发明创造名称：光学积分器、照明光学装置、曝光装置、方法及元件制法
外观设计名称：
决定号：17862
决定日：2011-12-26
委内编号：4W100749
优先权日：2004-12-27
申请（专利）号：200580027963.X
申请日：2005-12-09
复审请求人：
无效请求人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
授权公告日：2009-07-29
审定公告日：
专利权人：株式会社尼康
主审员：陈力
合议组组长：关刚
参审员：孙茂宇
国际分类号：H01L21/027，G03F7/20，G02B19/00
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：?如果权利要求请求保护的技术方案与某份证据相比存在区别特征，但另一份证据给出了获得该区别特征的技术启示，本领域技术人员将该两份证据结合从而得到该权利要求请求保护的技术方案是显而易见的，则该权利要求请求保护的技术方案不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
全文：
本无效宣告请求涉及国家知识产权局于2009年7月29日授权公告的名称为“光学积分器、照明光学装置、曝光装置、方法及元件制法”的PCT发明专利权（下称本专利），其专利号是ZL 200580027963.X，申请日是2005年12月9日，优先权日为2004年12月27日，专利权人是株式会社尼康。该专利授权公告时的权利要求书为：
“1、一种光学积分器，是自光入射侧依次具备第1光学构件及第2光学构件的波阵面分裂型光学积分器，其特征在于，
所述第1光学构件具备：多个第1入射面，其在与光轴正交的平面内的第1方向上具有预定的折射力，且在与所述光轴正交的平面内、在与所述第1方向正交的第2方向上无折射力；以及多个第1出射面，其以与该多个第1入射面相对应的方式而形成，在所述第1方向上具有预定的折射力，且在所述第2方向上无折射力，并且
所述第2光学构件具备：多个第2入射面，其形成为与所述多个第1入射面相对应，在所述第2方向上具有预定的折射力，且在所述第1方向上无折射力；以及多个第2出射面，其形成为与所述多个第1入射面相对应，在所述第2方向上具有预定的折射力，且在所述第1方向上无折射力，
所述多个第1入射面沿着所述第1方向而并列配置着，所述多个第2入射面沿着所述第2方向而并列配置着，所述多个第1入射面的排列间距较所述多个第2入射面的排列间距还小。
2、如权利要求1所述的光学积分器，其特征在于，所述多个第1入射面分别呈沿所述第1方向具有短边、且沿所述第2方向具有长边的矩形形状。
3、如权利要求2所述的光学积分器，其特征在于，所述多个第1入射面是沿着与所述光轴正交的平面而互相邻接地配置着。
4、如权利要求2所述的光学积分器，其特征在于，所述多个第2入射面分别呈沿所述第1方向具有长边、且沿所述第2方向具有短边的矩形形状。
5、如权利要求1所述的光学积分器，其特征在于，所述第1光学构件与所述第2光学构件的合成系的在所述第1方向上的后侧焦点位置以及在所述第2方向上的后侧焦点位置，都是位于所述第2光学构件的后侧。
6、如权利要求1所述的光学积分器，其特征在于，在所述光学积分器中，在所述第1方向上具有折射力的光学面仅为所述第1入射面及所述第1出射面；
在所述光学积分器中，在所述第2方向上具有折射力的光学面仅为所述第2入射面及所述第2出射面。
7、如权利要求1所述的光学积分器，其特征在于，所述第2入射面的所述预定折射力大于所述第2出射面的所述预定折射力。
8、一种光学积分器，是具备第1光学要素、及配置于该第1光学要素后侧的第2光学要素的波阵面分裂型光学积分器，其特征在于，
所述第1光学要素具备：入射面，其在与光轴正交的平面内的第1方向上具有预定的折射力，且在与所述光轴正交的平面内、在与所述第1方向正交的第2方向上无折射力；以及出射面，其在所述第1方向上具有预定的折射力，且在所述第2方向上无折射力，
所述第2光学要素具备：入射面，其在所述第2方向上具有预定的折射力，且在所述第1方向上无折射力；以及出射面，其在所述第2方向上具有预定的折射力，且在所述第1方向上无折射力，
所述第1光学要素及所述第2光学要素为多个光学要素，
所述多个第1入射面沿着所述第1方向而并列配置着，所述多个第2入射面沿着所述第2方向而并列配置着，所述多个第1入射面的排列间距较所述多个第2入射面的排列间距还小。
9、如权利要求8所述的光学积分器，其特征在于，
所述多个第2光学要素以与所述多个第1光学要素相对应的方式而配置于所述多个第1光学要素的后侧。
10、如权利要求9所述的光学积分器，其特征在于，所述多个第1光学要素分别具有矩形的剖面，该矩形沿着所述第1方向具有短边、且沿着所述第2方向具有长边。
11、如权利要求10所述的光学积分器，其特征在于，所述多个第1光学要素的入射面是沿着与所述光轴正交的平面而互相邻接地配置着。
12、如权利要求9所述的光学积分器，其特征在于，所述多个第1光学要素是分别沿着所述第1方向而并列配置着。
13、如权利要求12所述的光学积分器，其特征在于，所述多个第2光学要素是分别沿着所述第2方向而并列配置着。
14、如权利要求13中所述的光学积分器，其特征在于，所述多个第2光学要素分别呈沿所述第1方向具有长边、且沿所述第2方向具有短边的矩形形状。
15、如权利要求8所述的光学积分器，其特征在于，所述第2光学要素的所述入射面的所述预定折射力，大于所述第2光学要素的所述出射面的所述预定折射力。
16、如权利要求15所述的光学积分器，其特征在于，所述第1光学要素与所述第2光学要素的合成系的在所述第1方向上的后侧焦点位置以及在所述第2方向上的后侧焦点位置，分别位于所述第2光学要素的所述出射面的后侧。
17、如权利要求9所述的光学积分器，其特征在于，在所述光学积分器中，在所述第1方向上具有折射力的光学要素仅为所述第1光学要素；在所述光学积分器中，在所述第2方向上具有折射力的光学要素仅为所述第2光学要素。
18、如权利要求9所述的光学积分器，其特征在于，所述第1光学要素中的所述入射面及所述出射面一体形成在所述第1光学要素上，
所述第2光学要素中的所述入射面及所述出射面一体形成在所述第2光学要素上。
19、一种照明光学装置，使用来自光源的光来照明被照射面，其特征在于，
具备权利要求1至18中任一项所述的光学积分器，该光学积分器配置在所述光源与所述被照射面之间的光路中。
20、如权利要求19所述的照明光学装置，其特征在于，具备导光光学系，该导光光学系配置于所述光学积分器与所述被照射面之间的光路中，用来向所述被照射面重叠地引导来自所述光学积分器的光。
21、如权利要求19所述的照明光学装置，其特征在于，所述照明光学装置在所述被照射面上形成矩形状的照明区域，
所述矩形状的照明区域的短边方向与所述第1方向相对应，而所述矩形状的照明区域的长边方向与所述第2方向相对应。
22、一种曝光装置，其特征在于，具备照明光学装置，其使用来自光源的光来照明被照射面、及投影光学系，该投影光学系用来将配置在所述被照射面上的预定图案投影曝光在感光性基板上，
所述照明光学装置具备权利要求1至18中任一项所述的光学积分器，该光学积分器配置在所述光源与所述被照射面之间的光路中。
23、如权利要求22所述的曝光装置，其特征在于，所述照明光学装置在所述预定图案上形成矩形状的照明区域，
所述矩形状的照明区域的短边方向与所述第1方向相对应，而所述矩形状的照明区域的长边方向与所述第2方向相对应。
24、如权利要求23所述的曝光装置，其特征在于，经所述投影光学系，使位于所述矩形状的照明区域内的所述预定图案的像形成在所述感光性基板上的矩形状的投影区域内，
沿着所述矩形状的投影区域的短边方向，使所述感光性基板相对于所述投影光学系进行相对移动，由此，将所述预定图案投影曝光在所述感光性基板上。
25、一种曝光方法，其特征在于，通过照明光学装置而对光罩进行照明，通过投影光学系而将已被照明的所述光罩图案投影曝光在感光性基板上，
所述照明光学装置具备权利要求1至18中任一项所述的光学积分器，该光学积分器配置在所述光源与所述被照射面之间的光路中。
26、如权利要求25所述的曝光方法，其特征在于，在所述光罩上形成矩形状的照明区域，所述矩形状的照明区域沿着与所述第1方向相对应的方向具有短边、且沿着与所述第2方向相对应的方向具有长边。
27、如权利要求26所述的曝光方法，其特征在于，沿着所述矩形状的照明区域的短边方向，使所述光罩及所述感光性基板相对于所述投影光学系进行相对移动，由此，将所述光罩图案投影曝光在所述感光性基板上。
28、一种元件制造方法，其使用权利要求23所述的曝光装置来制造元件，其特征在于，包括下述工序：
照明工序，使用所述照明光学装置，对所述预定图案上的照明区域进行照明；
投影工序，使用所述投影光学系，将所述照明区域内的所述预定图案的像投影到所述感光性基板上，以及
显影工序，使所述感光性基板显影。
29、如权利要求1所述的光学积分器，其用在曝光装置中，所述曝光装置使预定图案的像在感光性基板上的矩形状的区域上曝光，其特征在于，所述矩形状的区域的短边方向对应于第1方向，所述矩形状的区域的长边方向对应于第2方向。
30、如权利要求29所述的光学积分器，其特征在于，所述曝光装置沿着所述矩形状的投影区域的短边方向使所述感光性基板相对于所述投影光学系统作相对移动，借此使所述预定图案在所述感光性基板上进行投影曝光。
31、如权利要求8所述的光学积分器，其用在曝光装置中，所述曝光装置使预定图案的像在感光性基板上的矩形状的区域上曝光，其特征在于，
所述矩形状的区域的短边方向对应于第1方向，所述矩形状的区域的长边方向对应于第2方向。
32、如权利要求31所述的光学积分器，其特征在于，所述曝光装置沿着所述矩形状的投影区域的短边方向使所述感光性基板相对于所述投影光学系统作相对移动，借此使所述预定图案在所述感光性基板上进行投影曝光。”
针对上述专利权，卡尔蔡司SMT有限责任公司（下称请求人）于2011年2月11日向专利复审委员会提出无效宣告请求（案件编号为4W100749），其理由是：本专利权利要求8没有清楚地限定要求保护的范围，不符合专利法第26条第4款的规定；权利要求1-32不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定，请求宣告本专利全部无效。并提交如下证据：
证据1：US2002/0196419A1号美国专利文献及其部分中文译文，其公开日为2002年12月26日；
证据2：US6639652B1号美国专利文献及其部分中文译文，其公开日为2003年10月28日；
证据3：EP0512893A1号欧洲专利文献及其部分中文译文，其公开日为1992年11月11日；
证据4：US5237367A号美国专利文献及其部分中文译文，其公开日为1993年8月17日；
证据5：JP特开平7-174974A号日本专利文献及其部分中文译文，其公开日为1995年7月14日。
结合上述证据，请求人认为：
1、权利要求8中的“所述第1入射面”与“所述第2入射面”缺乏引用基础，导致权利要求8没有清楚地限定要求保护的范围，因此不符合专利法第26条第4款的规定。
2、本专利权利要求1、8均相对于以下证据结合方式不具备创造性：（1）在证据1的基础上分别结合证据2或证据3；（2）在证据5的基础上分别结合证据2或证据3。本专利权利要求1、8均分别与证据1或5相比，区别均在于“多个第一入射面的排列间距较多个第二入射面的排列间距还小”，其作用在于形成矩形的照明区域，该矩形的照明区域的短边与第一方向相对应，该矩形的照明区域的长边与第二方向对应。但该区别特征在证据2或3中已公开了且作用相同。从属权利要求2-4、6的附加技术特征均分别被证据1或证据5公开；从属权利要求5的附加技术特征被证据1公开；从属权利要求7的附加技术特征被证据4公开。从属权利要求9、10、12、13、14、17、18的附加技术特征均被证据1或证据5公开，从属权利要求15的附加技术特征均被证据4公开，从属权利要求16的附加技术特征被证据1公开。
3、独立权利要求19的照明光学装置引用了权利要求1-18所述的光学积分器，证据1公开了一种照明光学装置包括作为光源的激光器110以及作为被照射面的遮掩挡板150，光学积分器170配置在光源110和被照射面150之间的光路中，由于权利要求1-18所保护的光学积分器均不具备创造性，故权利要求19也不具备创造性。从属权利要求20、21的附加技术特征被证据1公开。
4、独立权利要求22的曝光装置、以及权利要求25的曝光方法中均引用了权利要求1-18的所述光学积分器，证据1公开了一种曝光装置以及曝光方法，其具备照明光学装置100、使用来自光源110的光来照明作为被照射面的光罩200，及投影光学系300，将配置在被照射面200上的预定图案投影曝光在感光性基板W上，光学积分器170配置在光源110和被照射面200之间的光路中，由于权利要求1-18所保护的光学积分器均不具备创造性，故权利要求22、25也不具备创造性。从属权利要求23-24、26-27的附加技术特征被证据1公开，因此也不具备创造性。
5、独立权利要求28的元件制造方法中引用了权利要求13所述的曝光装置，由于权利要求23的曝光装置部分不具备创造性，权利要求28的其它技术特征被证据1公开，故权利要求28也不具备创造性。从属权利要求29-32的附加技术特征被证据1公开，因此也不具备创造性。
综上所述，权利要求1-32均不具备创造性，请求宣告本专利全部无效。
经形式审查合格，专利复审委员会受理了上述无效宣告请求，并于2011年3月1日向双方当事人发出了无效宣告请求受理通知书，同时将无效宣告请求人于2011年2月11日提交的专利权无效宣告请求书及附件清单中所列证据副本转送给专利权人，并告知专利权人在收到无效宣告请求受理通知书之日起一个月内对该无效宣告请求陈述意见，逾期未答复的，不影响专利复审委员会对该专利的审理。
2011年4月18日，专利权人针对请求人于2011年2月11日提交的无效请求提交了意见陈述及权利要求书全文修改替换页。
专利权人认为：（1）修改后的权利要求8符合专利法第26条第4款的规定；（2）证据1没有揭示在第2入射面于第2方向的柱状透镜与在第1入射面于第1方向的柱状透镜是正交，也没有公开P2>P1；证据5也没有揭示P2>P1；证据2所根据之处是图21，然而从在xz平面上的图31B与在xz平面上的图31C可以看出，其每一个单元在正交的两个方向都有折射力，故证据2没有揭示权利要求1、8界定的特征，其两个方向上的间距也不是权利要求1、8所界定的间距；证据3所根据之处是图7，虽然间距比例如是9/16，其是静止状态的光学积分器；证据4所根据之处是图2，然而，组件210的入射面210a是具有两个方向都有折射力的设置，又，组件210的出射面210b是两个方向都无折射力的设置。修改后的独立权利要求1、8是感光性基板相对投影光学系统同时移动与曝光的曝光装置，此曝光装置的所述第1光学构件的多个第1入射面以及多个第1出射面，在第1方向上具有预定的折射力，沿着矩形状的投影区域的短边方向，使所述感光性基板相对于所述投影光学系进行相对移动，照明区域的短边方向与所述第1方向相对应，这表示第1方向是指对应感光性基板的移动方向，所述第2光学构件的多个第2入射面以及多个第2出射面，在第2方向上具有预定的折射力，所述多个第1入射面的排列间距较所述多个第2入射面的排列间距还小，任一证据未公开上述特征。由此，修改后的权利要求1-18具备创造性。
专利复审委员会于2011年5月24日将上述专利权人的意见陈述书及其权利要求书全文修改替换页转送给请求人。
针对上述无效宣告请求，专利复审委员会依法成立合议组，并于2011年7月22日向双方当事人发出《无效宣告请求口头审理通知书》，指出本案定于2011年8月31日进行口头审理。
口头审理如期举行，请求人委托柳沈律师事务所的专利代理人邱军和沙捷，专利权人委托上海专利商标事务所有限公司的专利代理人陈亮，公民代理宋俊寅、叶?宗、增川孝志出席了本次口头审理。
在口头审理过程中，请求人表示已经收到专利权人于2011年4月18日提交的意见陈述书和权利要求书全文修改替换页，对其修改存在异议，认为专利权人对权利要求1、8的修改扩大了保护范围。对此，专利权人明确表示放弃修改，退回到本专利授权公告时权利要求书的内容。请求人表示同意退回到本专利授权公告时的权利要求书。
合议组当庭告知双方当事人，本次口头审理以本专利于2009年7月29日授权公告时的文本为审查基础。双方对此均无异议。
请求人明确其无效宣告请求的理由、范围及证据的使用方式与请求书中记载的一致，其中对权利要求11的附加技术特征的评述与权利要求3附加技术特征的评述一致。
（1）关于权利要求8中“所述第1入射面”和“所述第2入射面”缺乏引用基础，导致权利要求8不清楚，不符合专利法第26条第4款规定的问题，专利权人认为：权利要求8最后一段“所述多个第1入射面和所述第2入射面”对应前面第2段描述的“第1光学要素的入射面”及“第2光学要素的入射面”，所谓不清楚属于撰写上的失误，并不会对本领域技术人员理解权利要求8的保护范围产生影响。
（2）关于权利要求1-32不具备创造性的问题。
a）权利要求1
请求人主张证据1和证据5分别作为最接近的现有技术，使用证据1与证据2组合、证据1与证据3组合、证据5与证据2组合、证据5与证据3组合这四种方式评述本专利权利要求1的创造性。认为权利要求1与证据1或证据5相比均存在区别“所述多个第1入射面的排列间距较所述多个第2入射面的排列间距还小”，但是该区别均被证据2或证据3公开了，认为区别特征“间距”的关系主要是为了形成矩形的照明区域，证据2、3也是形成矩形的照明区域。专利权认同除上述区别特征外，权利要求1的其它特征均已被证据1公开，认为证据1就是本专利说明书中记载的背景技术美国专利文献US6738129，本专利说明书第8页倒数第1、2段以及说明书第9页第1行中记载了两柱面透镜面群中的间距关系“p2>p1”的效果是为了增大垂直方向照度的精度，减小照度的不均匀，将p1设置的比p2小，照明区域的短边与p1方向对应，作用在于减小照明区域的宽度，可以提高照明的精度，宽度太大，两边会产生杂散光，扫描垂直方向间距大，光的分布波动大分布不均匀，间隔光的精度变小或变大，p2方向上不需要间距变小，只需要将p1方向上间距变小，因此即使将证据1、2结合也不能得到本专利权利要求1的技术方案。请求人认为，本专利说明书中未记载P2>P1的作用，不同意专利权人的解释，认为该区别特征属于结构特征，但是说明书中未阐述该结构的效果，专利权人解释的效果并非描述间距，是扫描时产生的，是矩形照明区域的效果，光学积分器本身不具备上述效果。证据2公开了间距不同的结构，给出了由此形成矩形照明区域的启示；证据3附图7第1光学构件间距为9，第2光学构件间距为16，光学积分器形成的照明区域大小是矩形，其比例为9/16，公开了上述区别特征。
b）权利要求2-7
除专利权无效宣告请求书的意见外，请求人还认为从证据4图3B、3A可以看出在后的透镜也是入射面是凸面出射面是平面，其公开了权利要求7的附加技术特征，认为上述从属权利要求的附加技术特征均属于现有技术，也属于本领域的公知常识。专利权人认为在权利要求1具备创造性的基础上，其从属权利要求2-7也具备创造性，并认为权利要求7限定的是第2光学元件组，而证据4限定的是第1光学元件组，本专利说明书第13页第3段具体说明了第2光学元件组更重要，证据4中光学元件与权利要求7中的不同，且权利要求7的技术方案可良好地抑制由于面形状误差而在扫描正交方向产生的照度不均这一效果，两者在达到的技术效果上是完全不同的，本领域技术人员没有动机结合证据4。
c）权利要求8
请求人的意见同专利权无效宣告请求书，与评述权利要求1时基本相同。专利权人表示权利要求8与证据1或证据5的区别技术特征同上述评述权利要求1中的区别技术特征，其意见与答辩权利要求1时基本相同。
d）权利要求9-32
请求人意见同专利权无效宣告请求书，其中独立权利要求19、22、25、28具有创造性的理由与评述权利要求1时基本相同。专利权人意见与前述相同，并认为权利要求21中挡板起到最终的实现矩形照明区域的作用，不认可长短边是为了形成矩形的照明区域。
双方均表示当庭已充分发表意见，且以当庭陈述内容为准。
至此，合议组认为本案事实已经清楚，可以依法作出审查决定。
二、决定的理由
1、关于审查范围
本案中，专利权人于2011年4月18日提交了权利要求书全文的修改替换页。请求人当庭表示其修改扩大了原专利的保护范围。专利权人明确表示退回到授权公告时的权利要求书，请求人表示同意退回到授权公告时的权利要求书。合议组在口头审理当庭告知双方当事人，以本专利2009年7月29日授权公告时的文本为审查基础，双方对此均无异议。基于此，本无效宣告请求审查决定所针对的权利要求以本专利于2009年7月29日授权公告时的文本为基础。
2、关于证据
本案中，请求人共提交了5份外国专利文献作为证据及其相应的部分中文译文。专利人对上述证据1-5的真实性及其中文译文的准确性无异议。经审查，合议组认可上述证据的真实性及其部分中文译文的准确性，证据1-5文字部分公开的文字部分内容以其中文译文记载的内容为准。且上述证据1-5的公开日均在本专利的优先权日之前，可以作为评述本专利创造性的现有技术使用。
3、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
具体到本案：
（1）权利要求1
请求人认为，本专利权利要求1相对于证据1、证据3结合不具备创造性，认为权利要求1与证据1的区别技术特征在于：“所述多个第1入射面的排列间距较所述多个第2入射面的排列间距还小”，但认为该区别技术特征的作用在于形成矩形的照明区域，而证据3给出了间距不同的情况下形成矩形照明区域的技术启示，本领域技术人员容易将证据1与证据3结合获得权利要求1的技术方案。
专利权人认同除上述区别特征外，权利要求1的其它特征均已被证据1公开，但认为证据1-5均未公开上述区别技术特征，上述区别技术特征的作用是为了增大垂直方向照度的精度，减小照度的不均匀，将p1设置的比p2小，照明区域的短边与p1方向对应，作用在于减小照明区域的宽度，可以提高照明的精度，宽度太大，两边会产生杂散光，扫描垂直方向间距大，光的分布波动大分布不均匀，间隔光的精度变小或变大，p2方向上不需要间距变小，只需要将p1方向上间距变小，而证据1-5均未公开上述区别技术特征或给出技术启示，因此将证据1-5结合不能得到本专利权利要求1的技术方案。
经审查，合议组认为，本专利权利要求1请求保护一种光学积分器，证据1公开了一种光学积分器170，其与本专利属于相同的技术领域，并具体公开了以下技术特征（参见证据1中文译文及附图1-10）：该光学积分器170自光入射侧依次具备光学系统170a（相当于本专利中的第1光学构件）及光学系统170b（相当于本专利中的第2光学构件）的波阵面分裂型光学积分器，所述光学系统170a具备：多个第1入射面，其在与光轴正交的平面内的y方向（相当于本专利中的第1方向）上具有预定的折射力，且在与光轴正交的平面内、在与所述y方向（即第1方向）正交的x方向（相当于本专利中的第2方向）上无折射力；以及多个第1出射面，其以与该多个第1入射面相对应的方式而形成，在所述y方向（即第1方向）上具有预定的折射力，且在所述x方向（即第2方向）上无折射力，并且所述光学系统170b具备：多个第2入射面，其形成为与所述多个第1入射面相对应，在所述x方向（即第2方向）上具有预定的折射力，且在所述y方向（即第1方向）上无折射力；以及多个第2出射面，其形成为与所述多个第1入射面相对应，在所述x方向（即第2方向）上具有预定的折射力，且在所述y方向（即第1方向）上无折射力，所述多个第1入射面沿着所述第1方向而并列配置着，所述多个第2入射面沿着所述x方向（即第2方向）而并列配置着。
由此可见，本专利权利要求1与证据1相比，其区别仅在于：本专利权利要求1中所述多个第1入射面的排列间距较所述多个第2入射面的排列间距还小。而证据1中没有明确公开该特征。
证据3公开了一种光学收集器（相当于本专利中的光学积分器）（参见证据3中文译文部分以及附图7），其与本专利和证据1属于相同的技术领域，该光学收集器为了产生具有16/9格式的图像，可以使用两组圆柱形透镜阵列。发生器a（相当于本专利中的第1光学构件）的两个圆柱形透镜阵列（Lij1a）（其具有相当于本专利中的第1入射面）和（Lij2a）（其具有相当于本专利中的第1出射面）与发生器b（相当于本专利中的第2光学构件）的两个圆柱形透镜阵列（Lij1b）（其具有相当于本专利中的第1入射面）和（Lij2b）（其具有相当于本专利中的第2出射面）耦合，并且发生器a和b相互垂直。在液晶显示器的比例为16/9的情况下，发生器a的圆柱形透镜的底和发生器b的透镜的底有16/9的比例。图7示出了这样的装置。即证据3公开了将由直径不同的圆柱形透镜阵列组成的两发生器以相互垂直的方式设置，通过将各自组成其的透镜阵列的直径设置为16/9（即该两透镜阵列入射面的间距比为16/9）来实现液晶显示器的比例为16/9。
合议组认为，根据光学领域的基本常识，当光线经过第1光学构件（如8a）时，由于该光学构件由圆柱面透镜组成，所以光线仅在有折射力的方向上偏折，其所形成的照明场仅在该方向上被p1限定，同理，随后光线再经过第2光学构件（如8b）时，该光线也仅在有折射力的方向上偏折，该方向与光线经过第1光学构件时偏折的方向垂直，此时所形成的照明场仅由p2限定，即光线在经过上述2光学构件后，在两个相互垂直的方向上分别被偏折且由p1和p2限定，根据光学元件的形状和组成其的透镜类型，可以确定光线经过本专利中的第1光学构件与第2光学构件后形成的是矩形区域，其尺寸与上述两光学构件的入射面的排列间距（即组成上述两光学构件的柱形透镜面群的直径）有关。证据3公开了光学积分器以及组成其的两光学构件，其结构与本专利中两光学构件的结构相似，也是通过将两光学构件的入射面的排列间距设置为一定比例（即一个比另一小）来获得相应比例的显示区域（即光线经过其后形成的照明区域），尽管证据3可能应用的领域与本专利不大相同，但是其光学放大器此处的作用是相同的，都是通过改变光学构件入射面排列间距的尺寸来改变经过其的光线最终形成的照明场的形状的尺寸，即证据3给出了获得上述区别特征的技术启示。
由此可见，本领域技术人员在证据1的基础上结合证据3公开的内容，将证据1中的两个光学构件中各自的透镜组的入射面的间距设置为不同，由此形成矩形照明区域，是显而易见的。因此，本专利权利要求1相对于证据1、3的结合不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
对于专利权人的意见，合议组认为，对于曝光装置，如证据1所公开的，其设置蝇眼光学积分器的目的本身就是为了使照射到整个曝光区域的光线能够均匀分布。对于蝇眼透镜阵列中每个透镜面之间的间距，正如专利权人所述，其作用是决定照明区域的宽度，而这一技术特征已经被证据3所公开，证据3中也是利用蝇眼积分器中透镜面之间的间距来调节照射面的宽度，可见证据3公开的蝇眼积分器两个阵列面上的子透镜面之间的间距不同的技术特征在证据中所起的作用与在本专利中所起的作用是相同的，即证据3给出了应用该技术特征的技术启示。对于专利权人所述的减小照明区域的宽度可以提高照明的精度的技术效果，由于对于相同尺寸的蝇眼积分器，镜面阵列中各透镜面之间的间距减小了，透镜数量增加了，其分辨率自然就提高了，则证据3中蝇眼积分器阵列面上透镜面间距小的部分所照射的宽度区域上，其精度必然也会提高，即证据3也必然具有使照明区域的宽度减小，照明精度提高的技术效果，这是由减小蝇眼透镜阵列中各透镜面之间的间距的技术手段所必然带来的技术效果。
（2）权利要求2-7
请求人认为，权利要求2-6的附件技术特征均被证据1公开，权利要求7的附件技术特征被证据4公开，且上述从属权利要求的附加技术特征均属于本领域的公知常识。
专利权人认同请求人意见，但认为权利要求1具备创造性，其从属权利要求必然具备创造性，不认为其属于公知常识，同时不认可权利要求7的附加技术特征被证据4公开，认为权利要求7与证据4所达到的效果是不同的，且权利要求7限定的是第2光学元件组而证据4限定的是第1光学元件组。
经审查，合议组认为，证据1公开了（参见其中文译文部分及附图8、9）本专利权利要求1-4的基本结构，而将所述入射面设置为沿某方向具有长边、沿另一方向具有短边的矩形形状是本领域技术人员可以根据实际需要容易做出的常规选择，属于本领域的惯用手段；
权利要求5的附加技术特征已在证据1中公开（参见译文第0069段）：优选地，光学积分器170将用于放大在照明区域的纵向上入射的光的角度分布的光学系统的光出射平面（即，光学系统170b的光出射平面176b）布置得比用于放大在被照明区域的横向上入射的光的角度分布的光学系统（即光学系统170a的出射平面176a）更靠近所述被照明区域。关于截面yz和xz的光学系统170a和170b的出射平面176a和176b侧上的聚光位置被设计为位于后空间中，以避免它们的光学元件被它们巨大的能量密度损坏；
权利要求6的附加技术已被证据1公开（参见附图8、9）：在所述光学积分器中，在所述y方向（即第1方向）上具有折射力的光学面仅为所述第1入射面及所述第1出射面；在所述x方向（即第2方向）上具有折射力的光学面仅为所述第2入射面及所述第2出射面；
权利要求7的附件技术特征已被证据4公开，证据4公开了一种光学积分器20（参见译文以及附图2、3A、3B），其与本专利和证据1、3属于相同的技术领域，构成变焦光学积分器20的第1光学元件组21的透镜元件210的形状在入射面具有透镜面210a（相当于本专利中的入射面折射力大），而在出射面具有平面210b（相当于本专利中的出射面折射力小），该形状抑制了球差，由此减小了在第二光学积分器的入射面的所述球差产生的扭曲像差。即证据4给出了将光学积分器中前后两光学透镜元件中的某一个透镜元件的出射面的折射力设置为小于所述入射面的启示（即将入射面的折射力设置为大于所述出射面）。其目的都是为了减小经过该元件的光线所产生的球差问题，以减少对其后面光学元件或系统的影响。尽管证据4与本专利权利要求7中涉及的元件位置不同，但其如此设置的目的是相同的，都是为了减小光线经过该元件产生的球差问题，以减小对后面元件或系统的影响。
因此，当上述权利要求1-7所引用的权利要求1不具备创造性时，其也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
（2）权利要求8-18
对于权利要求8，请求人的评述理由与评述权利要求1时基本相同。专利权人的答辩意见同权利要求1的答辩意见，其它意见同前。
经审查，合议组认为，
a)权利要求8的内容与权利要求1基本相似，其区别主要在于将权利要求1中的“光学构件”替换为“光学要素”，因此基于与评述权利要求1相似的理由，该权利要求8也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
b）权利要求9、18的附加技术特征已被证据1公开（参见证据1说明书全部译文及附图1-10）：光学系统170b中的光学元件172b（相当于本专利中的第2光学要素）以与光学系统170a中的光学元件172a（相当于本专利中的第1光学要素）相对应的方式而配置于所述光学元件172a的后侧；第1光学要素中的所述入射面及所述出射面一体形成在所述第1光学要素上，所述第2光学要素中的所述入射面及所述出射面一体形成在所述第2光学要素上；
权利要求10与权利要求2、权利要求11与权利要求3、权利要求14与权利要求4，权利要求15与权利要求7，权利要求16与权利要求5，权利要求17与权利要求6的附加技术特征基本相同，权利要求12、13的附加技术特征前面已经评述过。因此，基于与评述前述权利要求相似的理由，以及在其引用的权利要求不具备创造性的情况下，权利要求9-18也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
（3）权利要求19-21
请求人意见同请求书，与评述权利要求1基本相似。专利权人意见同前。
经审查，合议组认为，权利要求19请求保护一种照明光学装置，其具备权利要求1-18中任一项所述的光学积分器，证据1公开了一种照明设备100（相当于本专利中的照明光学装置），其与本专利属于相同的技术领域，并具体公开了以下技术特征（参见证据1的中文译文以及附图1-9），该照明设备使用来自光源的光来照明被照射面，并具备一种光学积分器，该光学积分器配置在光源与被照射面之间的光路中。由于权利要求1-18所述光学积分器相对于证据1和证据2或证据1、2、4或证据1、2和公知常识的结合不具备创造性，而权利要求19的其他技术特征又被证据1所公开，因此该权利要求19也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求20的附件技术特征已被证据1公开（参见证据1中文译文及附图8、9）：聚光透镜140（相当于本专利中的导光光学系）配置于所述光学积分器170a、170b与被照射面之间的光路中。因此，当其引用的权利要求19不具备创造性时，该权利要求20也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求21的附件技术特征已被证据1公开（参见证据1中文译文及附图8、9、10）：所述照明设备在所述被照射面上形成矩形形状的照明区域，所述矩形形状的照明区域的短边方向与所述y方向（即第1方向）相对应，而所述矩形形状的照明区域的长边方向与所述x方向（即第2方向）相对应。因此，当其引用的权利要求19不具备创造性时，该权利要求21也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
（4）权利要求22-24
请求人意见同请求书，专利权人答辩意见同前。
经审查，合议组认为，权利要求22请求保护一种曝光装置，其具备权利要求1-18中任一项所述的光学积分器，证据1公开了一种曝光设备1（相当于本专利中的曝光装置），其与本专利属于相同的技术领域，具体公开了以下技术特征（参见证据1中文译文以及附图1-9），该曝光装置1具备照明设备100，其使用来自激光器110（相当于本专利中的光源）的光来照射被照射面、及投影光学系300，该投影光学系用来将配置在所述被照射面上的预定图案投影曝光在物体W（其必然是感光性物质，并置于基板）上，所述照明设备具备光学积分器130，该光学积分器配置在所述激光器110与所述被照射面之间的光路中。由于其所引用的权利要求1-18所述的光学积分器相对于证据1和证据2或证据1、2、4或证据1、2和公知常识的结合不具备创造性，因此该权利要求22也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求23的附加技术特征已被证据1公开（参见证据1中文译文及附图1-10）：所述照明设备在预定图案上形成矩形状的照明区域，矩形状的照明区域的短边方向与y方向（即第1方向）相对应，而所述矩形状的照明区域的长边方向与x方向（即第2方向）相对应；
权利要求24的附加技术特征已被证据1公开（参见说明书全部译文及附图1-10）：经所述投影光学系300，使位于所述矩形状的照明区域内的所述预定图案的像形成在所述物体W（其必然是感光性物质，并置于基板）上的矩形状的投影区域内，沿着所述矩形状的投影区域的短边方向，使所述物体相对于所述投影光学系300进行相对移动，由此将所述预定图案投影曝光在物体W（其必然是感光性物质，并置于基板）上；
因此，当其引用的权利要求22不具备创造性时，该权利要求23-24也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
（5）权利要求25-27
请求人认为，曝光方法与前面的曝光装置相对应，与前述评述相一致。
专利权人表示无异议。
经审查，合议组认为，权利要求25请求保护一种曝光方法，其特征在于，通过照明光学装置而对光罩进行照明，通过投影光学系而将已被照明的所述光罩图案投影曝光在感光性基板上，所述照明光学装置具备权利要求1至18中任一项所述的光学积分器，该光学积分器配置在所述光源与所述被照射面之间的光路中。证据1公开了一种曝光方法（参见证据1说明书译文及附图1-10），通过照明设备100对光罩200进行照明，通过投影光学系统300将已被照明的所述光罩200的图案投影曝光在物体W（其必然是感光性物质，并置于基板）上，所述照明设备100具备光学积分器130或170，所述光学积分器配置在所述光源与所述被照射面之间的光路中，由于其所引用的权利要求1至18中任一项所述的光学积分器的照明光学装置相对于证据1和证据2或证据1、2、4或证据1、2和公知常识的结合不具备创造性，因此该权利要求25也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求26的附加技术特征已被证据1公开（参见证据1说明书译文及附图1-10）：在所述光罩上形成矩形状的照明区域，所述矩形状的照明区域沿着与所述y方向（即第1方向）相对应的方向具有短边、且沿着与所述x方向（即第2方向）相对应的方向具有长边；
权利要求27的附加技术特征已被证据1公开（参见证据1说明书译文及附图1-10）：沿着所述矩形状的照明区域的短边方向，使所述光罩及所述物体W（其必然是感光性物质，并置于基板）相对于所述投影光学系进行相对移动，由此，将所述光罩图案投影曝光在所述物体W上。
因此，当其所引用的权利要求不具备创造性时，上述权利要求26、27也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
（6）权利要求28-32
请求人的具体意见与请求书一致，专利权人意见同上。
经审查，合议组认为，权利要求28请求保护一种元件制造方法，证据1公开了一种元件制造方法（参见说明书译文及附图1-10）：其使用曝光设备1（相当于本专利中的曝光装置）来制造元件，包括下述工序：照明工序，使用照明设备100，对预定图案上的照明区域进行照明；投影工序，使用所述投影光学系统300，将所述照明区域内的预定图案的像投影到物体W（其必然是感光性物质，并置于基板）上，以及显影工序，使物体W显影。由于其所引用的权利要求23所述的曝光装置相对于证据1和证据2或证据1、2、4或证据1、2和公知常识的结合不具备创造性，因此使用该曝光装置的该权利要求28也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求29的附加技术特征已被证据1公开（参见证据1说明书全部译文以及附图1-10）：光学积分器130或170用在曝光设备1中，所述曝光设备使预定图案的像在物体W（其必然是感光性物质，并置于基板）的矩形状的区域上曝光，所述矩形状的区域的短边方向对应于y方向（即第1方向），所述矩形状的区域的长边方向对应于x方向（即第2方向）；
权利要求30的附加技术特征已被证据1公开（参见证据1说明书译文以及附图1-10）：所述曝光设备1沿着所述矩形状的投影区域的短边方向使所述物体W（其必然是感光性物质，并置于基板）相对于所述投影光学系统300作相对移动，借此使所述预定图案在所述物体W上进行投影曝光；
权利要求31的附加技术特征已被证据1公开（参见证据1说明书译文以及附图1-10）：其用在曝光设备1中，所述曝光设备使预定图案的像在物体W（其必然是感光性物质，并置于基板）的矩形状的区域上曝光，所述矩形状的区域的短边方向对应于y方向（即第1方向），所述矩形状的区域的长边方向对应于x方向（即第2方向）；
权利要求32的附加技术特征已被证据1公开（参见证据1说明书译文以及附图1-10）：所述曝光设备1沿着所述矩形状的投影区域的短边方向使所述物体W（其必然是感光性物质，并置于基板）相对于所述投影光学系统300作相对移动，借此使所述预定图案在所述物体W上进行投影曝光。
由此可见，当其所引用的权利要求不具备创造性时，上述权利要求29-32也不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
综上所述，本专利权利要求1-32不具备创造性，不符合专利法第22条第3款的规定，应予以全部无效，因此合议组不再对请求人提出的其它无效理由进行评述。
根据上述事实和理由，作出如下审查决定。
三、决定
宣告200580027963.X号发明专利权全部无效。
当事人对本决定不服的，可以根据专利法第46条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京市第一中级人民法院起诉。根据该款的规定，一方当事人起诉后，另一方当事人作为第三人参加诉讼。
郑重声明：本文版权归原作者所有，转载文章仅为传播更多信息之目的，如作者信息标记有误，请第一时间联系我们修改或删除，多谢。
