发明创造名称：聚氨酯抛光垫
外观设计名称：
决定号：41306
决定日：2019-07-29
委内编号：4W108641
优先权日：2004-02-03
申请（专利）号：200580003736.3
申请日：2005-01-13
复审请求人：
无效请求人：张亮
授权公告日：2011-03-23
审定公告日：
专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
主审员：孙丽芳
合议组组长：姜小薇
参审员：张倩
国际分类号：C08G18/10
外观设计分类号：
法律依据：专利法第22条第3款
决定要点
：在判断创造性时,首先要将权利要求的技术方案和现有技术中最接近的技术方案进行特征对比，找出二者的区别技术特征，分析发明实际要解决的技术问题，进而考察在现有技术中是否存在将所述区别技术特征引入到所述最接近的现有技术中，以解决所述实际要解决的技术问题的启示。
全文：
本专利的专利号为200580003736.3，优先权日为2004年02月03日，申请日为2005年01月13日，授权公告日为2011年03月23日。本专利授权公告时的权利要求书如下：
“1. 一种形成适合用来对半导体基片进行平整化的抛光垫的方法，该方法包括以下步骤：
在模具中浇铸聚氨酯聚合材料、固化剂和可膨胀聚合物微球体，所述聚氨酯聚合材料来源于预聚物多元醇和多官能芳香族异氰酸酯反应生成异氰酸酯封端的反应产物的预聚物反应，所述多官能芳香族异氰酸酯与含量小于8重量％的脂族异氰酸酯一起使用，所述异氰酸酯封端的反应产物包含4.5-8.7重量％的未反应NCO，所述可膨胀聚合物微球体包括预先膨胀的或原位膨胀的微球体，所述可膨胀聚合物微球体是中空的；
使所述异氰酸酯封端的反应产物胶凝，以控制模具中源自可膨胀聚合物微球体的孔隙的分布；
限制浇铸的异氰酸酯封端反应产物的放热，使温度低于120℃，以控制模具内的块状体和由块状体制成的抛光垫内可膨胀聚合物微球体的密度均匀性，所述抛光垫包含至少0.1体积％的可膨胀聚合物微球体；
用固化剂和异氰酸酯反应产物内的可膨胀聚合物微球体使胶凝的异氰酸酯封端反应产物固化，以形成块状体，所述固化剂选自固化剂多胺、固化剂多元醇、固化剂醇胺及其混合物。
2. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，通过限制浇铸的异氰酸酯封端产物的放热，将抛光垫内可膨胀聚合物微球体的最终体积保持在浇铸前聚氨酯平均体积的8％以内。
3. 如权利要求1所述的方法，该方法包括将所述块状体切割成抛光垫的附加步骤。
4. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述抛光垫包含浓度为0.2-70体积％的可膨胀聚合物微球体，所述可膨胀聚合物微球体是预先膨胀的。
5. 如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述抛光垫包含重均直径为10-100微米的可膨胀聚合物微球体。
6. 一种形成适合用来对半导体基片进行平整化的抛光垫的方法，该方法包括以下步骤：
在模具中浇铸聚氨酯聚合材料、固化剂和可膨胀聚合物微球体，所述聚氨酯聚合材料由预聚物多元醇和多官能芳香族异氰酸酯反应生成异氰酸酯封端的反应产物的预聚物反应形成，所述多官能芳香族异氰酸酯与含量小于5重量％的脂族异氰酸酯一起使用，所述异氰酸酯封端的反应产物包含4.5-8.7重量％的未反应的NCO，所述可膨胀聚合物微球体包括预先膨胀的或原位膨胀的微球体，所述可膨胀聚合物微球体是中空的；
使所述异氰酸酯封端的反应产物胶凝，以控制模具中源自可膨胀聚合物微球体的孔隙的分布；
限制浇铸的异氰酸酯封端反应产物的放热，使温度低于120℃，将抛光垫内可膨胀聚合物微球体的最终体积保持在浇铸前聚氨酯平均体积的8％以内，所述抛光垫包含至少0.1体积％的可膨胀聚合物微球体；
用固化剂和异氰酸酯反应产物内的可膨胀聚合物微球体使胶凝的异氰酸酯封端反应产物固化，以形成块状体，所述固化剂选自固化剂多胺、固化剂多元醇、固化剂醇胺及其混合物。
7. 如权利要求6所述的方法，其特征在于，通过限制浇铸的异氰酸酯封端产物的放热，将抛光垫内可膨胀聚合物微球体的最终体积保持在浇铸前聚氨酯平均体积的7％以内。
8. 如权利要求6所述的方法，该方法包括将所述聚合块状体切割成抛光垫的附加步骤。
9. 如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述抛光垫包含浓度为0.2-70体积％的可膨胀聚合物微球体，所述可膨胀聚合物微球体是预先膨胀的。
10. 如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述抛光垫包含重均直径为10-100微米的可膨胀聚合物微球体。”
请求人张亮于2019年03月19日向国家知识产权局提出了无效宣告请求，请求宣告本专利权利要求1-10全部无效，同时提交了如下证据：
证据1：JP11322878A，公开日为1999年11月26日，复印件9页，中文译文16页；
证据2：MATERIAL SAFETY DATA SHEET（EXPANCEL? 551 DE），声称生效时间为2003年06月05日，复印件4页及其中文译文2页；
证据3：Expancel? Microspheres an Introduction，公开日不详，复印件14页，中文译文12页；
证据4：《聚氨酯弹性体手册》， 山西省化工研究所编，化学工业出版社出版， 2001年01月第1版，封面、编委会页、信息页、219-220页，复印件6页；
证据5：《粘接和粘接技术手册》 高世德 等编，四川科学技术出版社出版，1990年02月第1版，封面、信息页、401-402页，复印件4页。
请求人认为，1、权利要求1-10不符合专利法第26条第4款的规定
（1）权利要求1、6所述的“所述多官能芳香族异氰酸酯与含量小于8重量％的脂族异氰酸酯一起使用”没有以说明书为依据；
（2）权利要求1、6所述的“限制浇铸的异氰酸酯封端反应产物的放热，使温度低于120℃”没有以说明书为依据，因为影响放热的因素很多，权利要求1仅限定了未反应的NCO量，未对其他参数进行限定；
（3）当权利要求2引用权利要求1所述的涉及原位膨胀微球的技术方案时，得不到说明书支持，权利要求1没有限定所述可膨胀聚合物微球体的种类及性质以及控制聚合物微球膨胀的具体反应参数，而本领域公知的，聚合物微球受热膨胀的过程及最终结果影响因素众多。证据2和3可以证明Expancel 551DE系列预膨胀微球的具有不同的性能参数，因此，不同聚合物微球在某一特定的聚氨酯凝胶放热体系中，膨胀行为和膨胀结果是不同的；基于相同理由，权利要求7也不符合专利法第26条第4款的规定；
（4）从属权利要求3-5、8-10也不符合专利法第26条第4款的规定。
2、权利要求2、7不符合专利法实施细则第20条第1款规定
当权利要求2引用权利要求1所述的涉及预膨胀微球的技术方案时，由于所述预膨胀型微球，并不存在剧烈的原位膨胀的情况。因此，对于抛光垫内的聚合物微球体的最终体积比，仅需要通过计算抛光垫的体积和实际添加的微球体积，即可计算得出，无需要通过控制凝胶固化反应放热来控制产物中的微球体积。因此，权利要求2不清楚。基于相同理由，权利要求7也不清楚，不符合专利法实施细则第20条第1款规定。
3、利用证据4公开的计算公式可知，当证据１中NCO当量＝600时，其中封端聚合物未反应的NCO含量为7%。证据1公开了权利要求1-10的全部技术特征（参见证据1说明书049、0053和0065段），权利要求1-10不具备专利法第22条第2款规定的新颖性。
4、证据1与权利要求1、6的区别在于，在凝胶过程中通过控制反应的最大放热温度低于120℃，以达到控制抛光垫密度均匀性。本专利实际解决的技术问题是，通过限制凝胶反应的温度控制凝胶反应过程及控制反应体系内微球体的密度均匀性的平衡。针对区别特征，（1）证据1公开了相似的凝胶反应体系温度控制参数；并且，证据1还公开了需要在凝胶过程中控制反应放热参数以平衡微球充分发泡和对体系的增稠。（2）本领域公知的，EXPANCEL551型微球的膨胀最大值温度约为125-130℃，参见证据3译文第2页，551DE在125℃已膨胀至最大，超过膨胀最大值温度时，微球体会发生破裂并产生体积坍塌，显然会导致凝胶体系的密度均匀性遭到破坏；（3）本领域公知的，异氰酸酯和氨基甲酸酯基的反应生成聚氨酯时，在温度高于120℃时，会缓慢的发生逆反应（参见证据5）。因此，上述区别特征属于隐含公开，或在现有技术中有明显技术教导。权利要求1、6不具备创造性。权利要求2-5、7-10的附加技术特征已被证据1公开，同样不具备创造性。
经形式审查合格，国家知识产权局于2019年03月26日受理了上述无效宣告请求并将无效宣告请求书及证据副本转给了专利权人，同时成立合议组对本案进行审查。
专利权人针对上述无效宣告请求于2019年05月10日提交了意见陈述书和反证1-5；
反证1：发明人玛丽?乔?库普于2006年06月28日的声明21页及其译文8页；
反证2：发明人玛丽?乔?库普于2007年10月11日的声明13页及其译文12页；
反证3：丹尼尔?F?齐格勒于2007年10月11日的声明2页及其译文2页；
反证4：H?乔治?麦克莱恩于2007年10月11日的声明2页及其译文1页；
反证5：罗伯特?A?布雷迪于2007年10月15日的声明2页及其译文2页。
专利权人认为，本专利的一个重要特征是异氰酸酯封端的反应产物包含4.5-8.7重量%的未反应NCO。通常脂族异氰酸酯具有更高含量的未反应NCO，导致浇铸聚氨酯抛光垫中均匀性较低，因此，本专利将脂族异氰酸酯含量限制到例如小于8重量%。影响浇铸异氰酸酯封端反应产物的因素有很多，所有因素（除了未反应NCO的重量百分比）对于本领域普通技术人员来说都是常规的。因此，本领域普通技术人员知道如何控制浇铸的异氰酸酯封端反应产物的温度。权利要求2中的特征“将抛光垫内可膨胀聚合物微球体的最终体积保持在浇铸前聚氨酯平均体积的8％以内”是权利要求1所述步骤的结果。
当量粒子不等于NCO当量，证据4中NCO%与本专利中未反应NCO的重量百分数含义不同。证据1的比较例并没有公开本专利权利要求1所述的单独的“胶凝”步骤，并且本专利实施例中“胶凝”是在室温进行的。证据1仅提到了浇铸条件，没有提供或测量聚氨酯的实际温度，或者浇铸过程中的最大放热温度。因此，权利要求1-10相对于证据1具有新颖性。
反证1-2以及反证5都提到了所述步骤“限制浇铸的异氰酸酯封端反应产物的放热，使温度低于120℃”可提高抛光垫的密度均匀性等；反证3和4提到了本专利所述方法得到的抛光垫在商业上取得了成功。另外，根据证据1表2的内容，本领域普通技术人员并不能使用Expancel珠子，因为其与证据1的教导相反。在此基础上，权利要求1-10具备创造性。
国家知识产权局本案合议组于2019年05月14日向双方当事人发出了口头审理通知书，定于2019年 07月02日举行口头审理。
2019年05月15日，合议组将专利权人提交的意见陈述和反证转文给请求人，要求其在指定期限内答复。
2019年07月02日，口头审理如期举行，双方当事人均出席了本次口头审理。在口头审理过程中，合议组调查并记录了如下事项：
（1）请求人确认的无效理由为，权利要求1-10不符合专利法第26条第4款的规定，权利要求2、7不符合专利法实施细则第20条第1款的规定，权利要求1-10相对于证据1不具备专利第22条第2款规定的新颖性，权利要求1-10不具备专利第22条第3款规定的创造性。
证据使用方式：使用证据1的对比例1为最接近现有技术评述新颖性和创造性；证据2-3用于说明权利要求2得不到说明书支持，证据4用于说明计算NCO当量的公式，证据5用于说明将聚氨酯反应温度应控制在120℃以下是公知常识。
（2）请求人当庭提交了：
a.证据2-3的网络公证书（（2019）京国信内经证字第02323号），证明在浏览器地址栏输入两个网址即可获得的证据2-3的内容；
b.由“国家图书馆 科技查新中心”出具的证据4-5的馆藏文献复制证明原件；
c.证据6：《聚氨酯树脂及其应用》李绍雄等编，化工出版社，封面、目录页、信息页，第252-256页。
请求人主张，证据6可以证明聚氨酯生产过程中，控制温度120℃以下是公知常识。
专利权人当庭提交了由中国驻美大使馆领事部出具的反证1-5的公证认证，证明文件上美国国务院的印章和CHANA TURNER的签字属实。
专利权人对证据1、4-6的真实性没有异议，但对证据2和3的真实性有异议。专利权人认为，证据2和3缺乏公开日期，其公证书只公证了网址，没有证明相关网址是公开网址的信息，公众能否获得未知。
专利权人声称反证1-5是本案同族申请于美国专利局的申请中提交的材料。请求人不认可反证1-5的真实性，认为，形式上，反证1-5的公证书没有中文翻译，不确定公证的内容是否为反证1-5的直接记载内容；内容上，反证1的译文第4点提及“美国专利及商标局于2006年03月03日发出的审查意见通知书”，然事实上，美国专利及商标局当日并未针对该申请发出审查意见通知书；此外，请求人认为反证1-5与本专利不具有关联性，因为在美国专利审查过程中引用的对比文件与本次无效请求的对比文件不相同，反证3-5的商业上的成功也和本专利的创造性没有关联；尤其是，反证5的申请号是535，其中陈述的内容甚至不是本专利同族专利的情况，本专利的同族是285。
（3）专利权人承认，反证1-5中没有针对证据1的补充实验数据。
至此，合议组认为本案事实已经清楚，可以作出审查决定。
二、决定的理由
1、审查基础
本决定针对的文本为授权公告文本。
2、证据认定和无效理由的确认
专利权人对证据1、4-6的真实性没有异议，合议组依法对证据1、4-6的真实性予以认可。专利权人对证据2-3的真实性不予认可，对此，合议组认为，请求人当庭提交了证据2-3的网络公证书，且证据2-3仅用于证明Expancel 551DE微球的性能参数，合议组对证据2-3的真实性予以认可。
请求人对专利权人提交的反证1-5的真实性和关联性提出异议，专利权人提交了中国驻美大使馆领事部出具的域外公证认证。合议组考察后，认为反证1-5属于证人证言，公证书仅能证明签名是真实的，其中记载的内容既不是针对本专利的补充实验数据，证人亦没有出庭接受合议组询问，因此，合议组对反证1-5的内容真实性不予认可。
合议组当庭确认的无效审理范围是，权利要求1-10不符合专利法第26条第4款的规定，权利要求2、7不符合专利法实施细则第20条第1款的规定，权利要求1-10相对于证据1不具备专利第22条第2款规定的新颖性，权利要求1-10相对于证据1不具备专利第22条第3款规定的创造性。
3、关于专利法第22条第3款
专利法第22条第3款规定：创造性，是指同申请日以前已有的技术相比，该发明有突出的实质性特点和显著的进步，该实用新型有实质性特点和进步。
在判断创造性时,首先要将权利要求的技术方案和现有技术中最接近的技术方案进行特征对比，找出二者的区别技术特征，分析发明实际要解决的技术问题，进而考察在现有技术中是否存在将所述区别技术特征引入到所述最接近的现有技术中，以解决所述实际要解决的技术问题的启示。
现有技术的公开不仅包括明确记载于现有技术中的内容，而且还包括对于本领域技术人员来说，隐含地且直接地、毫无疑义地确定的内容。
3.1 权利要求1
本案中，权利要求1保护一种形成适合用来对半导体基片进行平整化的抛光垫的方法（具体内容参见案由部分）。
证据1同样公开了一种抛光垫的制备方法，具体包括如下具体步骤：
[实施例1]将向异氰酸酯封端的预聚合物（NCO当量=600）1000份中添加混合了参考例1中得到的聚苯乙烯微珠40份的化合物的混合物，以及3,3’-二氯-4,4’-二氨基二苯基甲烷211份，分别装入弹性体铸机的A液罐和B液罐，其中，所述异氰酸酯封端的预聚合物由聚氧四亚甲基二醇（Mw=1000）、二甘醇、2,6-甲苯二异氰酸酯构成。A液体体系在70℃、B液体体系在120℃下操作，通过混合头混合两种液体的树脂注入到模具温度100℃的模具之后，合模，进而在烘箱中110℃下加热和一次固化30分钟后。再将铸锭脱模后，在120℃下二次固化5小时。将铸锭冷却至25℃，然后切成1.5mm的厚度形成抛光垫。
[实施例3]实施例1中，除了替代使用参考例1所得的聚苯乙烯系珠子40份，采用参考例2所得到的聚苯乙烯系珠子25份之外，完全与实施例同样地形成研磨垫。
［比较例1］实施例3中，除了替代混合添加参考例1所得聚苯乙烯系珠子25份，使用EXPANCEL-551DE（聚丙烯腈/聚偏二氯乙烯系发泡气泡）25份之外，完全与实施例3同样地，形成抛光垫（参见证据1中文译文说明书[0049]、[0053]和[0065]段）。
另外，证据1的[0034]段还记载了，在通过两种液体成分成形机进行硬化反应时，将异氰酸酯末端的聚合物（a）成分和含活泼氢的化合物（b）成分的温度范围适当控制，确保一定程度的液体流动性，因此两种液体在成形机的线路中循环时不受影响；另外，还需要具备一定的反应性来控制发热和增粘的平衡，使得两种液体混合后生成的未发泡的加热膨胀性微小中空球体（C）能充分发泡。
可见，证据1的比较例1中由聚氧四亚甲基二醇（Mw=1000）、二甘醇、2，6-甲苯二异氰酸酯形成的异氰酸酯封端聚合物为聚氨酯聚合物，聚氧四亚甲基二醇（Mw=1000）属于聚醚多元醇，二甘醇为小分子量多元醇，二者均属于预聚物多元醇，2,6-甲苯二异氰酸酯属于多官能芳香族异氰酸酯；固化剂3,3’-二氯-4,4’-二氨基二苯基甲烷属于多胺。该反应体系中不含脂族异氰酸酯；NCO当量=600的异氰酸酯封端聚合物对应于封端聚合物未反应的NCO含量为7%（具体计算方法参见证据4）；使用了相同的EXPANCEL 551DE型预膨胀中空微球；经计算，证据l所使用的反应底物中，EXPANCEL 551DE型预膨胀微球的重量%为2.02%。根据本专利表1记载的实施例1-9使用的微球体重量%推算，证据1中2.02重量%的EXPANCEL 551DE型预膨胀微球在抛光垫中的体积比必然大于0.1体积%。
在区别特征的认定过程中，（1）关于NCO当量与重量百分数的关系，专利权人认为，没有任何证据证明“当量粒子”与“NCO当量”相同，证据4中的“NCO%”与本专利中“未反应NCO的重量百分数”是不同的。（2）关于凝胶温度，请求人认为，证据1的比较例1中，混合异氰酸酯封端预聚物的A液体与固化剂的B液体在110℃加热30分钟相当于权利要求1所述的凝胶步骤。专利权人认为，本专利的凝胶反应是在室温下进行的，证据5中反应2.也证实凝胶可在室温下进行。
对此，合议组认为，（1）根据请求人当庭提交的证据4原件，其目录页第七章4.1.1节标题显示“当量粒子（当量）”。也就是说，术语“当量粒子”与“当量”含义相同。至于NCO%与当量的转化计算，证据4第219页已经记载了，多异氰酸酯混合物中当量粒子可通过-NCO基含量的分析，根据由部分求整体的数学原理进行计算，当量粒子=（42/NCO%）。具体到证据1中，NCO当量为600时，计算NCO%应为42/600=7%，证据1公开了权利要求1所述的未反应NCO重量%。（2）本领域公知，异氰酸酯预聚物的“凝胶”反应指的是异氰酸酯预聚物与固化剂的链增长反应。证据5第401页反应2.仅记载了“异氰酸酯基与胺基反应生成脲基的反应，在常温下能激烈进行，多异氰酸酯与脂肪族多胺、无位阻的芳香二胺反应，放出大量热，很快生成凝胶”。该反应是否一定要控制在室温下完成，证据5并未有相关记载。本专利权利要求1仅限定了“使所述异氰酸酯封端的反应产物胶凝”，并未限定胶凝时的温度；而证据1中记载了，将混合异氰酸酯封端预聚物的A液体与固化剂的B液体在110℃加热30分钟后，在120℃下二次固化5小时。显然，证据1中110℃下的反应为起始凝胶化反应。因此，证据1隐含公开了凝胶化处理步骤，“凝胶”不构成区别技术特征。
因此，权利要求1与证据1中对比例1的区别在于，尽管证据1的对比例1公开了在烘箱120℃下二次固化，但证据1没有明确限定“限制浇铸的异氰酸酯封端反应产物的放热，使温度低于120℃，以控制模具内的块状体和由块状体制成的抛光垫内可膨胀聚合物微球体的密度均匀性”，即，证据1公开的是外部温度120℃，而本专利限定的是反应体系温度低于120℃。
就本专利采用何种的技术手段限制反应产物放热，使温度低于120℃，以控制模具内的块状体和由块状体制成的抛光垫内可膨胀聚合物微球体的密度均匀性，合议组考察了本专利说明书的原始记载。
本专利说明书[0011]-[0012]段记载了，“研究发现，通过控制预聚物反应产物中未反应NCO的量，可以提高整个聚氨酯浇铸中多孔抛光垫的均匀性”；“具体来说，通过控制聚合物中未反应NCO的重量百分数，似乎可以限制链增长反应的放热。这限制了浇铸材料内温度的升高，可以提高抛光垫和“铸态”块状体中密度的均匀性。导致早先的浇铸聚氨酯抛光垫中均匀性较低的原因，是由于用来制造……ICTM抛光垫的材料中NCO的重量百分数高。……控制预聚物反应产物的活性NCO重量百分数，因控制了反应放热而提高了制造过程中的温度均匀性。将预聚物中未反应NCO的重量百分数控制在4.5-8.7重量％，可以制得性质均匀的浇铸聚氨酯抛光垫”；[0064]段记载了，“将未反应的NCO控制在小于9.1，有助于将放热温度限制在低于120℃”；[0071]段记载了，“这些数据说明，未反应的NCO范围可以改进浇铸抛光垫的密度标准偏差”。
由此可见，本专利是通过控制未反应NCO的重量百分数，并进一步限制放热温度限制在低于120℃，从而达到抛光垫内可膨胀聚合物微球体的密度均匀性。未反应NCO重量%是影响密度均匀性的内部影响因素，而放热温度是外部控制因素。证据1已经公开了落入权利要求1范围的未反应NCO重量%，因此，权利要求1相对于证据1实际解决的技术问题是提高整个聚氨酯浇铸中多孔抛光垫的均匀性，采用的技术手段是限制放热温度低于120℃。
权利要求1是否具备创造性的焦点在于，现有技术是否存在技术启示教导本领域技术人员在浇铸聚氨酯抛光垫时限制放热温度低于120℃。
本领域技术人员知晓，尽管抛光垫需要较大的硬度，但作为其成形体的聚氨酯，本身受力变形较小，实际上仍属于弹性体。合议组考察了公知常识性证据6，其中第254页第（3）点指出，浇铸聚氨酯弹性体的温度高于120℃时，往往会使弹性体性能下降。可见，现有技术已明确教导，异氰酸酯封端预聚物与固化剂反应浇铸生成聚氨酯抛光垫时，应控制反应体系温度不超过120℃。因此，权利要求1相对于证据1不具备专利法第22条第3款规定的创造性。
在创造性判断过程中，专利权人还认为，根据证据1公开内容，本领域普通技术人员并不会去使用Expancel珠子，因为其与证据1的教导是相反的。另外，证据1和本专利解决的技术问题是不同的，均匀性不等于平坦性。
对此，合议组认为，无论是现有技术的实施例还是对比例，只要技术方案完整，本领域技术人员均有动机将其作为技术改进的起点，发现问题并寻找解决方案。尽管证据1关注的是浇铸聚氨酯抛光垫的平坦性和研磨特性；本专利关注的是浇铸聚氨酯抛光垫中微球分布的均匀性，然而，本专利改善密度均匀性，最终目的是改善抛光效果，证据1也是要求相同的技术效果，只是表征的具体理化参数和本专利有区别而已，并不构成相反教导。
3.2 权利要求6
权利要求6相对于权利要求1进一步限定“多官能芳香族异氰酸酯与含量小于5重量%的脂族异氰酸酯一起使用”，“将抛光垫内可膨胀聚合物微球体的最终体积保持在浇铸前聚氨酯平均体积的8%以内”。
如上所述，证据1的技术方案中没有使用脂族异氰酸酯，因此脂族异氰酸酯含量自然是小于5重量%。证据1中使用25份EXPANCEL-551DE微球（微球体重量%为2.02%）以及7%的未反应NCO%，该配方与本专利中配方6接近，配方6采用LF950A异氰酸酯，未反应NCO重量%为5.99%，微球体重量%为2.01%。尽管不能直接计算出证据1中膨胀微球在抛光垫中的最终体积，但类比本专利配方6可以合理推知，证据1技术方案中所使用的微球体的最终膨胀体积同样小于抛光垫体积的8%。因此，权利要求6与证据1的区别特征同权利要求1相同。
在权利要求1相对于证据1不具备创造性的基础上，权利要求6同样不具备创造性。
3.3 权利要求2-5、7-10
权利要求2、7进一步限定可膨胀聚合物微球浇铸前最终体积保持在8%或7%以内，权利要求3、8进一步限定将块状体切割成抛光垫的步骤，权利要求4、9进一步限定抛光垫包含预膨胀聚合物微球浓度0.2-70体积%，权利要求5、10进一步限定微球体直径10-100微米。
如上所述，根据本专利的配方法，可以合理推知，证据1技术方案中所使用的微球体的最终膨胀体积同样小于抛光垫体积的8%或7%。另外，证据1还公开了“将铸锭冷却至25℃，然后切成1.5mm的厚度形成抛光垫”，鉴于证据1使用了与本专利相同类型和重量%的551DE微球，可以确定反应后抛光垫包含的微球体体积%和重均直径范围相同或相近。因此，在引用的权利要求1、6不具备创造性的基础上，权利要求2-5、7-10同样不具备创造性。
综上所述，权利要求1-10不具备专利法第22条第3款规定的创造性，应予全部无效，合议组对其它无效理由不再予以评述。
基于上述事实和理由，合议组作出如下审查决定。
三、决定
宣告200580003736.3号发明专利权全部无效。
当事人对本决定不服的，可以根据专利法第46条第2款的规定，自收到本决定之日起三个月内向北京知识产权法院起诉。根据该款的规定，一方当事人起诉后，另一方当事人作为第三人参加诉讼。
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