发明创造名称：一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉
外观设计名称：
决定号：18188
决定日：2012-02-24
委内编号：5W102078
优先权日：
申请（专利）号：201020263488.4
申请日：2010-07-20
复审请求人：
无效请求人：洛阳金诺机械工程有限公司
授权公告日：2011-01-19
审定公告日：
专利权人：西安理工晶体科技有限公司
主审员：张家祥
合议组组长：侯曜
参审员：王青华
国际分类号：C30B28/10，C30B29/06
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点：如果权利要求的技术方案与最接近的现有技术相比存在区别特征，但现有技术中已经给出了将该区别特征运用到该最接近的现有技术中以解决权利要求的技术方案所实际解决的技术问题的技术启示，并且，该区别特征的引入也没有产生预料不到的技术效果，则该权利要求不具有创造性。
全文：
本无效宣告请求案涉及国家知识产权局于2011年1月19日授权公告的、名称为“一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉”的第201020263488.4号实用新型专利（下称本专利），其申请日为2010年7月20日，专利权人为西安理工晶体科技有限公司。本专利授权公告的权利要求书如下：
“1．一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉，其特征在于：
包括连通的上炉室（4）和下炉室（5），上炉室（4）的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置（3），上炉室（4）的上方设置有上传动装置（1），下炉室（5）内部设置有高频电极及感应加热组件（7），高频电极及感应加热组件（7）包括高频感应加热器（25）和高频电极组件（24）；下炉室（5）与上炉室（4）中设置有贯通上下的导向钢丝（18），导向钢丝（18）上安装有籽晶卡头座（20），籽晶卡头座（20）与籽晶卡头（21）挂接，上传动装置（1）通过软轴（17）与籽晶卡头座（20）连接，籽晶卡头（21）上的籽晶头与高频感应加热器（25）中的硅芯拉制孔（31）一一对应；
所述籽晶抓卸及转盘分度装置（3）的结构是，包括设置在上炉室（4）上盖上表面的转盘分度控制装置（19），以及位于上炉室（4）内部的分度转盘（22），转盘分度控制装置（19）和分度转盘（22）同轴固定连接；分度转盘（22）上设有一个硅芯拉制位（26）、两个籽晶卡头放置位（27）、两个硅芯放置位（29），共有五个工位。
2．根据权利要求1所述的一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉，其特征在于：下炉室（5）还与充气装置（6）、抽空装置（8）、下传动装置（9）和水冷却装置（11）、槽路滑车（12）分别连接。
3．根据权利要求1所述的一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉，其特征在于：所述高频感应加热器（25）的结构是，在中心孔（33）周围沿圆周均匀设置有5-6个硅芯拉制孔（31），各个硅芯拉制孔（31）之间设置有分流槽（32），所有分流槽（32）向心与中心孔（33）连通。
4．根据权利要求1所述的一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉，其特征在于：所述籽晶卡头（21）的结构是，包括同轴设置的倒圆锥形的连接端头（44）、倒圆锥形的锥台（30）以及固定盘（45），固定盘（45）向下连接有5-6个籽晶头（46），各个籽晶头（46）沿圆周均匀设置，连接端头（44）、锥台（30）以及固定盘（45）依次从上到下间隔设置。”
针对上述专利权，洛阳金诺机械工程有限公司（下称请求人）于2011年6月23日向专利复审委员会提出无效宣告请求，并提交了本专利的授权公告文本和下述证据：
证据1：“硅芯炉控制系统的研制”，王建春，西安理工大学专业学位论文，学位授予年份2006年，共72页，中国知网2006年3月收录，网站地址：http://cdmd.cnki.com.cn/Article/CDMD-10700-2006046253.htm。
证据2：第200810181998.4号中国发明专利申请公布说明书，公开日为2009年7月22日，复印件共10页；
证据3：第200810182052.X号中国发明专利申请公布说明书，公开日为2009年6月17日，复印件共10页；
证据4：第200810231413.5号中国发明专利申请公布说明书，公开日为2009年9月16日，复印件共8页；
证据5：“新型硅芯晶体炉的开发与设计”，董淑梅等，《电子工业专用设备》，总第127期，2005年8月，第7-9、12页，复印件共4页。
请求人认为：（1）权利要求1不符合专利法第22条第3款的规定。权利要求1中的“上炉室（4）和下炉室（5）”分别对应于证据1的炉室、底座（参见第6页图2-3，第7页最后1段和第8页第1段），“上炉室（4）的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置（3）”与证据1的“籽晶托盘驱动机构”一致（参见第6页第2段，第7页第11-13行），“上炉室（4）的上方设置有上传动装置（1）”与证据1的“提拉头部分”一致（参见第6页图2-3），“下炉室（5）内部设置有高频电极及感应加热组件（7），高频电极及感应加热组件（7）包括高频感应加热器（25）和高频电极组件（24）”对应于证据1第8页第1段第6行中的“高频线圈接口”和第8页第11行的“高频线圈通过感应加热方式对多晶硅原料棒加热”，“下炉室（5）与上炉室（4）中设置有贯通上下的导向钢丝（18），导向钢丝（18）上安装有籽晶卡头座（20），籽晶卡头座（20）与籽晶卡头（21）挂接”与证据1第6页第2段的“上提拉部分的牵引钢丝绳”和证据1第8页第24行的“籽晶卡头放在籽晶托盘上”一致，“上传动装置（1）通过软轴（17）与籽晶卡头座（20）连接”被证据1第6页第2段的“上提拉部分的牵引钢丝绳来带动……籽晶托盘及其驱动机构”公开 ，“籽晶卡头（21）上的籽晶头与高频感应加热器（25）中的硅芯拉制孔（31）一一对应”被证据1第29页第2段的“孔0正对拉晶位”以及后续的描述所公开，“所述籽晶抓卸及转盘分度装置（3）的结构是，包括设置在上炉室（4）上盖上表面的转盘分度控制装置（19），以及位于上炉室（4）内部的分度转盘（22）”对应于证据1第6页附图2-3中的“提拉头”、“籽晶转盘”和“籽晶托盘驱动机构”以及第7页第4行和倒数第6-7行的“籽晶托盘”和“籽晶转盘”，“转盘分度控制装置（19）和分度转盘（22）同轴固定连接”公开于证据1第5页第23-26行的“上下轴同轴”、“根据设计要求可知……抓取籽晶和放置硅芯时要求定位精度和自动化程度高”以及第6页附图2-3的“籽晶转盘”和“籽晶托盘驱动机构”中，“分度转盘（22）上设有一个硅芯拉制位（26）、两个籽晶卡头放置位（27）、两个硅芯放置位（29）”与证据1第7页的附图2-4中指向的“籽晶托盘”中的“工位”或“籽晶放置位”相同，本领域技术人员根据拉制需要可以确定“硅芯拉制位（26）”或“硅芯放置位（29）”的数量，属于公知常识，“共有五个工位”与证据1第7页附图2-4中指向的“工位”数量、位置相同，本领域技术人员在证据1的基础上结合公知常识改变“硅芯拉制位（26）”或“硅芯放置位（29）”的数量从而得到权利要求1的技术方案是显而易见的，该权利要求不具备创造性。
（2）权利要求2中的“下炉室（5）与充气装置（6）、抽空装置（8）连接”在证据1第4页最后1段和第5页第1段中公开，“下炉室（5）与下传动装置（9）连接”公开在证据1第6页的图2-2、图2-3以及倒数第8行至第13行中，“下炉室（5）与水冷却装置（11）连接”对应于证据1第8页第2段的“炉室下部周围、下炉门、下轴均设有水夹层……用冷水强制冷却”，关于“下炉室（5）与槽路滑车（12）连接”的技术特征，从证据1第53页中最后1段描述的高频槽路以及第54页图6-1 TDL-GX36硅芯炉设备图中间的设备可以看出，在下炉室的后面设置有槽路滑车和槽路箱，本领域技术人员在证据1的基础上结合公知常识能够得到权利要求2的技术方案，权利要求2也不具备创造性。
（3）权利要求3对“高频感应加热器（25）”的结构进行了限定，证据2、3分别公开了可同时生产六根或者七根硅芯及其它晶体材料的高频线圈结构，该高频线圈包括中部内孔（8），在中部内孔（8）周围沿圆周均匀设置有6个或7个内孔，且在各个内孔之间设有放射状分流槽（14），因此，权利要求3不具备创造性。
（4）权利要求4对“籽晶卡头（21）”的结构进行了限定，证据4公开了一种可调节夹头数量的籽晶夹头，其结构与权利要求4的内容相同，因此，权利要求4也不具备创造性。
经形式审查合格后，专利复审委员会受理了上述请求，于2011年7月11日向双方当事人发出无效宣告请求受理通知书，并将专利权无效宣告请求书及其附件的副本转送给专利权人，要求其在指定的期限内答复，同时成立合议组对本无效请求案进行审理。
专利权人于2011年8月23日针对上述无效宣告请求受理通知书提交了意见陈述书，专利权人认为：（1）本专利权利要求1与证据1的区别特征为：（A）证据1仅描述了“籽晶托盘及其驱动机构能在换装籽晶时进行自动旋转，确保能把硅芯放入合适的位置及把确定位置上的籽晶抓起，放于钢丝绳下”，图2-4也仅给出了籽晶托盘（对应于“分度转盘22”）的结构图，而籽晶抓卸及转盘分度装置3中的转盘分度控制装置19并没有公开；（B）证据1未公开高频电极组件24，本专利中该组件是可调结构，目的是为了保证线圈安装时的位置与下轴对中，而证据1记载的是“高频电源和高频加热线圈用于籽晶和料棒加热”，与本专利不同；（C）权利要求1中上方的籽晶卡头座20与下方的籽晶卡头21采用挂接的方式，而证据1公开的是“籽晶卡头放置于籽晶托盘上的籽晶位置上”（第8页第2.3节装籽晶第2行），二者的结构和连接关系不同；（D）证据1没有公开软轴37，第6页图3中限位部分的线条不是软轴，软轴37也不是证据1中提到的钢丝绳；（E）证据1中描述的是“籽晶托盘及其驱动机构能在换装籽晶时进行自动旋转，确保能把硅芯放入合适的位置及把确定位置上的籽晶抓起，放于钢丝绳下”，图2-4也仅给出了籽晶托盘的结构图，而未描述籽晶托盘驱动机构的结构，也不能证明证据1的籽晶托盘驱动机构就是本专利的转盘分度控制装置19，请求人提出的“证据1第5页第23-26行公开的‘硅芯炉机械传动参数：上、下轴同轴度1.5mm，以及抓取籽晶和放置硅芯时要求定位精度高和自动化程度高’也不能证明转盘分度控制装置19和分度转盘22是采用同轴固定连接的方式。因此，权利要求1具有创造性。（2）权利要求2-4为权利要求1的从属权利要求，因而也具有创造性。具体分析如下：证据1只公开了需要对设备进行充气、抽空，并未公开具体结构；图2-2，2-3中公开了硅芯炉具有下传动部分，并在第6页倒数第3段中公开了“下传动部分要求能对原料棒进行慢速和快速的升降移动，和对料棒进行旋转运动”，但未说明采用快、慢速两套传动系统，也未公开精密伺服电机、涡轮蜗杆减速器、滚动导轨及滚珠丝杠的技术方案；证据1公开了在炉室下周围设置有水夹层来进行冷却，并没有公开具体结构；证据1公开了“炉体上部为高频槽路部分”，请求人据此结合图6-1说明下炉室与槽路滑车连接缺乏证据。权利要求3中高频感应器的结构与证据2、3不同，权利要求3中间的化料孔不拉制硅芯，而证据2、3的中间内孔也拉制硅芯，另外，由本专利附图7-8可以看出，在分流槽32 的外端以及拉制孔靠近化料孔侧设置有小孔，证据2-3均未公开；证据4没有公开倒圆锥形的连接端头44。
2011年9月13日，本案合议组向双方当事人发出《无效宣告请求口头审理通知书》，定于2011年11月1日对本专利权的无效宣告请求案进行口头审理，同时向请求人发出《转送文件通知书》，将专利权人于2011年8月23日提交的意见陈述书及其所附附件转送给请求人。
2011年11月1日，口头审理如期进行，双方当事人均委托其代理人出席了口头审理。庭审过程中，合议组就本案的无效宣告理由及证据逐一进行了调查，双方充分陈述了各自的意见。合议组记录了以下事项：
（1）专利权人对证据1-5的真实性和公开性没有异议。
请求人当庭提交了三份公证书和文献复制证明，用于证明证据1的真实性：
A、中华人民共和国北京市国信公证处出具的（2011）京国信内经证字第0545号公证书，共29页（附光盘1张）；
B、中华人民共和国北京市国信公证处出具的（2011）京国信内经证字第0546号公证书，共26页（附光盘1张）；
C、中华人民共和国北京市国信公证处出具的（2011）京国信内经证字第0547号公证书，共3页（附光盘1张）；
D、盖有“国家图书馆科技查新中心”红章和骑缝章的证明编号为2011-NLC-GCZM-038的文献复制证明和证据1的打印件，共73页。
合议组当庭将上述证据的复印件转送给专利权人，专利权人对其真实性没有提出异议。
（2）专利权人当庭提交了修改后的权利要求书和意见陈述书，将授权公告文本中权利要求2-4合并到权利要求1中成为新的权利要求1，请求人认为上述修改超出了专利权人可以对本专利进行修改的期限，合议组当庭告知专利权人，其当庭提交的修改文本不符合专利审查指南关于无效程序中修改期限的规定，合议组不予接受，本次口头审理的基础是授权公告文本。
（3）请求人明确其无效宣告请求的理由为：权利要求1-2相对于证据1＋公知常识或证据1＋证据5＋公知常识不具有创造性，权利要求3相对于证据1＋证据2＋公知常识、证据1＋证据3＋公知常识、证据1＋证据5＋证据2＋公知常识或证据1＋证据5＋证据3＋公知常识不具有创造性，权利要求4相对于证据1＋证据4＋公知常识或证据1＋证据5＋证据4＋公知常识不具有创造性，不符合专利法第22条第3款的规定，其中，证据1是最接近的现有技术，使用证据5第3页第2.4节有关硅芯提升机构的部分。
（4）专利权人认可如下内容：证据1中的硅芯炉有高频电源必然有电极组件；第7页图2-4中的飞机头两端是钢丝绳从孔中穿过，用于安装导向架；第10页第1行描述的软轴与本专利权利要求1中的软轴（11）相同；第54页图6-1中的炉体和控制电柜之间、炉体底座上部为高频槽路部分，高频槽路下边是槽路滑车。
口头审理结束后，合议组收到专利权人于2011年10月20日提交的补充意见陈述书，其中表示欲对权利要求进行修改，将授权公告文本的权利要求1-4合并，并就修改后权利要求1相对于证据1-4的结合具备创造性进行了陈述，但专利权人并未提交修改替换页。
至此，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
1、关于审查文本和专利权人的补充意见陈述
专利权人在口头审理时当庭提交了修改后的权利要求书，将授权公告文本的权利要求1-4进行了合并，请求人认为其超出了专利审查指南规定的修改期限。
对此，合议组认为，专利权人的上述修改方式属于删除权利要求1之后其余权利要求的合并。根据专利审查指南第四部分第三章第4.6.3节的规定，在作出审查决定之前，专利权人可以删除权利要求或者权利要求中包括的技术方案，仅在下列三种情形的答复期限内，专利权人可以以合并的方式修改权利要求书：（1）针对无效宣告请求书；（2）针对请求人增加的无效宣告理由或者补充的证据；（3）针对专利复审委员会引入的请求人未提及的无效宣告理由或者证据。然而，在本案的无效宣告程序中，请求人既未增加、专利复审委员会也未引入无效宣告理由或者证据，并且，上述修改文本的提交日期也超出了专利权人自收到无效宣告请求受理通知书之日起一个月内的答复期限，因此，对于专利权人提交的上述修改文本，合议组不予接受，本无效宣告请求审查决定所针对的文本是本专利的授权公告文本。
关于专利权人于2011年10月20日提交的补充意见陈述书，合议组认为，首先，该意见陈述书的提交日期已经超出了专利权人自收到无效宣告请求受理通知书之日起一个月内的答复期限，其次，其中主要内容涉及权利要求的合并式修改，而专利权人并未正式提交修改文本，并且，即使提交，也将同样由于上述期限原因而不被接受，因此，对专利权人的上述补充意见陈述，合议组不予考虑。
2、关于证据
专利权人对证据1-5的真实性没有异议，并且，请求人口头审理当庭也提交了证明证据1真实性的公证书和文献复制证明，因此，合议组对上述证据的真实性予以确认。由于证据1-5的公开日均早于本专利的申请日，故可以作为现有技术来评价本专利的创造性。
3、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定，创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果权利要求的技术方案与最接近的现有技术相比存在区别特征，但现有技术中已经给出了将该区别特征运用到该最接近的现有技术中解决权利要求的技术方案所实际解决的技术问题的技术启示，并且，该区别特征的引入也没有产生预料不到的技术效果，则该权利要求不具有创造性。
在本案中，本专利权利要求1保护一种一炉次中能够拉制多组硅芯的硅芯炉，包括连通的上炉室（4）和下炉室（5），上炉室（4）的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置（3），上炉室（4）的上方设置有上传动装置（1），下炉室（5）内部设置有高频电极及感应加热组件（7），高频电极及感应加热组件（7）包括高频感应加热器（25）和高频电极组件（24）；下炉室（5）与上炉室（4）中设置有贯通上下的导向钢丝（18），导向钢丝（18）上安装有籽晶卡头座（20），籽晶卡头座（20）与籽晶卡头（21）挂接，上传动装置（1）通过软轴（17）与籽晶卡头座（20）连接，籽晶卡头（21）上的籽晶头与高频感应加热器（25）中的硅芯拉制孔（31）一一对应；所述籽晶抓卸及转盘分度装置（3）的结构是，包括设置在上炉室（4）上盖上表面的转盘分度控制装置（19），以及位于上炉室（4）内部的分度转盘（22），转盘分度控制装置（19）和分度转盘（22）同轴固定连接；分度转盘（22）上设有一个硅芯拉制位（26）、两个籽晶卡头放置位（27）、两个硅芯放置位（29），共有五个工位。
证据1公开了一种TDL-GX36型硅芯炉，整体设备由机械主体与电气控制两个部分组成，机械部分包括生长室、上提拉部分、下传动部分、籽晶托盘系统、高频线圈等装置，电气部分包括电控柜、高频电源柜；炉室作为硅芯的生长室，具有耐高温性和很好的密封性，可以对其抽真空和充入氩气，炉内能安放加热线圈；高频电源和高频加热线圈用于籽晶和料棒加热；上提拉部分主要用于牵引钢丝绳来带动硅芯的上下运动，并能满足工作时的慢速和快速需要；下传动部分要求能对原料棒进行慢速和快速的升降移动，和对料棒进行旋转运动；籽晶托盘及其驱动机构能在换装籽晶时进行自动旋转定位，确保能把硅芯放于合适的位置及把确定位置上的籽晶抓起，放于钢丝绳下；籽晶托盘具有摄像口、拉晶位、飞机头、转盘（籽晶托盘）、硅芯放置位、观察窗、工位（用来放置籽晶卡头），拉晶位是垂直于籽晶托盘平面的特定轴线，飞机头为拉晶钢丝绳下端所安装置，用来径向固定晶体，硅芯放置位用来放置拉制好的硅芯棒，工位用来放置携带籽晶的卡头，当抓取机构在工位碰到托盘时可以拿起携带籽晶的卡头，而在硅芯放置位碰到托盘时可以放下生长好的单晶棒，该设备共有6个工位；炉室分为两部分，其中下半部为圆柱形双层不锈钢水冷结构，上半部不带水冷，整个炉室通过螺栓与底座相连，炉室有上下两个炉门；炉体还设有高频线圈接口、拨叉口、真空抽口、上下进气口及水咀等，排气口设在真空抽口上；炉室内的上轴和下轴分别通过炉体顶部和底部的密封装置，伸进炉膛作为装卡籽晶拉晶和夹持原料棒用；炉体下部周围、下炉门、下轴均设有水夹层；在炉室中的高频线圈通过感应加热方式对多晶硅原料棒进行加热，其在炉室中的位置固定不动。硅芯炉的生产过程如下：（1）装料，把棒料固定于下传动部位上，启动下轴快速移动，调整棒料高度使之接近高频线圈，准备化料；（2）装籽晶，把籽晶首先固定于籽晶卡头上，然后把籽晶卡头放置于籽晶托盘上的籽晶位置上，而不要放在硅芯棒的孔位上，另外，把最后一个籽晶卡头装在提拉头下部的飞机头上，调整好籽晶托盘和飞机头的位置，启动上轴快速移动，调整籽晶高度使之接近高频线圈，准备拉晶；（3）其它，合炉门，抽真空，充入保护性气体，进行加热前的准备工作；（4）加热化料，用上轴慢速移动和下轴慢速移动，微调籽晶和棒料的高度，适当时进行引晶，并调整到合适的拉晶速度；（5）换籽晶，当一根晶体长到需要长度后，就表示这根晶体已拉成，这时，需放下携带这根晶体的卡头，然后抓取携带下一籽晶的卡头再进行下一次拉晶工作；（5）点动操作，在拉晶的过程中，操作人员需要在短时间内改变晶体直径，就需要对速度进行迅速调整的点动操作；（6）取硅芯，等待炉室冷却后，开炉门，取出硅芯（参见证据1第4-9页的2.1-2.3节，图2-2、2-3、2-4）。由图2-2和2-3可知，上提拉部分设置在炉室的上方；籽晶托盘驱动机构位于炉室的上盖上表面，并且与籽晶托盘同轴连接。在证据1第2.4.1节“上提拉部分运动控制方案的分析”中，卷轮由牵引螺纹螺母套实现平移，从而保证卷绕软轴钢丝始终在对中位置，卷轮的平移又带动限位杆，实现软轴的极限限位（参见证据1第9页倒数第1-2行至第10页第1行），结合图2-3可知，证据1中的上提拉部分通过软轴与抓取机构连接。另外，证据1第29页第1段记载了籽晶托盘平面图中的数字0-10标记了籽晶盘上的11个孔位，孔0正对的箭头位置为籽晶卡头位置（图5-1）。
将本专利权利要求1的技术方案与证据1公开的内容进行对比，本专利的“上炉室（4）和下炉室（5）”相当于证据1的炉室上、下半部；“上炉室（4）的上端设置有籽晶抓卸及转盘分度装置（3）”相当于证据1的籽晶托盘及其驱动机构；“上炉室（4）的上方设置有上传动装置（1）”相当于证据1中炉室上面的上提拉部分；“高频感应加热器（25）”相当于证据1的高频线圈；专利权人认为，证据1未公开高频电极组件（24），但其已认可证据1所述的高频电源必然有电极组件，由此可知，所述的“高频电极组件（24）”相当于证据1的高频电源；关于“下炉室（5）与上炉室（4）中设置有贯通上下的导向钢丝（18），导向钢丝（18）上安装有籽晶卡头座（20）”，专利权人已认可证据1第7页图2-4中的飞机头两端是钢丝绳从孔中穿过，用于安装导向架，因此，导向钢丝（18）和籽晶卡头座（20）分别相当于证据1中飞机头两端的钢丝绳和抓取机构；“籽晶卡头座（20）与籽晶卡头（21）挂接”相当于证据1中的抓取机构拿起携带籽晶的卡头，二者均是将籽晶卡头吊起；如上文所述，“上传动装置（1）通过软轴（17）与籽晶卡头座（20）连接”可由证据1第10页第1行的内容结合图2-3直接地确定，专利权人也认可其与本专利相同；“籽晶卡头（21）上的籽晶头与高频感应加热器（25）中的硅芯拉制孔（31）一一对应”相当于证据1中的“籽晶托盘平面图中的数字0-10标记了籽晶盘上的11个孔位，孔0正对的箭头位置为籽晶卡头位置”；专利权人认为，转盘分度控制装置（19）在证据1中没有公开，然而，如专利权人所述，证据1记载了“籽晶托盘及其驱动机构能在换装籽晶时进行自动旋转定位，确保能把硅芯放入合适的位置及把确定位置上的籽晶抓起，放于钢丝绳下”，结合图2-3和图2-4可知，籽晶托盘的驱动机构可以控制籽晶托盘的旋转和定位，与转盘分度控制装置只是文字表述上的不同，不存在实质性差别，因而“上炉室（4）上盖上表面的转盘分度控制装置（19）”相当于证据1的籽晶托盘驱动机构；“上炉室（4）内部的分度转盘（22）”相当于证据1的籽晶托盘；由于证据1中的籽晶托盘驱动机构用于驱动籽晶托盘的转动，因此必然是同轴固定连接的，这一点由图2-3也可以毫无疑义地确定，其相当于本专利的“转盘分度控制装置（19）和分度转盘（22）同轴固定连接”；本专利的分度转盘（22）上设有硅芯拉制位（26）、籽晶卡头放置位（27）、硅芯放置位（29）相当于证据1的拉晶位、工位、硅芯放置位。由此可见，二者的区别仅在于：本专利权利要求1的分度转盘上有2个籽晶卡头放置位和2个硅芯放置位，而证据1分别为5个。
基于上述区别特征和本专利说明书记载的内容可知，本专利相对于证据1实际上是减少了籽晶卡头放置位和硅芯放置位的数量，然而，籽晶卡头放置位和硅芯放置位的数量是本领域技术人员可以根据硅芯炉的大小和拉制需求进行调整并确定的，况且，籽晶卡头放置位和硅芯放置位的数量减少后，其拉制硅芯的数量也相应减少，该技术效果也是本领域技术人员可以预期的，因此，在证据1的基础上结合本领域的公知常识得到本专利权利要求1的技术方案是显而易见的，权利要求1不具有创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求2对权利要求1的硅芯炉作了进一步限定，其附加技术特征为：“下炉室（5）还与充气装置（6）、抽空装置（8）、下传动装置（9）和水冷却装置（11）、槽路滑车（12）分别连接”。
如上文所述，证据1的炉室分为两部分，其中下半部为圆柱形双层不锈钢水冷结构，即公开了下炉室与水冷却装置连接；下炉室与下传动装置连接可由证据1的图2-2和2-3直接地、毫无疑义地确定；证据1第53页公开了在图6-1中，正中间为炉体部分，右边为控制电柜，左边为高频电柜，在炉体和控制电柜之间、炉体底座上部为高频槽路部分，并且专利权人也认可了该图中的炉体底座上部为高频槽路部分，高频槽路下边是槽路滑车，可见证据1公开了下炉室与槽路滑车相连接的技术特征；由于可以对证据1的炉室进行抽真空和充入氩气，而高频线圈位于炉室的下部，将下炉室与抽真空装置和充气装置连接对本领域技术人员来说是常规的选择。因此，在权利要求1不具有创造性的基础上，权利要求2相对于证据1和公知常识也不具有创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
权利要求3是权利要求1的从属权利要求，其附加技术特征为：“所述高频感应加热器（25）的结构是，在中心孔（33）周围沿圆周均匀设置有5-6个硅芯拉制孔（31），各个硅芯拉制孔（31）之间设置有分流槽（32），所有分流槽（32）向心与中心孔（33）连通”。
证据2公开了可同时生产六根硅芯及其它晶体材料的高频线圈结构，该高频线圈包括用于电流15导流的放射状分流槽14，六个内孔8为中部设置一个内孔8，另外五个内孔8呈花瓣状均匀分布在中部内孔8的周围，放射状分流槽14由中部内孔8向外延伸至除了斜开口13以外的每两个内孔8之间（参见说明书第4页第1-9行，附图1）。
证据3公开了可同时生产七根硅芯及其它晶体材料的高频线圈结构，该高频线圈包括用于电流15导流的放射状分流槽14，七个内孔8为中部设置一个内孔8，另外六个内孔8呈花瓣状均匀分布在中部内孔8的周围，放射状分流槽14由中部内孔8向外延伸至除了斜开口13以外的每两个内孔8之间（参见说明书第4页第1-9行，附图1）。
证据2-3中的中部内孔相当于权利要求3的中心孔，其他内孔相当于权利要求3中的硅芯拉制孔，放射状分流槽相当于权利要求3的分流槽，并且，拉制孔的数量及其与中心孔、分流槽的位置关系也相同。由此可见，本专利权利要求3的附加技术特征已经被证据2或3公开，其在证据2和3中的作用与本专利相同，证据1与证据2和3属于相同的技术领域，本领域技术人员为了一炉次拉制更多的硅芯，能够想到将证据2或3中的高频线圈应用于证据1中，并相应增加籽晶卡头上的籽晶数量，使之与拉制孔的数量相适应。另外，由于籽晶数量的增加，籽晶卡头所占用的空间变大，从而减少籽晶卡头放置位和硅芯放置位的数量也是本领域技术人员的必然选择。因此，在权利要求1不具有创造性的基础上，权利要求3相对于证据1和证据2或3以及公知常识不具有创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
专利权人认为，本专利权利要求3中间的化料孔不拉制硅芯，而证据2、3的中间内孔拉制硅芯。对此，合议组认为，证据2、3的中间内孔的温度相对较高，也可以弃之不用，仅起到化料的作用，因此，对于专利权人的上述主张，合议组不予支持。
权利要求4引用权利要求1，其附加技术特征为：“所述籽晶卡头（21）的结构是，包括同轴设置的倒圆锥形的连接端头（44）、倒圆锥形的锥台（30）以及固定盘（45），固定盘（45）向下连接有5-6个籽晶头（46），各个籽晶头（46）沿圆周均匀设置，连接端头（44）、锥台（30）以及固定盘（45）依次从上到下间隔设置”。
证据4公开了一种可调节夹头数量的籽晶夹头，包括用于夹起籽晶的夹持件，用于分布夹持件数量的连接盘，用于提起连接盘的上部结构；该上部结构包括连接竖杆2、夹头定位杆1、吊起定位碗3及料盘定位块4，连接竖杆2的上端设有夹头定位杆1，吊起定位碗3设置在连接竖杆2的上部，在连接竖杆2的中下部设有料盘定位块4；通过夹持件的籽晶夹瓣10夹持籽晶，籽晶穿过高频线圈牵拉热熔后的晶体材料向上拉伸，当达到所需长度时，由机械手带动连接竖杆2上的吊起定位碗3，需要说明的是夹头定位杆1可使本发明的籽晶夹头不会产生摆动，由于吊起定位碗3设计的上大下小，可以稳稳的落在机械手的槽中，以防止籽晶夹头转动；移动的机械手利用料盘定位块4稳稳的放在料盘中，下一次作业重复上述步骤便可（参见说明书第3页第2-5段，附图1）。
由上述内容可知，权利要求4中的倒圆锥形的连接端头相当于证据4的吊起定位碗，倒圆锥形的锥台对应于证据4中的料盘定位块，固定盘相当于证据4的连接盘，三者在证据4中间隔同轴设置，与本专利的权利要求4相同，由证据4的附图1可知，连接盘上有7个夹持件（对应于籽晶头），本领域技术人员可以根据连接盘的大小和实际需要来调节夹持件的数量。另外，证据4还公开了“所述料盘定位块4可设置为除圆形以外的多角形”，为了使籽晶卡头稳稳地放置在籽晶托盘上，使用倒圆锥形的锥台也是本领域的常规选择；证据4中的吊起定位碗即被设置为倒圆锥形，本领域技术人员在证据4的教导下选用倒圆锥形的锥台并不需要付出创造性劳动。因此，在权利要求1不具有创造性的基础上，权利要求4相对于证据1、证据4和公知常识也不具有创造性，不符合专利法第22条第3款的规定。
鉴于上文已经得出本专利权利要求1-4不符合专利法第22条第3款规定的结论，对于请求人提出的其他无效宣告理由和证据，合议组不再予以评述。
基于以上事实和理由，本案合议组作出如下审查决定。
三、决定
宣告第201020263488.4号实用新型专利权全部无效。
当事人对本决定不服的，可以根据专利法第46条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京市第一中级人民法院起诉。根据该款的规定，一方当事人起诉后，另一方当事人作为第三人参加诉讼。
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