棒(1)均匀受热;在原料硅棒(1)的端头靠近高频线圈下面(10)的部位融化后,仔晶夹头(7)带着仔晶(6)下降,使仔晶(6)通过六个内孔(8)后插入原料棒(1)的熔化区,然后提升仔晶(6),原料棒(1)上部的熔化液体会跟随仔晶(6)上升,其原料棒(1)下部的下轴也相应跟随同步缓慢上升;原料硅棒(1)上部的熔化区在仔晶(6)的粘和带动并通过高频线圈(3)内孔(8)后,由于磁力线(2)的减弱而冷凝,便形成一个新的柱型晶体,其仔晶夹头(7)夹带仔晶(6)缓慢上升,便可形成所需长度的成品硅芯(5)(参见说明书第5-6页)。可见,本专利说明书已经记载了所要求保护的技术方案,并在该技术方案的具体实施方式中,结合附图对本专利的产品结构、工作原理及其使用方法作了详细地说明。本领域技术人员在说明书所记载内容的基础上,能够制造并使用所要求保护的高频线圈。并且,说明书中也给出了上述技术方案所达到的技术效果,如:“采用六孔同时出料的高频线圈技术,一次可同时拉制六根硅芯或其它晶体材料,使用此高频线圈可大大提高生产效率,提高能量利用率,降低生产成本,增加产量、且具有加热均匀、大量节约能源、减少设备投资及人工综合成本可有效降低等优点”(参见说明书第3页第4-7行)。由此可见,本专利的高频线圈能够被制造和使用,并且能够产生积极效果。(2)证据2背景技术部分仅记载了“由于电流的走近路现象,所产生的后果是提升起来的籽晶直径悬殊非常大,从而造成残次品数量的增加”,也就是说,本专利的高频线圈只是造成残次品数量增加,而并非无法实施。另外,请求人也没有提供证据来证明无电流导流结构的线圈拉制不出六根硅芯。因此,在无相反证据的情况下,本专利满足了实用性的要求,请求人提出的本专利权利要求1-9不符合专利法第22条第4款规定的无效理由不成立。
4、关于专利法第26条第3款
专利法第26条第3款规定:说明书应当对发明或者实用新型作出清楚、完整的说明,以所属技术领域的技术人员能够实现为准。
请求人认为:本专利权利要求中存在没有设置“用于电流导流的结构”的缺陷,根据说明书的记载,不能实现一次生产六根硅芯的发明目的,因此,本专利的说明书不符合专利法第26条第3款的规定。
合议组认为:如前所述,本专利说明书记载了所要求保护的高频线圈的技术方案、工作原理、使用方法和所达到的技术效果,本领域技术人员根据说明书记载的内容能够实现所要求保护的技术方案。另外,根据证据2说明书的记载,设置“电流导流的结构”是为了使高频线圈上的电流均匀分布在六个内孔的周围,克服本专利中残次品数量增加的缺点,是在本专利基础上做出的技术改进,并不能证明本专利的高频线圈不能拉制出六根硅芯。因此,在无相反证据的情况下,本专利的说明书满足了充分公开的要求,符合专利法第26条第3款的规定。
5、关于专利法实施细则第21条第2款
专利法实施细则第21条第2款规定,独立权利要求应当从整体上反映发明或者实用新型的技术方案,记载解决技术问题的必要技术特征。
请求人认为:本专利权利要求1中没有“设置用于电流导流的结构”的技术特征,所述线圈无法工作,拉制不出硅芯,该权利要求不符合专利法实施细则第21条第2款的规定。
合议组认为:如前文所述,设置“电流导流的结构”是为了使高频线圈上的电流均匀分布在六个内孔的周围,是在本专利基础上做出的改进,并非缺少该结构就不能同时生产六根硅芯、不能实现本发明的目的,并且,请求人也没有提供证据来证明本专利的高频线圈拉制不出六根硅芯,因此,请求人提出的本专利权利要求1不符合专利法实施细则第21条第2款规定的无效理由不成立。
6、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定,创造性,是指同申请日以前已有的技术相比,该发明有突出的实质性特点和显著的进步,该实用新型有实质性特点和进步。
如果实用新型权利要求的技术方案与现有技术相比存在区别特征,并且现有技术中没有给出采用该区别特征以解决该技术方案所实际解决的技术问题的启示,同时该区别特征的引入能够带来有益的技术效果,则该技术方案具有实质性特点和进步,具有创造性。
(1)证据3和公知常识
在本案中,本专利权利要求1保护一种一次可生产六根硅芯或其它晶体材料的高频线圈,其特征在于:在高频线圈(3)上部设有带斜面的高频线圈上面(9),下部设有梯形的高频线圈下面(10),在高频线圈(3)的中部设有六个内孔(8);其冷却水道(4)环绕高频线圈(3),并在高频线圈(3)斜开口(13)处的两侧与电流输送暨冷却水输送铜管(11)及另一根电流输送暨冷却水输送铜管(12)固定连接;其斜开口(13)直接贯通至六个内孔(8)的中心一个。
证据3公开了一种用于半导体晶锭无坩锅区熔处理的易拆卸和生产的感应线圈,感应加热线圈20包括特定平面中至少一匝的电流传导回路,以及朝线圈20中心C径向向内延伸的嵌件20a,线圈材质最好为银、铜或金属混合物,嵌件20a至少包括3和7两个组件。组件3是由4和5两匝永久固定的线圈匝和导电端子6组成的环形区,组件7是由永久固定的导电端子8组成的环形区。6和8是两个中空端子,不仅可连至合适的电势能电源以便在线圈内产生电流,还可分别连至水以及水槽等热交换媒介。元件3和7的端面9和10由法兰11和12通过螺栓和螺母等固定方式互联,使3和7之间有良好的电气接触。环形区3和7分别还有二套端面9a和10a,装配时两者保持间隔以形成操作线圈并防止短路或类似情况。为了引导嵌件20a的水和其他热交换媒介,可通过3区提供导管15,也可以相似的方式通过7区提供,导管通过上述导电回路和嵌件环形区形成导电通路,引导热交换媒介从中穿过(参见说明书第2页倒数第7行至第3页倒数第2行,附图1-2)。另外,由附图2可知,嵌件20a的上、下面由外到内形成一个斜坡。
将本专利权利要求1的技术方案与证据3进行对比,权利要求1中的高频线圈(3)对应于证据3中可调节的感应线圈,带斜面的高频线圈上面(9)对应于嵌件20a由外到内形成的斜坡,电流输送暨冷却输送铜管11、12对应于连接端子6、8,二者的区别在于:(1)权利要求1中高频线圈的下部设有梯形的下面,证据3中嵌件20a的下面是由外到内形成的斜坡;(2)权利要求1中高频线圈的中部设有6个内孔,而证据3只有1个内孔;(3)权利要求1的高频线圈具有斜开口,且直接贯通至六个内孔的中心一个,而证据3中元件3和7的端面9a和10a保持间隔以形成操作线圈。
请求人认为:证据3附图2所示感应线圈中的嵌件20a断开的缝隙即相当于权利要求1的高频线圈斜开口,而梯形的高频线圈下面以及高频线圈的中部设置6个内孔均为本领域的公知常识。
对此,合议组认为:如上文所述,本专利权利要求1中的高频线圈为斜开口,不是直上直下的对口,而证据3中上述嵌件20a断开的缝隙只是端面9a和10a的间隔形成的缝隙,如证据3中说明书第3页第9-10行所述“……分别还有两套端面9a和10a,装配时两者保持间隔以形成操作线圈并防止短路或类似情况”,并且结合附图2也不能看出该缝隙为斜开口,因此与本专利权利要求1中的斜开口是不同的,权利要求1中的该特征构成了与证据3的区别之一。
根据本专利说明书的记载,斜开口做成斜口并通至六个内孔中心的一个,其主要功能是为了使高频电流在分界处能形成交叉使原料硅棒均匀受热;因为原料硅棒的端部可能不太平整,高频线圈下面设计为阶梯状,其作用在于尽可能的使原料硅棒多靠近高频线圈的下部面;采用六孔同时出料的高频线圈技术,一次可同时拉制六根硅芯或其他晶体材料(参见说明书第3页第4-7行,第5页第12-14和19-20行),可见,本专利权利要求1相对于证据3实际解决的技术问题是使原料硅棒均匀受热并尽可能靠近高频线圈的下部面,最终达到同时拉制六根硅芯或其他晶体材料的目的。
如前所述,证据3中上述嵌件20a断开的缝隙只是端面9a和10a的间隔形成的缝隙,其作用在于装配时使两者保持间隔以形成操作线圈并防止短路或类似情况,因此与本专利权利要求1中的斜开口的作用不同,本领域技术人员不能从中获得解决本专利技术问题的启示。此外,请求人也没有充分说明或提供证据证明高频线圈下面为梯形以及线圈的中部设置6个内孔为本领域的公知常识。
此外,本领域技术人员可以预期,采用本专利权利要求1的技术方案,能够同时拉制六根硅芯或其他晶体材料,解决了现有技术中存在的问题,提高工作效率,且具有加热均匀、节约能源、增加产量等优点。由此可见,本专利的技术方案取得了有益的技术效果。因此,本专利权利要求1相对于证据3和公知常识具有实质性特点和进步,符合专利法第22条第3款有关创造性的规定。
(2)证据3、证据9、证据4和公知常识
证据9公开了一种多目高频线圈,与高频感应加热设备配套使用,可用于真空器件中吸气剂蒸散及金属的热处理、熔炼、焊接、淬火、透热、钎焊等工艺,多目高频线圈中相邻目可以形成紧耦合的磁通闭合回路,将单目高频线圈损失的磁通大部分回收利用,可同时加工两个或多个工件,提高能量利用率、提高生产效率,降低生产成本(参见说明书第1页第2-5行、倒数第1-5行,附图4、6)。
证据4公开了一种高频感应加热感应器,根据一次加热工件的数量,感应器可由一个或一个以上孔径组成,形成高频电流和循环冷却水通过的感应器连线(参见中文译文第1页最后一段第2-4行),环形感应器一侧由窄隙组成(参见附图1、7、8、9、10,中文译文第3页第一段第1-2行)。
请求人认为:本领域技术人员根据证据9容易想到同时加工6个工件,证据4也公开了高频线圈设置有多个内孔的方式,只要将窄隙开到中间内孔就能达到均匀受热的目的;高频线圈的下部设计成梯形是本领域惯用的技术手段。
对此,合议组认为:(1)证据9是一种用于真空器件中吸气计蒸散及金属热处理、熔炼、焊接、淬火、透热、钎焊的多目高频线圈,从请求人主张使用的其附图以及说明书公开的内容可知,尽管证据9能够实现同时加工两个或多个工件的效果,但是其具体采用的是由多个具有中部开口的单目线圈串联形成高频线圈串的方式,与本专利权利要求1中在一个高频线圈上通过高频电流加热多个内孔的方式不同,而且证据9没有公开任何与上述三个区别特征相关的信息;(2)证据4中文译文第4页第二段指出,其感应器中的一系列开口51并排在矩形板状框架构件50上,每个开口在功能上均与图1的开口或孔径25匹配,从附图10也可以看出,每个开口结构相同,都具有窄隙。可见,证据4中实际上也采用的是多个孔各自形成回路单独加热的方式,与本专利权利要求1中的方式不同,其每个孔上所单独具有的窄隙也与本专利中用于使高频电流在分界处形成交叉的斜开口不同,证据4没有公开其他任何与上述三个区别技术特征相关的信息;(3)请求人没有充分说明或提供证据来证明上述三个区别特征是本领域的公知常识。
如上文所述,本专利权利要求1的技术方案与证据3相比存在上述三个区别特征,其他现有技术也没有公开上述区别特征或给出技术启示,且权利要求1的技术方案取得了有益的技术效果。因此,本专利权利要求1相对于证据3、证据9、证据4和公知常识具有创造性,符合专利法第22条第3款的规定。
(3)证据3、证据5、证据6、证据7和公知常识
证据5公开了扁平线圈4和备用加热器6形成公共间隙15,扁平线圈和备用加热器配有冷却通道7和8(参见说明书第2页第15-16行)。
证据6公开了一种感应加热线圈,具有圆形、空心的截面,在轮廓形状上属于正六边形,并延续到中心和六角形各角之间的连接线路,这个正六边形向外延伸形成对应于缝隙2的凹陷3,这个缝隙2在供电线路1之间形成(参见说明书第3页第1-3行,附图1、3)。
证据7公开了一种高频感应加热线圈,电源端子分别连接到环形导体的两端,提供高频电流,冷却水从电源端子一侧进入导体再从另一电源端子流出,有效冷却高频感应加热线圈(参见说明书第4页第4、6段)。
请求人认为,证据5中的公共间隙15、证据6中的缝隙2相当于权利要求1中的高频线圈具有斜开口,证据7公开了本专利权利要求1中高频线圈其冷却水道环绕高频线圈、并在高频线圈斜开口处的两侧与电流输送暨冷却水输送铜管及另一根电流输送暨冷却水输送铜管固定连接的技术特征。
合议组认为,本专利权利要求1中高频线圈是斜开口,证据5中的公共间隙15、证据6中的缝隙2都没有涉及其具体的开口方式,证据7中也没有公开所述斜开口,也没有给出使用上述斜开口的方式解决其技术问题的启示。如上文所述,本专利权利要求1与证据3存在区别特征,其他现有技术也没有公开上述区别特征或给出技术启示,且权利要求1的技术方案取得了有益的技术效果。因此,本专利权利要求1相对于证据3、证据5、证据6、证据7和公知常识具有创造性,符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求2-7是权利要求1的从属权利要求,权利要求8-9是权利要求7的从属权利要求,在权利要求1具有创造性的基础上,权利要求2-9相对于上述三种证据组合方式也具有创造性,符合专利法第22条第3款的规定。
基于以上事实和理由,本案合议组作出如下审查决定。
三、决定
在专利权人于2011年1月28日提交的权利要求书的基础上,维持第200720089215.0号实用新型专利权有效。
当事人对本决定不服的,可以根据专利法第46条第2款的规定,自收到本决定之日起三个月内向北京市第一中级人民法院起诉。根据该款的规定,一方当事人起诉后,另一方当事人作为第三人参加诉讼。

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