发明创造名称：用于高频测量的探针头
外观设计名称：
决定号：40259
决定日：2019-05-14
委内编号：4W108077
优先权日：2004-12-20
申请（专利）号：200580040909.9
申请日：2005-11-21
复审请求人：
无效请求人：梁宸赫
授权公告日：2012-01-18
审定公告日：
专利权人：罗森伯格高频技术有限及两合公司
主审员：翟琳娜
合议组组长：刘畅
参审员：孟宪超
国际分类号：G01R1/067
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：如果一项权利要求的技术方案与最接近的对比文件公开的技术方案相比存在区别技术特征，而相同领域的另一篇对比文件公开了该区别技术特征并可以解决相同的技术问题，根据上述对比文件的结合得到该权利要求的技术方案对所属技术领域的技术人员来说是显而易见的，则该权利要求不具备创造性。
全文：
本无效宣告请求涉及专利号为ZL200580040909.9、发明名称为“用于高频测量的探针头”的发明专利（下称本专利），专利权人为罗森伯格高频技术有限及两合公司，本专利的申请日为2005年11月21日，优先权日为2004年12月20日，授权公告日为2012年01月18日。
本专利授权公告时的权利要求书如下：
“1. 一种用于高频测量的接触装置，具有用于与平面结构电接触的接触端(12)，其中在接触端(12)处设置具有至少两个由电介质(10)支承的导体(14)的共面导体结构，其中在电介质(10)与接触端(12)之间构造探针头以使得空间自由地并且对于保持电介质(10)弹性地设置共面导体结构的导体(14)，其特征在于，
在电介质(10)上设置至少一个用于传输电信号的装置(24)，所述用于传输电信号的装置(24)与共面导体结构的至少一个导体(14)电连接以使得该用于传输电信号的装置(24)传输来自至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14)的信号，其中在共面导体结构的每两个导体(14)之间，在共面导体结构的整个长度上，构造各缝隙以使得在共面导体结构的长度上产生恒定的特性阻抗；
所述接触装置包括具有同轴导体结构的同轴缆线端(16)，其中所述用于传输电信号的装置(24)与同轴导体结构的至少一个同轴缆线接头(18)相连以使得所述用于传输电信号的装置(24)在至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14)和同轴导体结构的至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的同轴缆线接头(18)之间传输信号；以及
所述电介质(10)延伸直到同轴缆线端(16)。
2. 如权利要求1所述的接触装置，其特征在于，在所述电介质(10)上设置至少一个用于分接电信号的触点，其中所述用于传输电信号的装置(24)被设置和构造为使得所述用于传输电信号的装置(24)将至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14)的电信号传输到触点。
3. 如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述用于传输电信号的装置(24)是电子电路。
4. 如权利要求1所述的接触装置，其特征在于，在所述同轴缆线端(16)处，两个或更多个用于与相应同轴缆线连接的同轴缆线接头(18)被设置，并且与所述用于传输电信号的装置(24)电连接。
5. 如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述用于传输电信号的装置(24)包括重接线、匹配网络和有源电路。
6. 如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，在所述电介质(10)处，至少一个直流触点(20)被设置，并且与用于传输电信号的装置(24)电连接。
7. 如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，在所述电介质(10)处，设置用于操纵器的保持件(92)。
8. 如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，共面导体结构的导体(14)通过焊接和/或点焊连接与用于传输电信号的装置(24)的各印制导线(26)电连接。
9. 如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述接触装置用于测量探头或测量头。
10. 如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述高频测量在半导体晶片上执行。
11. 如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述用于传输电信号的装置(24)包括重接线和匹配网络。
12. 如权利要求1或2所述的接触装置，其特征在于，所述用于传输电信号的装置(24)包括重接线和有源电路。”
针对上述专利权，梁宸赫（下称请求人）于2018年11月06日向国家知识产权局提出了无效宣告请求，其无效理由包括：权利要求1-12不符合专利法第26条第3款、专利法第26条第4款和专利法第22条第3款的规定，请求宣告本专利权利要求1-12全部无效，同时提交了如下附件：
证据1：本专利的授权公开文本；
证据2（下称对比文件1）：公开号为JP昭62-179125A的日本专利文献及部分内容的中文译文，其公开日为1987年08月06日；
证据3（下称对比文件2）：专利号为US6759859B2的美国专利文献及部分内容的中文译文，其公开日期为2004年07月06日；
证据4（下称对比文件3）：专利号为US5565788A的美国专利文献及部分内容的中文译文，其公开日期为1996年10月15日；
证据5（下称对比文件4）：公开号为CN1373853A的中国发明专利申请公开说明书，其公开日为2002年10月09日；
证据6（下称对比文件5）：专利号为US4697143A的美国专利文献及部分内容的中文译文，其公开日期为1987年09月29日；
证据7（下称对比文件6）：专利号为US4849689A的美国专利文献及部分内容的中文译文，其公开日期为1989年07月18日；
证据8（下称对比文件7）：专利号为US6281691B1的美国专利文献及部分内容的中文译文，其公开日期为2001年08月28日；
证据9（下称对比文件8）：专利号为US4853627A的美国专利文献及部分内容的中文译文，其公开日期为1989年08月01日；
证据10：《微波技术基础》（第二版），闫润卿等编，北京理工大学出版社出版，1997年12月第2版，1999年2月第4次印刷，封面页、版权页、第36、37、135、163页的复印件，共6页；
证据11：《微波技术基础（上）》，北京邮电学院微波专业编，人民邮电出版社出版，1976年02月第1版，1976年02月第1次印刷，封面页、版权页、封底页，第219-222页，共7页。
请求人认为：（1）关于专利法第26条第3款：本专利的说明书没有清楚、完整地说明电子电路24的位置及其与电介质10的连接关系，导致权利要求1-12的技术方案无法实现；
（2）关于专利法第26条第4款：权利要求1中的“探针头”指代不明、“其中在电介质(10)与接触端(12)之间构造探针头以使得空间自由地并且对于保持电介质(10)弹性地设置共面导体结构的导体(14)”表述不清，权利要求2-12中关于“探针头”的内容也不清楚，权利要求7中关于操纵器的位置及连接关系不清楚，权利要求9中的“测量探头或测量头”与权利要求1中的“探针头”之间的关系不明确，因此权利要求1-12保护范围不清楚，不符合专利法第26条第4款的规定。
（3）关于专利法第22条第3款：独立权利要求1要求保护一种用于高频测量的接触装置，该技术方案与对比文件1之间的区别技术特征为：①导体（14）构成了共面导体结构，以及②在共面导体结构的每两个导体(14)之间，在共面导体结构的整个长度上，构造各缝隙以使得在共面导体结构的长度上产生恒定的特性阻抗。区别①属于本领域的公知常识或被对比文件2或对比文件3公开，区别②属于本领域的公知常识或被对比文件4或对比文件5或对比文件6公开，因此该权利要求相对于对比文件1与公知常识的结合、对比文件1与对比文件2及公知常识的结合、对比文件1与对比文件3及公知常识的结合、对比文件1与对比文件4及公知常识的结合、对比文件1和对比文件2和对比文件4及公知常识的结合、对比文件1和对比文件3和对比文件4及公知常识的结合、对比文件1和对比文件5及公知常识的结合、对比文件1和对比文件2和对比文件5及公知常识的结合、对比文件1和对比文件3和对比文件5及公知常识的结合、对比文件1与对比文件6及公知常识的结合、对比文件1与对比文件2和对比文件6及公知常识的结合、对比文件1与对比文件3和对比文件6及公知常识的结合均不具备创造性。
独立权利要求1相对于对比文件2之间的区别为：以使得在共面导体结构的长度上产生恒定的特性阻抗。该区别属于本领域的公知常识或被对比文件4结合公知常识或对比文件5或对比文件6公开，因此该权利要求相对于对比文件2与公知常识的结合、对比文件2与对比文件4及公知常识的结合、对比文件2与对比文件5的结合、对比文件2与对比文件6的结合均不具备创造性。
独立权利要求1相对于对比文件6之间的区别为：其中在电介质(10)与接触端(12)之间构造探针头以使得空间自由地并且对于保持电介质(10)弹性地设置共面导体结构的导体(14)。该区别被对比文件1结合公知常识或对比文件2或对比文件3公开，因此该权利要求相对于对比文件6与对比文件1及公知常识的结合、对比文件6与对比文件2的结合、对比文件6与对比文件3的结合均不具备创造性。
从属权利要求2的附加技术特征被对比文件1公开，从属权利要求3的附加技术特征被对比文件2或对比文件1或对比文件6公开，从属权利要求4的附加技术特征被对比文件1或对比文件7公开或属于公知常识，从属权利要求5的附加技术特征被对比文件2结合对比文件6公开或属于公知常识，从属权利要求6的附加技术特征被对比文件1结合公知常识或对比文件8公开或属于公知常识，从属权利要求7的附加技术特征被对比文件2公开，从属权利要求8的附加技术特征被对比文件1公开或属于公知常识，从属权利要求9的附加技术特征被对比文件1-8中任一个公开，从属权利要求10的附加技术特征被对比文件1-7中任一个公开，从属权利要求11和12的附加技术特征被对比文件2结合对比文件6公开或属于公知常识，因此均不具备创造性。
经形式审查合格，国家知识产权局于2018年11月16日受理了上述无效宣告请求并将无效宣告请求书及证据副本转给了专利权人，要求专利权人在指定期限内提交答复意见，同时成立合议组对本案进行审查。
专利权人针对上述无效宣告请求于2019年01月02日提交了意见陈述书，认为：
（1）本专利说明书已对电子电路及其位置和连接关系作出了清楚完整的说明，其符合专利法第26条第3款的规定。本专利权利要求1-12均符合专利法第26条第4款的规定。
（2） 关于专利法第22条第3款：除了请求人所认定的区别技术特征，对比文件1、2、6均没有公开关于共面导体结构的相关技术特征，并且关于阻抗匹配及带状传输线等相关公知常识性证据与本专利权利要求1的技术方案无关，上述区别也未被其他对比文件所公开及给出相关技术启示；因此本专利相对于对比文件1-6均具备创造性。
国家知识产权局本案合议组于2019年01月09日向双方当事人发出了口头审理通知书，定于2019年03月19日举行口头审理，并于2019年01月11日将专利权人于2019年01月02日提交的意见答复转文给请求人，要求请求人在指定期限内提交答复意见。
针对专利权人的意见答复，请求人于2019年02月22日提交了意见答复，坚持认为本专利的权利要求1-12均不具备专利法第22条第3款规定的创造性，且不符合专利法第26条第3款、专利法第26条第4款的规定。
合议组于2019年02月28日将请求人于2019年02月22日提交的意见答复转文给专利权人，要求专利权人在指定期限内提交答复意见。
口头审理如期举行，双方当事人均出席了本次口头审理，请求人委托专利代理人乔东峰和公民代理人张肖玲，专利权人委托专利代理人刘倜和陈华成出席了本次口头审理。
在口头审理过程中，专利权人对请求人所提交的对比文件1-8的真实性无异议，对对比文件1-3、5-8的中文译文无异议；请求人明确其无效理由、范围及使用的证据为：权利要求1-12不符合专利法第26条第3款、专利法第26条第4款和专利法第22条第3款的规定，创造性的证据使用和组合方式与其所提交的请求书中的内容一致。双方针对本专利的创造性，双方均充分发表了意见。
至此，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
（一）关于证据
在无效宣告请求程序中，请求人共提交了8份对比文件作为评述创造性时使用的证据，其中，对比文件1为日本专利文献，对比文件2、3、5-8均为美国专利文献，对比文件4为中国专利文献，专利权人对于上述证据的真实性未提出异议。合议组经审查，对对比文件1-8的真实性予以认可；专利权人对对比文件1-3、5-8的中文译文无异议，对于上述对比文件的文字公开内容以请求人所提交的译文为准。对比文件1-8的公开日期均早于本专利的优先权日，故其公开的内容均可以作为本专利的现有技术。
（二）关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定，创造性，是指与现有技术相比，该发明具有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型具有实质性特点和进步。
如果一项权利要求的技术方案与最接近的对比文件公开的技术方案相比存在区别技术特征，而相同领域的另一篇对比文件公开了该区别技术特征并可以解决相同的技术问题，根据上述对比文件的结合得到该权利要求的技术方案对所属技术领域的技术人员来说是显而易见的，则该权利要求不具备创造性。
具体到本案：
1.独立权利要求1要求保护一种用于高频测量的接触装置，对比文件2公开了一种弹性耐用多层探针，两者均属于电路检测领域，并具体公开了（参见对比文件2中文译文，附图1、2、4、5）：该弹性耐用探针用于测量晶圆上信号，特别适用于微波高速信号测量，附图4-5所示的实施例2与附图1所示的实施例1差别仅在于弹性探针内部结构，两者的外部连接关系相同；在附图5所示的实施例中，探针50包括金属尖端502、弹性且柔性的多层介电基底506、平面传输结构504和用于支承该探针的固定端108（结合附图1所示实施例可知），探针尖端502向外延伸并且从平面传输结构504自由悬挂出来被空气包围，并具有钩爪形状，当测量不平坦或非平面的物体时，探针尖端502可以上下移动并在一个有限的范围内转动，进而探触并测量物体；平面传输结构504耦合于金属探针尖端502，并且贴附于弹性且柔性的多层介电基底506，探针尖端502没有贴附在多层介电材料506上，固定端108耦合于弹性且柔性的多层介电基底506和平面传输结构504以支撑和保持该探针50，且该探针的传输结构转换器会集平面传输结构504与（对应于附图1中的）同轴传输结构120耦合连接。探针50的弹性使得探针在探触衬底信号（例如微波信号）时可以被弯曲，并且还允许在金属探针尖端502上施加压力。设备508可以嵌入多层介电材料506中，如图5B所示，设备508包括多层微波电路520、垂直连接器522或匹配电路设备524，设备508的电信号均通过平面传输结构504进行传输。在该实施例中，探针50可以设计成一种贴附于偏置网络的阻抗预匹配型探针，以便测量非系统性阻抗匹配设备或模块。
在对比文件2的附图1A、1C中标示了该弹性耐用探针结构通过固定端108设置于相应的支撑和保持该探针的固定装置上（无具体的附图标记，使用实线描述了轮廓），同时本领域技术人员均知晓，在一完整的检测设备中，检测探针仅仅是其实现检测的一组成部分，探针结构必然要与实现固定（控制）该探针及实现信号传输和检测的相关装置相连接才能完成检测过程，对比文件2的技术方案虽然着重对检测用探针结构进行了描述，但毋庸置疑，该探针也必然要设置在对应的固定和信号传输设备上才能发挥其正常功能，而本专利权利要求1的技术方案要求保护的接触装置不仅仅包括探针结构，还包括探针固定和数据传输等相关设备，并且该接触装置也是必然要通过相应的固定和数据传输设备与整体的检测设备（即本专利中的“操纵器”）相连接，因此对比文件2所公开的该可探触并测量晶圆适用于微波高速信号测量的探针50及对应的固定装置相当于本专利的高频测量的接触装置，另外，在本领域中，晶圆一般为平面结构，因此该用于探触并测量晶圆的探针50与晶圆相接处的位置相当于本专利权利要求1中具有用于与平面结构电接触的接触端(12)，固定端108耦合于弹性且柔性的多层介电基底506和平面传输结构504以支撑和保持该探针，并且由对比文件2的附图1A和1C可知，该固定端108设置在该探针10与一设置在固定装置中的同轴传输结构120耦合的连接端面上，并通过该同轴传输结构120与探针中的平面传输结构504实现信号传输，因此该对应的固定装置（附图1A中无附图标记的实线轮廓）以及（实施例2对应的附图5中的）多层介电基底506构成的整体结构相当于本专利权利要求1中的电介质，同时，由附图5B可知，该探针50具有三个探针尖端502以及与其耦合的设置在多层介质材料506中的平面传输结构504，由此可知，该平面传输结构504具有三个与探针尖端502对应的导体，因此该设置在多层介电基底506上的平面传输结构504相当于本专利权利要求1中的在接触端(12)处设置具有至少两个由电介质(10)支承的导体(14)的共面导体结构，相对于固定端108可以上下移动并在一个有限的范围内转动的探针尖端102相当于本专利权利要求1中的探针头，未与固定装置相结合的平面传输结构部分也设置在弹性且柔性的多层介电基底上，因此该部分的平面传输结构内的导体可以空间自由地并且对于固定装置弹性地设置，即相当于本专利权利要求1中的空间自由地并且对于保持电介质(10)弹性地设置共面导体结构的导体(14)；
嵌入多层介电材料506中的设备508相当于本专利权利要求1中的在电介质(10)上设置至少一个用于传输电信号的装置(24)，该设备508与平面传输结构106耦合相当于本专利权利要求1中的用于传输电信号的装置(24)与共面导体结构的至少一个导体(14)电连接以使得该用于传输电信号的装置(24)传输来自至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14)的信号，设置在对应的固定装置中的同轴传输结构120中的同轴导体相当于本专利权利要求1中的同轴导体结构，同时，由于对比文件2已公开了平面传输结构504在固定端108与其对应的固定装置中的同轴传输结构120耦合，则该同轴传输结构120必然具有一对应的输出端将该测量信号通过该同轴电缆传输至检测设备的数据采集和测量装置，其属于对比文件2隐含公开的内容，由此可知，同轴传输结构120与平面传输结构504耦合的端口相当于本专利权利要求1中的同轴缆线端，该同轴传输结构120与检测设备的数据采集和测量装置相连接的输出端相当于本专利权利要求1中的至少一个同轴缆线接头，由于设备508的电信号均通过平面传输结构504进行传输，上述电路连接关系相当于本专利权利要求1中的用于传输电信号的装置(24)与同轴导体结构的至少一个同轴缆线接头(18)相连以使得所述用于传输电信号的装置(24)在至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14)和同轴导体结构的至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的同轴缆线接头(18)之间传输信号，电介质(10)延伸直到同轴缆线端(16)。
专利权人认为：对比文件2没有公开权利要求1中的“共面导体结构”及相关特征，对比文件2中的探针尖端是向外延伸并从平面传输结构自由悬挂出来并空气包围，其并未贴附在介电材料上，也未公开该探针尖端相对于电介质基底自身弹性设置。
对此，合议组认为：首先，依据本专利的说明书及说明书附图可知，本专利技术方案中的“接触端”并不是一个具体的元件，其仅仅是该接触设备与被测半导体晶片相接触的探针部分（即探针头）所接触的位置，并且，该共面导体结构是实现将探针头的信号传输给电子电路的导体结构，其并不包含探针头；其次，依据本专利的说明书第[0021]、[0026]段的记载及附图1可知，该共面导体结构与探针头耦合的部分从电介质上延伸出来，另一部分设置在电介质上，并通过焊接和/或点焊连接与同样设置在电介质上的电子电路24的各印制导线26电连接，而本领域技术人员均知晓，焊接为一种固定连接的方式，印制导线是固定在印制板上的导线，共面导体结构与各印制导线26通过焊接的方式连接，也就是将共面导体结构的一端固定在该电介质上，由此可知，本专利中的共面导体结构之所以具有“空间自由地并且对于保持电介质(10)弹性地设置”的技术特性，正是因为其上述悬置的设置方式；再次，如上所述，对比文件2的技术方案已具体公开了未与固定装置相结合的平面传输结构部分设置在弹性且柔性的多层介电基底上，因此该部分的平面传输结构内的导体可以空间自由地并且对于固定装置弹性地设置，即对比文件2的技术方案同样是通过悬置的方式实现平面传输结构相对于固定装置的弹性及空间自由的移动，两者所采用的具体技术手段相同，所获得的技术效果也完全一致；综上所述，专利权人的意见合议组不予支持。
通过上述分析可知，权利要求1的技术方案与对比文件2所公开的上述技术方案之间的区别技术特征为：权利要求1的技术方案在共面导体结构的每两个导体(14)之间，在共面导体结构的整个长度上，构造各缝隙以使得在共面导体结构的长度上产生恒定的特性阻抗。基于该区别技术特征，权利要求1实际解决的技术问题为：提供一种可避免高频信号反射的探针结构，以提高测量的准确性。
对此，合议组认为：首先，如上所述，对比文件2的实施例2中已具体公开了可将该探针设计成一种贴附于偏置网络的阻抗预匹配型探针，以便测量非系统性阻抗匹配设备或模块。也就是说，对比文件2的技术方案已考虑到在进行高频测量时被测对象与检测探针的阻抗匹配问题，并提出了使用阻抗预匹配型探针来解决该技术问题的技术手段；
其次，对比文件5公开了一种晶圆探针，与本专利及对比文件2均属于电路检测领域，并具体公开了（参见对比文件5中文译文，附图7-8）：该探针包括安装于安装模块上的一个传输线组件和一个同轴线缆连接器，以及围绕传输线组件的吸收材料层，传输线组件包括设置于逐渐变细的铝制基板上的地线导体和信号导体（相当于共面导体结构），这些导体用于在被测设备的焊接垫和一个连接器之间传导信号，一个同轴电缆从所述连接器获得信号，以在探针和测试设备之间承载信号。传输线的地线导体和信号导体的尺寸和设计被调整为与同轴电缆的特性阻抗相匹配。该设计延伸了同轴电缆至被测设备焊垫之间的环境，显著降低了在高测量频率下由外部探针阻抗、阻抗失配和探针辐射阻抗的变化导致的误差。具体地，多信号晶圆探针43，在单个梯形晶圆板33上组合设置了多个信号导体29和底面探针导体31，金属通道35横跨所有信号导体29，连接器27用于使外部线缆接入到每个信号导体29，在探针板33的窄端，导体29和31逐渐变细地在设备键合垫上方排列，在图7中，位于探针板33的宽端，信号导体29被间隔开，以便在安装块17下的缆线连接器27下方排列。在该多信号晶圆探针43中，信号导体和地线导体的宽度和间隔被选择为在整个探针板33的长度上保持恒定的传输线特性阻抗。
由此可知，对比文件5已具体公开了通过采用将信号导体和地线导体的宽度和间隔被选择为整个探针板33的长度上保持恒定的传输特性阻抗的技术手段，解决了高频信号的反射所导致的测量不准确的技术问题，并且对比文件5和对比文件2均是用于对晶圆的高频检测，即对比文件5已公开了该区别技术特征；并且，如上所述，对比文件2的技术方案中存在相同的技术问题，本领域技术人员在对比文件5给出的上述通过调整设置于铝制基板上的地线导体和信号导体（即共面导体）之间的间隔进而获得在整个探针板的长度上保持恒定的传输线特性阻抗的技术启示下，容易想到将该技术手段应用于对比文件2的技术方案中，将其平面传输结构中的各个导线的间隙设置为在多层介电基板的长度上保持恒定的传输特性阻抗，进而获得权利要求1的技术方案，这对本领域技术人员来说是显而易见的，并不需要创造性的劳动，因此，该权利要求相对于对比文件2和对比文件5的结合不具有突出的实质性特点和显著的进步，不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
2.权利要求2、4均为权利要求1的从属权利要求，其附加技术特征分别进一步限定了在所述电介质(10)上设置至少一个用于分接电信号的触点，其中所述用于传输电信号的装置(24)被设置和构造为使得所述用于传输电信号的装置(24)将至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14)的电信号传输到触点；在所述同轴缆线端(16)处，两个或更多个用于与相应同轴缆线连接的同轴缆线接头(18)被设置，并且与所述用于传输电信号的装置(24)电连接。
对比文件1公开了一种具有接口电路的探针卡，与本专利及对比文件2属于相同的电检测领域，并具体公开了（参见对比文件1的中文译文，附图1-2）：多个探针设于绝缘基板1的中央的开口部的周围，同轴电缆5和11的芯线前端作为探针尖端5a和11a及由弹性金属线制成的探针9与被测集成电路的端子接触，实现集成电路与测量装置之间的电连接，上述探针均通过合成树脂粘结剂支持于探针支撑环3上，并呈现放射状配置；同轴电缆5和11的芯线使用具有合适的硬度和弹性的材料，例如钨丝或铜镍合金线，该同轴电缆5和11通过接口电路6和电缆连接器8和12与外部测量装置电连接，探针9的根部通过焊料与绝缘基板1上配设的作为印刷电路的引线电路连接，各引线经由绝缘基板1的外围部分上的端子10或插座与外部测量装置电连接；与同轴电缆5和11连接的接口电路6由阻抗变化电路构成，该探针可用于对高频电信号的测量，避免信号波的反射，接口电路6设置在绝缘基板1上，并在绝缘基板1内部设置有印刷电路部分及与外部测量装置连接的相关引线。
由对比文件1公开的上述技术内容可知，该探针可利用同轴电缆及对应的探针尖端对集成电路的高频电信号进行检测，用于设置接口电路、内部印刷电路等电连接元件的绝缘基板1相当于电介质，同轴电缆5和11通过绝缘基板1上的接口电路6和电缆连接器8和12与外部测量装置电连接，设置于绝缘基板1上（或内部）的与同轴电缆5和11连接的接口电路6、内部印刷电路等相当于用于传输电信号的装置(24)，分别与同轴电缆5和11电连接的电缆连接器8和12相当于具有同轴导体结构的同轴缆线端(16)，位于绝缘基板1内部的内部印刷电路与电缆连接器8和12电连接以实现与外部测量装置电连接，探针9的根部通过焊料与绝缘基板1上配设的作为印刷电路的引线电路连接，各引线经由绝缘基板1的外围部分上的端子10或插座与外部测量装置电连接，相当于本专利中的用于传输电信号的装置(24)被设置和构造为使得所述用于传输电信号的装置(24)将至少一个与所述用于传输电信号的装置(24)电连接的导体(14)的电信号传输到触点。由此可知，对比文件1已公开了上述附加技术特征，并且给出了通过在检测设备的绝缘基板上设置相应的电连接和电传输构件完成电信号的采集和传输的技术启示，本领域技术人员基于该技术启示，容易想到将上述电路设置方式应用于对比文件1所公开的检测装置中，并不需要付出创造性的劳动。因此，在其引用的权利要求不具备创造性的基础上，从属权利要求2、4也均不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
3. 权利要求3、5-12均为权利要求1或2的从属权利要求，其附加技术特征分别进一步限定了所述用于传输电信号的装置(24)是电子电路；所述用于传输电信号的装置(24)包括重接线、匹配网络和有源电路；在所述电介质(10)处，至少一个直流触点(20)被设置，并且与用于传输电信号的装置(24)电连接；在所述电介质(10)处，设置用于操纵器的保持件(92)；所述共面导体结构的导体(14)通过焊接和/或点焊连接与用于传输电信号的装置(24)的各印制导线(26)电连接；所述接触装置用于测量探头或测量头；所述高频测量在半导体晶片上执行；所述用于传输电信号的装置(24)包括重接线和匹配网络；用于传输电信号的装置(24)包括重接线和有源电路。
如上所述，对比文件2已具体公开了（参见对比文件2中文译文，附图1A、2、4、5）：该弹性耐用探针用于测量晶圆上信号，特别适用于微波高速信号测量，附图4-5所示的实施例2与附图1所示的实施例1差别仅在于弹性探针内部结构，两者的外部连接关系相同；固定端108耦合于弹性且柔性的多层介电基底506和平面传输结构504以支撑和保持该探针50，且该探针的传输结构转换器会集平面传输结构504与（对应于附图1中的）同轴传输结构120耦合连接。设备508可以嵌入多层介电材料506中，如图5B所示，设备508包括多层微波电路520、垂直连接器522或匹配电路设备524，设备508的电信号均通过平面传输结构504进行传输。即对比文件2已具体公开了用于传输电信号的装置(24)是电子电路，高频测量在半导体晶片上执行，用于传输电信号的装置(24)包括重接线、匹配网络的相关技术特征，而当微波电路中使用有源电路元件时即构成有源电路；并且，基于对权利要求1的分析可知，该探针50及对应的固定装置相当于本专利的高频测量的接触装置，该固定装置以及多层介电基底506的整体结构相当于本专利权利要求1中的电介质，在对比文件2的附图1A、1C中标示了该弹性耐用探针结构通过固定端108设置于相应的支撑和保持该探针的固定装置上（无附图标记）相当于保持件；而在该固定装置上设置直流触点并将其与多层介电基底506中的电路设备相连接均是本领域技术人员在电路检测装置上的常规设置，将电路检测装置应用于探头或测量头的性能检测，属于本领域的常规检测手段。同时，对比文件1具体公开了：探针9的根部通过焊料与绝缘基板1上配设的作为印刷电路的引线电路连接，各引线经由绝缘基板1的外围部分上的端子10或插座与外部测量装置电连接。因此在其引用的权利要求1-2均不具备创造性的基础上，从属权利要求3、5-12也均不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
综上所述，本专利权利要求1-12均不具备专利法第22条第3款规定的创造性，依法应当全部无效。因而本决定不再对请求人提出的其他理由和证据组合方式进行评述。
三、决定
宣告ZL200580040909.9 号发明专利权全部无效。
当事人对本决定不服的，可以根据专利法第46条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。根据该款的规定，一方当事人起诉后，另一方当事人作为第三人参加诉讼。
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