发明创造名称：曝光装置
外观设计名称：
决定号：17463
决定日：2011-10-10
委内编号：4W100676
优先权日：2005-07-06
申请（专利）号：200680013662.6
申请日：2006-05-15
复审请求人：
无效请求人：ASML荷兰有限公司
授权公告日：2010-01-20
审定公告日：
专利权人：株式会社尼康
主审员：
合议组组长：樊晓东
参审员：田宁
国际分类号：H01L21/027,G03F7/20
外观设计分类号：
法律依据：专利法第33条，专利法第26条第3款;4款，实施细则第21条第2款，实施细则第20条第1款，专利法第22条第3款
决定要点：判断修改是否超范围要基于原说明书和权利要求书记载的技术方案的实质内容，当原说明书没有明确的文字记载，但是修改的内容可以从原说明书文字记载的内容以及说明书附图直接地、毫无疑义地确定时，应当认为上述修改内容没有超出原说明书和权利要求书记载的范围，符合专利法第33条的规定。如果本领域技术人员根据说明书的记载和普通技术常识能够理解和实施本发明，那么说明书符合专利法第26条第3款的规定。如果所属技术领域的人员可以合理预测说明书给出的实施方式的所有等同替代方式或明显变型方式都具备相同的性能或用途，则应当允许申请人将权
全文：
一、案由
本无效宣告请求涉及专利号为200680013662.6，发明名称为“曝光装置”的发明专利（下称本专利）。本专利的优先权日为2005年07月06日，申请日为2006年05月15日，授权公告日为2010年01月20日，专利权人为株式会社尼康。
本专利授权公告时的权利要求书如下：
“1. 一种曝光装置，利用自光源射出的一光对一被曝光物进行曝光，其特征在于，包括：
一投影光学系统，配置于上述光源与上述被曝光物之间；
一检测机构，该检测机构检测上述光的曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量；
一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量。
2. 如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，其中包括：
一调整机构，根据上述控制部所推算的变动量，对上述投影光学系统进行调整。
3. 如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，
上述投影光学系统包括至少1个镜片，
上述调整机构的至少1个调整对象为光轴的垂直方向的上述镜片的位置。
4. 如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，
上述投影光学系统包括至少1个镜片，
上述调整机构的至少1个调整对象为上述镜片的姿势。
5. 如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，上述投影光学系统是将配置于上述光源侧的光罩的图案向上述被曝光物投影者，
上述调整机构的至少1个调整对象是上述光罩与上述被曝光物的相对位置。
6. 如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，上述投影光学系统是将配置于上述光源侧的光罩的图案向上述被曝光物投影者，
上述调整机构的至少1个调整对象为上述光罩与上述被曝光物的至少其中之一的姿势。
7. 如权利要求2～6任一项所述的曝光装置，其特征在于，上述检测机构分别检测上述光的曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量，
上述调整机构于进行上述调整时，根据上述曝光波长成分的光量、上述非曝光波长成分的光量、上述投影光学系统对于上述曝光波长成分的特性信息、与上述投影光学系统对于上述非曝光波长成分的特性信息，来决定上述投影光学系统的调整内容。
8. 如权利要求7所述的曝光装置，其特征在于，上述检测机构至少包括以下两者：
一第1检测机构，以通过上述投影光学系统之前的上述光为检测对象；以及一第2检测机构，以通过上述投影光学系统之后的上述光为检测对象，
上述调整机构根据上述第1检测机构所检测的上述曝光波长成分的光量，与上述第2检测机构所检测的上述曝光波长成分的光量，上述投影光学系统对于上述曝光波长成分的特性信息加以修正，
并且根据上述第1检测机构所检测的上述非曝光波长成分的光量，与上述第2检测机构所检测的上述非曝光波长成分的光量，对上述投影光学系统对于上述非曝光波长成分相对的特性信息加以修正。
9. 如权利要求7所述的曝光装置，其特征在于，
上述投影光学系统的特性信息包括上述投影光学系统内的各光学部件的各吸收系数。
10. 如权利要求7所述的曝光装置，其特征在于，上述调整机构，使上述被曝光物对于上述非曝光波长成分的反射率信息，向上述调整内容反映。
11. 如权利要求10所述的曝光装置，其特征在于，更包括一检测机构，检测上述被曝光物对于上述非曝光波长成分的反射率。
12. 如权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，上述检测机构包括：
一曝光波长用感应器，检测上述光的曝光波长成分的光量；以及
一非曝光波长用感应器，检测上述光的非曝光波长成分的光量。
13. 如权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，上述检测机构包括：
一特定波长用感应器，检测上述光的曝光波长成分或非曝光波长成分的光量；以及
一全波长用感应器，检测上述光的全波长成分的光量。
14. 如权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，上述检测机构包括：
全波长用感应器，可检测上述光的全波长成分的光量；以及
一切换机构，将上述全波长用感应器的入射光的波长，于曝光波长、非曝光波长、全波长中的至少2者间进行切换。
15. 如权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，上述光源为远紫外线光源。”
针对上述专利权，ASML荷兰有限公司（下称请求人）于2010年12月22日向专利复审委员会提出无效宣告请求，其理由是本专利不符合专利法第22条第2-3款、第33条、第26条第4款以及实施细则第20条第1款、第21条第2款的规定，请求宣告本专利权利要求1-15全部无效，同时提交了如下证据：
证据1：公开号为JP特开平9-36018、公开日为1997年02月07日的日本专利申请公开说明书及其部分中文译文的复印件，共19页；
证据2：公开号为US2002/0041368A1、公开日为2002年04月11日的美国专利申请公开说明书及其部分中文译文的复印件，共83页；
证据3：公开号为US2005/0045829A1、公开日为2005年03月03日的美国专利申请公开说明书及其部分中文译文的复印件，共30页；
证据4：公开号为JP特开昭62-183522、公开日为1987年08月11日的日本专利申请公开说明书及其部分中文译文的复印件，共16页；
证据5：盖有“国家图书馆科技查新中心”骑缝章，由国际光学工程学会（SPIE）2003年出版、收录了SPIE于2003年02月25-27日在美国Santa Clara举办的学术会议论文的论文集“Emerging Lithographic Technologies Ⅶ”的第5037卷第1部分的封面页、题名页、版权页、目录页（P?-?）、正文第75-82页及其部分中文译文的复印件，共26页；
证据6：授权公告号为US6636367B2、公开日为2003年10月21日的美国专利申请公开说明书及其部分中文译文的复印件，共16页；
证据7：本专利授权公告文本的复印件，共31页；
证据8：本专利实质审查阶段的第一次审查意见通知书、答复第一次审查意见通知书时所提交的意见陈述书及权利要求书的修改替换页、以及本专利公开说明书的复印件，共40页。
请求人认为：（1）权利要求1中记载的“检测机构”和“控制部”的特征、权利要求2中记载的“调整机构”的特征均超出了原始申请文件记载的范围，因此权利要求1-2及其从属权利要求3-15均不符合专利法第33条的规定。（2）说明书第7页倒数第4段中记载“因所计算的光量A、B表示已射向光量传感器12、13的in－band和out-band光的光量，故而与入射到标线5上的in－band和out-band光的光量相等”，但是本领域的技术人员结合本专利说明书的其他部分公开的内容以及本领域的普通技术常识，无从得出如何将其实现，因此说明书不符合专利法第26条第3款的规定。（3）权利要求1中缺少必要技术特征“分别或独立地检测in－band光和out－band光的光量”，权利要求2-6、8-15也未包含上述特征，因此上述权利要求不符合专利法实施细则第21条第2款的规定。（4）权利要求1中记载的关于“检测机构”和“控制部”的特征，以及所限定的检测机构的检测对象是“自光源射出并对一曝光物进行曝光的光”均得不到说明书的支持，不符合专利法第26条第4款之规定。同理，权利要求2-15也得不到说明书的支持。（5）权利要求1中记载的关于“检测机构”的特征含义不确定，权利要求7与其所引用的权利要求1中所记载的关于“检测机构的”特征相互重叠，因此权利要求1和7不清楚不简明，不符合专利法实施细则第20条第1款的规定。同理，从属权利要求2-15也不符合专利法实施细则第20条第1款的规定。（6）权利要求1、2、5、12、15相对于证据2不具备专利法第22条第2款规定的新颖性。（7）独立权利要求1相对于证据1与证据2或证据3的结合不具备专利法第22条第3款规定的创造性；从属权利要求2-15的附加技术特征或被证据1-6所公开，或为本领域的公知常识，因此也不具备创造性。
经形式审查合格，专利复审委员会于2011年01月10日受理了上述无效宣告请求并将无效宣告请求书及证据副本转给了专利权人，同时成立合议组对本案进行审查。
请求人于2011年01月17日提交补充意见，补充有关本专利的欧洲平行专利的欧洲检索报告和审查结果的意见陈述，供合议组在审理过程中作为参考。请求人补充提交的证据如下（编号续前）：
证据9：请求人声称为“本专利的欧洲平行专利”的公开号为EP1901336A1、公开日为2008年03月19日的欧洲专利申请公开说明书及其权利要求书的中文译文的复印件，共32页；
证据10：证据9的欧洲专利局检索报告、审查意见、申请人的答复意见及其中文译文的复印件，共30页。
合议组于2011年02月12日将请求人于2011年01月17日提交的意见陈述书及证据副本转送给请求人。
专利权人于2011年02月24日针对无效宣告请求书提交了意见陈述书，同时修改了权利要求书修改替换页，将原权利要求2和7合并为新的权利要求1，删除原权利要求2和7，按顺序修改全部权利要求的编号，并对权利要求的引用关系进行适应性修改。修改后的权利要求书为：
“1.一种曝光装置，利用自光源射出的一光对一被曝光物进行曝光，其特征在于，包括：
一投影光学系统，配置于上述光源与上述被曝光物之间；
一检测机构，上述检测机构分别检测上述光的曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量；
一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量；以及
一调整机构，根据上述控制部所推算的变动量，对上述投影光学系统进行调整；
其中，上述调整机构于进行上述调整时，根据上述曝光波长成分的光量、上述非曝光波长成分的光量、上述投影光学系统对于上述曝光波长成分的特性信息、与上述投影光学系统对于上述非曝光波长成分的特性信息，来决定上述投影光学系统的调整内容。
2．如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，
上述投影光学系统包括至少1个镜片，
上述调整机构的至少1个调整对象为光轴的垂直方向的上述镜片的位置。
3．如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，
上述投影光学系统包括至少1个镜片，
上述调整机构的至少1个调整对象为上述镜片的姿势。
4．如权利要求1所述的曝光装呈，其特征在于，上述投影光学系统是将配置于上述光源侧的光罩的图案向上述被曝光物投影者，
上述调整机构的至少1个调整对象是上述光罩与上述被曝光物的相对位置。
5．如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，上述投影光学系统是将配置于上述光源侧的光罩的图案向上述被曝光物投影者，
上述调整机构的至少1个调整对象为上述光罩与上述被曝光物的至少其中之一的姿势。
6．如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，上述检测机构至少包括以下两者：
一第1检测机构，以通过上述投影光学系统之前的上述光为检测对象；以及一第2检测机构，以通过上述投影光学系统之后的上述光为检测对象，
上述调整机构根据上述第1检测机构所检测的上述曝光波长成分的光量，与上述第2检测机构所检测的上述曝光波长成分的光量，上述投影光学系统对于上述曝光波长成分的特性信息加以修正，
并且根据上述第1检测机构所检测的上述非曝光波长成分的光量，与上述第2检测机构所检测的上述非曝光波长成分的光量，对上述投影光学系统对于上述非曝光波长成分相对的特性信息加以修正。
7．如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，
上述投影光学系统的特性信息包括上述投影光学系统内的各光学部件的各吸收系数。
8．如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，上述调整机构，使上述被曝光物对于上述非曝光波长成分的反射率信息，向上述调整内容反映。
9．如权利要求8所述的曝光装置，其特征在于，更包括一检测机构，检测上述被曝光物对于上述非曝光波长成分的反射率。
10．如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，上述检测机构包括：
一曝光波长用感应器，检测上述光的曝光波长成分的光量；以及
一非曝光波长用感应器，检测上述光的非曝光波长成分的光量。
11．如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，上述检测机构包括：
一特定波长用感应器，检测上述光的曝光波长成分或非曝光波长成分的光量；以及
一全波长用感应器，检测上述光的全波长成分的光量。
12．如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，上述检测机构包括：
全波长用感应器，可检测上述光的全波长成分的光量；以及
一切换机构，将上述全波长用感应器的入射光的波长，于曝光波长、非曝光波长、全波长中的至少2者间进行切换。
13．如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，上述光源为远紫外线光源。”
专利权人认为：（1）修改后的权利要求1-13符合专利法第33条、第26条第4款以及专利法实施细则第20条第1款和第21条第2款的规定。（2）证据2没有揭露修改后的独立权利要求1的特征“上述调整机构于进行上述调整时，根据上述曝光波长成分的光量、上述非曝光波长成分的光量、上述投影光学系统对于上述曝光波长成分的特性信息、与上述投影光学系统对于上述非曝光波长成分的特性信息，来决定上述投影光学系统的调整内容”，因此修改后的独立权利要求1具备新颖性。相应的，其从属权利要求也具备新颖性。（3）证据1没有揭露修改后的独立权利要求1的特征“检测机构分别检测上述光的曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量”，而且证据1完全利用“曝光光”的光量变动的检测，而进行后续调整。证据2虽然利用非曝光光进行光学部件的调整，但是其目的在于“非曝光光（即可见光AL）可以对于光学元件进行可视照明，以利操作者使用可见光AL对于光学部件进行粗略的调整”，因此证据2的图像空间测量设备FM1、FM2与本专利的检测机构（光量检测器12、13）是完全不同的元件。证据3没有揭露修改后的独立权利要求1的特征“一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量”。因此，权利要求1-13相对于证据1-3均具备创造性。
合议组于2011年03月10日将专利权人于2011年02月24日提交的意见陈述书及所附附件副本转给了请求人。
专利权人于2011年03月28日针对请求人于2011年01月17日提交的补充意见提交了意见陈述书，并进一步陈述了修改后的权利要求1-13符合专利法第33条、第26条第4款、及实施细则第21条第1款和第20条第1款规定的理由。
合议组于2011年04月14日将专利权人于2011年03月28日提交的意见陈述书转给了请求人。同时，向双方当事人发出了口头审理通知书，定于2011年05月16日举行口头审理。
请求人于2011年04月25日针对专利权人于2011年02月24日提交的修改后的权利要求书和意见陈述提交意见陈述书。请求人认为：
1.权利要求1-13不符合专利法第33条的规定。
（1）修改后的权利要求1中的特征“一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算出上述投影光学系统的成像特性的变动量”不能基于说明书中记载的内容“推算由in－band光的光量和out－band光的照射热引起的光量投影光学系统6的成像特性的变动量”直接地、毫无疑义地导出。
（2）修改后的权利要求1中的特征“一调整机构，根据上述控制部所推算的变动量，对上述投影光学系统进行调整”不能基于说明书中记载的内容“根据所计算的各光量决定投影光学系统6的调整量”直接地、毫无疑义地得出上述有关调整机构的技术特征。
（3）原始权利要求3中有关“调整机构”的技术限定内容为“一调整机构，根据上述检测机构的输出，对上述投影光学系统进行调整”。与之相对，修改后的新权利要求1有关“调整机构”的技术限定内容为“一调整机构，根据上述控制部所推算的变动量，对上述投影光学系统进行调整”。前者调整机构进行调整的基础参数为检测机构的输出，即检测机构输出的曝光波长成分的光量和/或非曝光波长成分的光量，而后者调整机构进行调整的基础参数为控制部所推算的投影光学系统的成像特性的变动量，即投影光学系统的镜片的变形量，二者完全不同。因此，上述修改超范围。
（4）基于相同的理由，权利要求2-13修改超范围。
2.说明书不符合专利法第26条第3款的规定，具体理由与无效请求书中的内容相同。
3.权利要求1-6，8-15不符合专利法实施细则第21条第2款的规定。
（1）由从本专利相对于背景技术中的现有技术需要解决的技术问题可以看出，为了精确地把握由不同成分的in－band光和out-band光的照射热引起的光学系统特性变动，其一个必要的前提条件是“根据上述光的曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量，推算由所述光的辐射热引起的投影光学系统（6）的成像特性的变动量”，该特征是使权利要求1区别于现有技术的必要技术特征。
（2）权利要求1中没有限定出上述有关“分别地或独立地推算有上述曝光波长成分的光量、上述非曝光波长成分的光量引起的投影光学系统6的吸热量”的必要技术特征，从而不能实现把握由曝光光和非曝光光的照射热引起的光学系统特性变动、进而对其进行相应调整的发明目的。
（3）权利要求2-13也未包含上述特征，因此上述权利要求缺少必要技术特征。
4.权利要求1-15得不到说明书的支持，不符合专利法第26条第4款之规定。
（1）权利要求1中限定“一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量”。然而，说明书中仅公开了控制部9基于光量传感器12、13分别或独立检测的in－band光的光量和out－band光的光量推算出由于照射热引起的上述投影光学系统6的成像特性的变动量。因此权利要求1得不到说明书的支持。
（2）权利要求1中限定“一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量”。然而，说明书中仅公开了“光量感应器12、13用于分别检测in－band光的光量和out－band光的光量。继而，控制部9根据所检测的所述两种光量，推算出由于光的照射热引起的投影光学系统6的成像特性的变动量”。因此权利要求1得不到说明书的支持。
（3）权利要求1中限定“一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量”和“上述调整机构于进行上述调整时，根据上述曝光波长成分的光量、上述非曝光波长成分的光量、上述投影光学系统对于上述曝光波长成分的特性信息、与上述投影光学系统对于上述非曝光波长成分的特性信息，来决定上述投影光学系统的调整内容”。然而，说明书中仅公开了“控制部基于检测装置输出的曝光光的光量和非曝光光的光量，独立地计算由in-band光导致的投影光学系统6的吸热量，与由out-band光导致的投影光学系统6的吸热量，从而推算投影光学系统的变动量”。因此权利要求1得不到说明书的支持。
（4）权利要求1中限定“上述调整机构于进行上述调整时，根据上述曝光波长成分的光量、上述非曝光波长成分的光量、上述投影光学系统对于上述曝光波长成分的特性信息、与上述投影光学系统对于上述非曝光波长成分的特性信息，来决定上述投影光学系统的调整内容”。然而，说明书中公开的是曝光波长成分的光量、非曝光波长成分的光量、投影光学系统对于曝光波长成分的特性信息、与投影光学系统对于非曝光波长成分的特性信息并不是调整机构用于决定调整内容的依据，而是控制部用来推算投影光学系统的成像特性的变动量的依据。因此权利要求1得不到说明书的支持。
（5）基于相同的理由，权利要求2-15也得不到说明书的支持。
5.权利要求1-15不符合专利法实施细则第20条第1款的规定。
（1）首先，权利要求1中的限定“上述检测机构”并无直接的引用基础，导致其保护范围不清楚。其次，检测机构的输出对象可以包括下述三种输出值中的至少一个或其组合：in－ban光的单独光量；out－band光的单独光量；in－band光和out－band光的光量之和。因此权利要求1中的上述技术特征存在多重理解上的歧义。
（2）权利要求1中有关“控制部”和“调整机构”两个构成部件或技术特征之间的功能、作用和涵盖的范围重合和不清楚，并且与说明书中表述不一致。
（3）说明书中有关基于光量传感器的输出来决定投影光学系统的成像特性的变动量的包括非常复杂的计算过程，在当前权利要求1中的技术特征“一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量”并不能清楚、准确地体现上述技术内容。
（4）基于相同的理由，权利要求2-15的保护范围也不符合专利法实施细则第20条第1款的规定。
6.权利要求1-13不符合专利法第22条第3款的规定。
（1）独立权利要求1相对于证据1与证据2或证据3的结合不具备创造性。
（2）从属权利要求2-15的附加技术特征或被证据1-6所公开，或为本领域的公知常识，因此也不具备创造性。
口头审理如期举行，双方当事人均出席了本次口头审理。在口头审理过程中：
1.合议组当庭将请求人于2011年04月25日提交的意见陈述书转送给专利权人，并告知专利权人应自口头审理之日起1个月内对其提交书面答辩意见，逾期未提交视为无意见。
2.请求人明确其无效理由以2011年04月25日提交的书面意见为准，放弃无效宣告请求书中的无效理由。
3.请求人当庭提交证据5的原件，专利权人当庭予以核实。专利权人对于证据1-6的真实性和中文译文的准确性无异议。专利权人对于证据8-10的形式有异议，合议组给予其7天的时间提交反证。
4.双方当事人当庭所发表的意见与其所提交的书面意见基本一致，并作相应补充。
专利权人于2011年06月14日针对请求人于2011年04月25日提交的意见陈述书提出相关答复意见，具体内容与口审当庭所发表的意见相同。
合议组于2011年07月11日将专利权人于2011年06月14日提交的意见陈述书转给了请求人。
至此，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
1、审查基础
专利权人于2011年02月24日提交了意见陈述书，其中对权利要求书作出修改。具体修改为：删除原权利要求1、2和7，将原权利要求2和7合并为新的权利要求1，并对所有权利要求的引用关系和编号作适应性修改。经审查，上述修改符合专利法、实施细则及专利审查指南的相关规定。
因此，本决定所依据的审查文本是授权公告的说明书第1-20页、附图第1-8页、说明书摘要和摘要附图，以及专利权人于2011年02月24日提交的权利要求第1-13项。
2、证据的认定
证据1-4和6为专利文献，证据5是附有国家图书馆出具的文献复制证明的外文图书资料，专利权人对于上述证据的真实性以及中文译文的准确性均无异议。经核实，合议组对于上述证据的真实性予以确认，中文译文以请求人提交的译文为准。
3、关于专利法第33条
专利法第33条规定：申请人可以对其专利申请文件进行修改，但是，对发明和实用新型专利申请文件的修改不得超出原说明书和权利要求书记载的范围。
判断修改是否超范围要基于原说明书和权利要求书记载的技术方案的实质内容，当原说明书没有明确的文字记载，但是修改的内容可以从原说明书文字记载的内容以及说明书附图直接地、毫无疑义地确定时，应当认为上述修改内容没有超出原说明书和权利要求书记载的范围，符合专利法第33条的规定。
(1)权利要求1中关于“控制部”的记载
权利要求1中记载“一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量”。本专利原始申请文件的说明书中多处明确记载了“控制部9”的相关技术内容以及运作过程，具体如下：如说明书第6页倒数第3段，“控制部9参照光量感应器12、13的输出(步骤S1)并根据此等的输出，分别计算入射至投影光学系统6的in-band光的光量与out-band光的光量(步骤S2)”；如说明书第7页第7段，“控制部9藉由将光量感应器12的输出X、光量感应器13的输出Y应用于公式(2)独立地计算出in-band光的光量A与out-band光的光量B；如说明书第8页第2段，“控制部9藉由将光量A、B应用于上式(3)，而独立地推算射向投影光学系统6的in-band光的光量C，与射向投影光学系统6的out-band光的光量D”；如说明书第8页倒数第5段，“控制部9藉由将射向投影系统6的in-band光的光量C与out-band光的光量D应用于下式（4），而推算镜片M1、M2、M3、M4、M5和M6的各吸热量W1、W2、W3、W4、WM5和W6”；在说明书第8页倒数第2段，“控制部9预先该推算所必需的信息，例即E1、E2、E3、E4、E5和E6以及相对于out-band光的吸热系数V1、V2、V3、V4、V5和V6”；如说明书第9页第1-6段中，“控制部9根据镜片M1、M2、M3、M4、M5和M6的各吸热量W1、W2、W3、W4、W5和W6以及吸热量记录，推算某一时间点镜片M1的变形率P1(即根据镜片M1、M2、M3、M4、M5和M6的吸热量W1、W2、W3、W4、W5和W6与该吸热量的上一次值，以及镜片的固有热收支的时间常数，来推算镜片的变形率P1、P2、P3、P4、P5和P6”；进而，如说明书第10页第2段所述，“控制部9根据各镜片的变形率P1、P2、P3、P4、P5、P6，决定用于抑制成像特性的变动所必需的投影光学系统6的调整量(镜片M1、M2、M3、M4、M5、M6的调整量Z1、Z2、Z3、Z4、Z5、Z6)”。特别是，在说明书第6页第26行～31行记载了“控制部9参照光量感应器12、13的输出(步骤S1)并根据此等的输出，分别计算入射至投影光学系统6的in-band光的光量与out-band光的光量(步骤S2)，根据所计算的各光量决定投影光学系统6的调整量(于此为各镜片光轴方向的调整量)(步骤S3)，且将调整指示以及调整量(于此为各镜片光轴方向的调整量)赋予镜片调整机构8后，调整投影光学系统6(步骤S4)”。由此可见，在整体理解本专利中关于“控制部9”的内容之后，本领域技术人员可以直接地、毫无疑义地确定得出“一控制部(9)，根据上述检测机构(12、13)的输出，上述控制部(9)推算上述投影光学系统(6)的成像特性的变动量”的特征。
请求人认为：本专利说明书仅公开了根据由于in-band和out-band光的照射热引起的投影光学系统6的镜片M1、M2、M3、M4、M5和M6的变形率P1、P2、P3、P4、P5和P6。与之相对，在上述权利要求1中增加的有关“控制部”的技术限定中，其并没有限定有关“由于in-band和out-band光的照射热引起的投影光学系统6的镜片M1、M2、M3、M4、M5和M6的变形率P1、P2、P3、P4、P5和P6”。因此，权利要求1中增加的有关“控制部”的技术内容超出了说明书中文字记载的范围。对此，合议组认为：根据权利要求1的记载，检测机构检测入射光中曝光波长成分的光量和非曝光波长成分的光量，然后控制部根据检测机构的输出推算投影光学系统的成像特性的变动量，那么，入射光的光量与被照射的光学系统的变动量之间存在着必然的对应关系，这种对应关系对于本领域技术人员而言，能够明确知晓是入射光的照射热将入射光的光量与光学系统的变动量一一对应起来，这是不言而喻的。由此可知，虽然权利要求1中没有记载“由于in-band和out-band光的照射热引起的投影光学系统6的镜片M1、M2、M3、M4、M5和M6的变形率P1、P2、P3、P4、P5和P6”，但是本领域技术人员根据权利要求1整体技术方案的记载能够直接地、毫无疑义地明确这一点，因此权利要求1的修改并未超出原始申请文件记载的范围，符合专利法第33条的规定。
(2) 权利要求1中关于“调整机构”的记载
权利要求1中记载“一调整机构，根据上述控制部所推算的变动量，对上述投影光学系统进行调整”。本专利原始申请文件的说明书中多处明确记载了“调整机构8”的相关技术内容以及运作过程，具体如下：如第5页第25～28行，“可藉由镜片调整机构8，对投影光学系统6内的镜片M1、M2、M3、M4、M5、M6的间隔(各镜片的光轴方向的位置)进行调整。自控制部9向镜片调整机构8提供该调整指示以及调整量(各镜片的光轴方向的调整量)。藉此，可调整投影光学系统6的成像特性”；如说明书第10页第11～13行，“因此，即使假设in-band光的光量与out-band光的光量各自变动，亦可准确推算投影光学系统6的成像特性的变动量。其结果，投影光学系统6的调整量将成为适当值，且镜片调整系统将正确地运转”。再如，说明书的第10页第2段明确地记载了“调整机构8”的相关技术内容以及调整过程，亦即：“进而，控制部9根据各镜片的变形率P1、P2、P3、P4、P5、P6，决定用于抑制成像特性的变动所必需的投影光学系统6的调整量(镜片M1、M2、M3、M4、M5、M6的调整量Z1、Z2、Z3、Z4、Z5、Z6)”。由此可见，在整体理解本专利关于“调整机构8”的内容之后，本领域技术人员可以直接地、毫无疑义地确定得出技术特征“一调整机构(8)，根据上述控制部(9)所推算的变动量，对上述投影光学系统(6)进行调整”。
请求人认为：投影光学系统的变动量是镜片由光的辐射热引起的镜片自身的特性变动量即变形率，而调整机构的调整对象是各个镜片的光轴方向的位置，二者是不同的。因此根据说明书的记载无从确定权利要求1中记载的“一调整机构，根据上述控制部所推算的变动量，对上述投影光学系统进行调整”，权利要求1的修改超范围。对此，合议组认为：关于“辐射热”这一点，在本决定上述关于“控制部”的评述中已有评述，在此不再赘述；关于“变动量”和“调整对象”二者不同，合议组对此也予以确认，然而权利要求1中所记载的是调整机构的调整依据是控制部所推算的变动量，这与调整机构的操作对象是镜片的光轴位置并不矛盾，而且，根据说明书的记载可知：控制部9会推算出投影光学系统中各镜片的变形率(控制部所推算的变动量)，而决定用于抑制成像特性的变动所必需的投影光学系统6的调整量，进而指示调整机构8对于投影光学系统进行调整。因此权利要求1的修改并未超出原始申请文件记载的范围，符合专利法第33条的规定。
(3) 权利要求1中关于“控制部”和“调整机构”的记载
权利要求1中记载“一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量；一调整机构，根据上述控制部所推算的变动量，对上述投影光学系统进行调整，其中，上述调整机构于进行上述调整时，根据上述曝光波长成分的光量、上述非曝光波长成分的光量、上述投影光学系统对于上述曝光波长成分的特性信息、与上述投影光学系统对于上述非曝光波长成分的特性信息，来决定上述投影光学系统的调整内容”。本专利的说明书中多处明确记载了“控制部9和调整机构8”的相关技术内容以及运作过程，具体如下：如说明书第5页第25～28行，“可藉由镜片调整机构8，对投影光学系统6内的镜片M1、M2、M3、M4、M5、M6的间隔(各镜片的光轴方向的位置)进行调整。自控制部9向镜片调整机构8提供该调整指示 以及调整量(各镜片的光轴方向的调整量)。藉此，可调整投影光学系统6的成像特性”；如说明书第10页第11～13行，“因此，即使假设in-band光的光量与out-band光的光量各自变动，亦可准确推算投影光学系统6的成像特性的变动量。其结果，投影光学系统6的调整量将成为适当值，且镜片调整系统将正确地运转”。再如说明书的第10页第2段，“进而，控制部9根据各镜片的变形率P1、P2、P3、P4、P5、P6，决定用于抑制成像特性的变动所必需的投影光学系统6的调整量(镜片M1、M2、M3、M4、M5、M6的调整量Z1、Z2、Z3、Z4、Z5、Z6)”。由此可见，在整体理解本专利中关于“控制部9和调整机构8”的动作过程之后，本领域技术人员能够直接地、毫无疑义地确定：控制部9会推算出投影光学系统中各镜片的变形率(控制部所推算的变动量)，而决定用于抑制成像特性的变动所必需的投影光学系统6的调整量，进而指示调整机构8对于投影光学系统进行调整。因此，权利要求1中的上述内容并未超出原始申请文件记载的范围，符合专利法第33条的规定。
(4)关于权利要求2-13
从属权利要求2-13直接或间接引用独立权利要求1，根据与独立权利要求1符合专利法第33条的规定相同的理由，从属的权利要求2-13也符合专利法第33条的规定。
4、关于专利法第26条第3款：
专利法第26条第3款规定：说明书应当对发明或者实用新型作出清楚、完整的说明，以所属技术领域的技术人员能够实现为准。
如果本领域技术人员根据说明书的记载和普通技术常识能够理解和实施本发明，那么说明书符合专利法第26条第3款的规定。
请求人认为：说明书第7页倒数第4段中记载“因所计算的光量A、B表示已射向光量传感器12、13的in－band和out-band光的光量，故而与入射到标线5上的in－band和out-band光的光量相等”，但是本领域的技术人员结合本专利说明书的其他部分公开的内容以及本领域的普通技术常识，无从得出如何将其实现，因此说明书不符合专利法第26条第3款的规定。
对此，合议组认为：本专利说明书第6页倒数第1段记载“现在，如图5(a)、(b)所示，设已射向光量感应器12、13的in-band光的光量为A，out-band光的光量为B”，说明书第7页第2、3段记载“此时，于光量感应器12中，如图5(a)所示，光量A的in-band光以波长选择滤光器F的透射率P衰减后射向光电转换元件SA，并以转换效率S转换为电子信号......又，于光量感应器13中，如图5(b)所示，光量A的in-band光、光量B的out-band光的双方毫不衰减地射向光电转换元件SA。其中，将in-band光以转换效率S转换为电子信号，将out-band光以转换效率T转换为电子信号...”，说明书第7页倒数第4段记载“再者，因所计算的光量A、B表示已射向光量感应器12、13的in-band光以及out-band光的光量，故而与入射至标线5的in-band光以及out-band光的光量相等”。由上述内容可知，光量感应器12、13要解决的问题在于：测量出入射到标线5上的in-band光的光量A和out-band光的光量B。实际上采用的技术手段是：光量感测器12、13仅检测入射光的小部分的光量，经光电转换成电子讯号及经过计算后，即可知道入射到标线5上的in-band光的光量A和out-band光的光量B的数值。这是本领域技术人员根据说明书的内容与本领域的普通技术常识能够确定的技术内容。因此，本领域技术人员根据说明书的记载和普通技术常识能够理解和实施本发明，说明书符合专利法第26条第3款的规定。
5、关于专利法实施细则第21条第2款
专利法实施细则第21条第2款规定： 独立权利要求应当从整体上反映发明或者实用新型的技术方案，记载解决技术问题的必要技术特征。
判断某一技术特征是否为必要技术特征，应当从所要解决的技术问题出发并考虑说明书描述的整体内容，不应简单地将实施例中的技术特征直接认定为必要技术特征。
本专利说明书第1页第2段到第2页第4～5行记载了本专利要解决的技术问题是：难以根据曝光光的光量变动推算投影光学系统特性的变动量，以及以往无法准确把握EUVL用光学系统的特性变动。为了解决上述技术问题，本专利说明书第6页第26行～31行记载了采取的技术方案是“控制部9参照光量感应器12、13的输出(步骤S1)并根据此等的输出，分别计算入射至投影光学系统6的 in-band光的光量与out-band光的光量(步骤S2)，根据所计算的各光量决定投影光学系统6的调整量(于此为各镜片光轴方向的调整量)(步骤S3)，且将调整指示以及调整量(于此为各镜片光轴方向的调整量)赋予镜片调整机构8后，调整投影光学系统6(步骤S4)”，即：检测机构(8)检测出in-band光的光量与out-band光的光量，控制部(9)根据检测机构(8)的输出，即曝光波长成分(in-band)的光量与非曝光波长成分(out-band)的光量，以及投影光学系统(6)对于曝光波长成分的特性信息、与投影光学系统(6)对于非曝光波长成分的特性信息，而决定投影光学系统(6)的调整内容，并进行相关的调整；而且，与上述技术方案相关的技术内容已经记载在本专利的权利要求1中。根据该技术方案，能够达到更为准确地把握EUVL用光学系统的特性变动，并进行相关的调整的技术效果。因此，权利要求1中并不缺少解决其技术问题的必要技术特征，符合专利法实施细则第21条第2款的规定。
请求人认为：权利要求1中缺少应当记载的必要技术特征“根据上述光的曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量，推算由所述光的辐射热引起的投影光学系统（6）的成像特性的变动量”和“分别地或独立地推算有上述曝光波长成分的光量、上述非曝光波长成分的光量引起的投影光学系统6的吸热量”。对此，合议组认为：关于“辐射热”和“吸热量”的特征，根据权利要求1的记载，检测机构检测入射光中曝光波长成分的光量和非曝光波长成分的光量，然后控制部根据检测机构的输出推算投影光学系统的成像特性的变动量，那么，入射光的光量与被照射的光学系统的变动量之间存在着必然的对应关系，这种对应关系对于本领域技术人员而言，能够明确知晓是入射光的照射热将入射光的光量与光学系统的变动量一一对应起来，这是不言而喻的，因此即使权利要求1中没有记载上述特征，本领域技术人员根据权利要求1的整体技术方案也能够明确知晓这一点。因此，本专利权利要求1符合专利法实施细则第21条第2款的规定。
从属权利要求2-13直接或间接引用独立权利要求1，基于与独立权利要求1符合专利法实施细则第21条第2款的规定相同的理由，从属的权利要求2-13也符合专利法实施细则第21条第2款的规定。
6、关于专利法第26条第4款
专利法第26条第4款规定：权利要求书应当以说明书为依据，说明要求专利保护的范围。
如果所属技术领域的人员可以合理预测说明书给出的实施方式的所有等同替代方式或明显变型方式都具备相同的性能或用途，则应当允许申请人将权利要求的保护范围概括至覆盖其所有的等同替代或明显变型的方式。
（1）权利要求1中关于“控制部”的记载
请求人认为：权利要求1中记载“一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量”。然而，说明书中仅公开了控制部9基于光量传感器12、13分别或独立检测的in－band光的光量和out－band光的光量推算出由于照射热引起的上述投影光学系统6的成像特性的变动量。因此权利要求1得不到说明书的支持。对此，合议组认为：说明书第6页第26行～31行记载“...控制部9参照光量感应器12、13的输出(步骤S1)并根据此等的输出，分别计算入射至投影光学系统6的in-band光的光量与out-band光的光量(步骤S2)，根据所计算的各光量决定投影光学系统6的调整量(于此为各镜片光轴方向的调整量)(步骤S3)，且将调整指示以及调整量(于此为各镜片光轴方向的调整量)赋予镜片调整机构8后，调整投影光学系统6(步骤S4)”；此外，权利要求1中关于“检测机构”已有记载“检测机构分别检测上述光的曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量”。综合上述内容可知，控制部依据检测机构经检测输出的曝光波长成分（in-band光）的光量和非曝光波长成份（即out-band光）的光量（与光的照射热有关），从而推算出投影光学系统的成像特性的变动量。因此，权利要求1的关于“控制部”的概括是适当的，符合专利法第26条第4款的规定。
（2）权利要求1中关于“控制部”与“调整机构”的记载
请求人认为：权利要求1中限定“调整机构于进行上述调整时，根据上述曝光波长成分的光量、上述非曝光波长成分的光量、上述投影光学系统对于上述曝光波长成分的特性信息、与上述投影光学系统对于上述非曝光波长成分的特性信息，来决定上述投影光学系统的调整内容”。然而，说明书中公开的曝光波长成分的光量、非曝光波长成分的光量、投影光学系统对于曝光波长成分的特性信息、与投影光学系统对于非曝光波长成分的特性信息并不是调整机构用于决定调整内容的依据，而是控制部用来推算投影光学系统的成像特性的变动量的依据。因此权利要求1得不到说明书的支持。对此，合议组认为：本专利说明书第6页第26行～31行记载“控制部9参照光量感应器12、13的输出(步骤S1)并根据此等的输出，分别计算入射至投影光学系统6的 in-band光的光量与out-band光的光量(步骤S2)，根据所计算的各光量决定投影光学系统6的调整量(于此为各镜片光轴方向的调整量)(步骤S3)，且将调整指示以及调整量(于此为各镜片光轴方向的调整量)赋予镜片调整机构8后，调整投影光学系统6(步骤S4)”，即：检测机构(8)检测出in-band光的光量与out-band光的光量，控制部(9)根据检测机构(8)的输出，即曝光波长成分(in-band)的光量与非曝光波长成分(out-band)的光量，以及投影光学系统(6)对于曝光波长成分的特性信息、与投影光学系统(6)对于非曝光波长成分的特性信息，而决定投影光学系统(6)的调整内容，并进行相关的调整。因此，权利要求1中关于“控制部”、“调整机构”的内容已记载于本专利的说明书中，其概括是适当的，符合专利法第26条第4款的规定。
（3）关于权利要求2-13
从属权利要求2-13直接或间接引用独立权利要求1，根据与独立权利要求1符合专利法第26条第4款的规定相同的理由，从属的权利要求2-13也符合专利法第26条第4款的规定。
7、关于专利法实施细则第20条第1款
专利法实施细则第20条第1款规定：权利要求书应当说明发明或者实用新型的技术特征，清楚、简要的表述请求保护的范围。
若是对于所属技术领域的技术人员来说，能够清楚地知道权利要求的含义，不会影响对于权利要求保护范围的正确理解，则权利要求应当被认为是清楚的。
（1）请求人认为：权利要求1中的限定“上述检测机构”并无直接的引用基础，导致其保护范围不清楚。其次，检测机构的输出对象可以包括下述三种输出值中的至少一个或其组合：in－ban光的单独光量；out－band光的单独光量；in－band光和out－band光的光量之和。因此权利要求1中的上述技术特征存在多重理解上的歧义。对此，合议组认为：权利要求1中记载“一检测机构，上述检测机构分别检测上述光的曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量”。权利要求的文字是要整体进行理解的，即使没有直接写出相同的文字，“上述检测机构的输出”也可对应到“检测机构分别检测上述光的曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量”，本领域技术人员可以清楚地理解上述检测机构的输出的内容，权利要求1的表述是清楚的。
（2）请求人认为：权利要求1中有关“控制部”和“调整机构”两个构成部件或技术特征之间的功能、作用和涵盖的范围重合和不清楚，并且与说明书中表述不一致。对此，合议组认为：权利要求1中记载“一检测机构，上述检测机构分别检测上述光的曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量”、“一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量”和“调整机构于进行上述调整时，根据上述曝光波长成分的光量、上述非曝光波长成分的光量、上述投影光学系统对于上述曝光波长成分的特性信息、与上述投影光学系统对于上述非曝光波长成分的特性信息，来决定上述投影光学系统的调整内容”。根据上述内容，本领域技术人员能够明了：检测机构检测出曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量，控制部根据检测机构的输出(即曝光波长成分的光量与非曝光波长成分的光量)，以及投影光学系统(6)对于曝光波长成分的特性信息、与投影光学系统(6)对于非曝光波长成分的特性信息，而决定投影光学系统(6)的调整内容，再使调整机构进行相关的调整。因此，本领域技术人员能够清楚地理解“控制部”和“调整机构”二者之间的功能、作用和涵盖的范围，权利要求1的表述是清楚的。
（3）请求人认为：说明书中有关基于光量传感器的输出来决定投影光学系统的成像特性的变动量的包括非常复杂的计算过程，在当前权利要求1中的技术特征“一控制部，根据上述检测机构的输出，上述控制部推算上述投影光学系统的成像特性的变动量”并不能清楚、准确地体现上述技术内容。对此，合议组认为：权利要求1中的记载是对说明书中具体实施方式的概括，虽然没有具体描述计算过程，但是其本身的表述也是清楚的，本领域技术人员能够清楚的理解“控制部”的推算依据量和推算结果量，权利要求1的表述是清楚的。
(4) 关于权利要求2-13
从属权利要求2-13直接或间接引用独立权利要求1，根据与独立权利要求1符合专利法实施细则第20条第1款的规定相同的理由，从属的权利要求2-13也符合专利法实施细则第20条第1款的规定。
8、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指同申请日以前已有的技术相比，该发明有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型有实质性特点和进步。
如果权利要求与多份证据相比均存在区别特征，且该权利要求能带来预料不到的技术效果，则该权利要求相对于这多份证据具备创造性。
（1）权利要求1相对于证据1和证据2的创造性
权利要求请求保护一种曝光装置。证据1公开了一种曝光装置，具体披露了以下内容（参见其中文译文第3页第15-23行）：一种投影曝光装置(对应于权利要求1中的“曝光装置”)；其利用来自曝光用的光源(1)的照射光(IL)对掩模(R)上的图案进行照明，并经由投影光学系统(14)将该图案转印至感光性的基板(W)上(对应于权利要求1中的“投影光学系统”)；其中，具有：对透过该投影光学系统(14)的该照射光(IL)的光量进行计量的第一光电传感器(20)、对来自该光源(1)的照射光(IL)的至少一部分的光量进行计量的第二光电传感器(40)(对应于权利要求1中的“检测机构”)；基于该第一及第二光电传感器的计量值对该投影光学系统(14)的成像特征的变化量进行计算的运算装置(31)(对应于权利要求1中“控制部”)；曝光装置还包括基于该运算装置的计算结果对投影光学系统(14)的成像特征进行修正的成像特性修正装置(30)(对应于权利要求1中的“调整机构”)。进一步地，对比文件1还进一步公开了(参见其中文译文第8页第6-10行) ：“在照射光的掩模原版R的吸收及反射、以及在投影光学系统14内部的吸收及反射带来的光量有时与照射光IL的光量不成比例。因此，需要更进一步的精度时，使照射光IL的光量变化并相对于多个曝光量进行同样的计量，并求出集成传感器40的检测信号I和照射量监视器20的能量线量P的关系即可”(对应于权利要求1中的“上述调整机构于进行上述调整时，根据上述曝光波长成分的光量、上述投影光学系统对于上述曝光波长成分的特性信息，来决定上述投影光学系统的调整内容”)。
从上述对比可以看出，权利要求1相对于证据1的区别特征在于：权利要求1中还包括技术特征“检测装置还检测非曝光波长成分的光量”以及“上述调整机构于进行上述调整时，根据上述非曝光波长成分的光量与上述投影光学系统对于上述非曝光波长成分的特性信息，来决定上述投影光学系统的调整内容”。基于该区别技术特征，权利要求1相对于证据1实际解决的技术问题是对于EUVL用曝光装置来说，光源所发射出的曝光光和非曝光光的照射热均会引起投影光学系统的成像特性的变化，但是仅仅根据曝光光的光量变动难以准确推算出投影光学系统特性的变动量。
证据2公开了一种曝光设备，其中披露了以下内容：曝光设备10设置有光源装置12，其除了发射曝光光（EUV光EL1）之外，还具有发射紫外光（UV）EL2以及可见光AL（EL2和AL对应于非曝光光）的能力（参见其译文第9页第25-28行）。投影光学装置PO聚焦从掩模版R反射的光量中的主束，垂直的聚焦到晶片W上（参见其译文第9页第13-14行）。在投影光学装置PO中，由曝光EUV光EL1在反射镜M1-M4上产生的热量通过连接至容纳管PP的热光而被移除，其被保持在恒定的低温以将反射镜M1-M4的温度保持在相同的温度（参见其译文第16页第14-16行）。在保持晶片W的晶片平台WST的顶表面的一端上，用于与EUV光EL1一起使用的图像空间测量设备FM1被设置用于确定被投影到晶片W上的在掩模版R上所形成的图案的图像位置以及对准，用于与可见光AL一起使用的图像空间测量设备FM2被设置在晶片平台WST的晶片W的附近（参见其译文第17页第9-14行）。FM1和FM2的输出信号被供给至主控制器80，主控制器80控制掩模版R的位置和倾斜（参见其译文第17页第21行-第19页第14行）。
通过对比可知，权利要求1和证据2中虽然都利用了光源所发射的非曝光光来进行曝光设备的调整，但是：权利要求1中通过对来自光源的曝光波长成分的光量和非曝光波长成分的光量同时进行检测，准确把握由曝光光和非曝光光的照射热引起的投影光学系统的成像特性的变化，进而基于所述曝光光以及非曝光光的光量和特性来决定对投影光学系统的调整；然而，证据2中的投影光学装置PO被保持在恒定的低温，其中并不存在光源的照射热引起投影光学系统的成像特性变化的问题，其利用非曝光光是为了通过光量的对比来对掩模版进行调整，从而确保曝光光能将掩模版的图像准确地投射到晶片上，从而实现精确的曝光。因此二者所解决的技术问题和所采取的技术手段均不同。由此可见，证据2中并未公开权利要求1与证据1的上述区别特征，也未给出相应的技术启示。
因此，权利要求1与证据1和证据2相比存在区别特征，也无证据表明该区别特征属于本领域的公知常识，且权利要求1能够带来精确调整投影光学系统的技术效果。因此权利要求1相对于证据1和证据2具备创造性，符合专利法第22条第3款的规定。
（2）权利要求1相对于证据1和证据3的创造性
权利要求1与证据1的对比如上所述。
证据3公开了一种光谱测量设备，其中具体披露了以下内容（参见其中文译文第5页第16行至第6页第15行，附图4、6和7）：靶部10用从激光生成设备12发射的脉冲激光13生成等离子体7并压缩在靶部10上，并且辐射包括EUV光的束。除了用于曝光的EUV光之外，辐射光包括在大范围内的波长的光，例如在带以外的EUV光、X射线、极紫外光、可见光、红外光。在探测器4前面设置滤波器2或3或其组合，从而选择曝光光成分和非曝光光成分的光进入到探测器4中以检测其光量。通过马达5可以选择通过将要被测量的想要的波长带的滤波器2，3和不使用所述滤波器的状态，由此可以检测从EUV光源发射的光的宽带光谱中各个波长成分。
通过对比可知，证据3中仅仅披露了测量非曝光光的光量，但是并没有提到使用非曝光光的光量对于任何光学元件进行调整。因此，证据3中并未公开权利要求1与证据1的上述区别特征，也未给出相应的技术启示。
因此，权利要求1与证据1和证据3相比存在区别特征，也无证据表明该区别特征属于本领域的公知常识，且权利要求1能够带来精确调整投影光学系统的技术效果。因此权利要求1相对于证据1和证据3具备创造性，符合专利法第22条第3款的规定。
（3）关于权利要求2-13的创造性
权利要求2-13直接或间接引用独立权利要求1。
通过上述对比可知，证据2和3中均未公开权利要求1与证据1的区别特征。请求人使用证据4-6用于评述从属权利要求2-13的附加技术特征。证据4中公开了一种投影曝光装置，证据5公开了一种曝光工具，证据6公开了一种投影曝光装置，其均未公开利用光源所发射的非曝光光来进行曝光设备的调整的内容，因此也未公开权利要求1与证据1的区别特征。因此，权利要求1相对于证据1-6具备创造性。
基于相同的理由，当其引用的独立权利要求1相对于证据1-6具备创造性时，从属权利要求2-13相对于证据1-6也具备创造性，符合专利法第22条第3款的规定。
综上所述，权利要求1-13符合专利法第33条、专利法第26条第4款、专利法第22条第3款、实施细则第21条第2款和实施细则第20条第1款的规定，说明书符合专利法第26条第3款的规定。
基于上述理由，合议组依法作出以下决定。
三、决定
宣告200680013662.6号发明专利授权公告文本的权利要求第1-15项无效，在专利权人于2011年02月24日提交的权利要求第1-13项的基础上继续维持该专利权有效。
当事人对本决定不服的，可以根据专利法第46条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京市第一中级人民法院起诉。根据该款的规定，一方当事人起诉后，另一方当事人作为第三人参加诉讼。
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